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事件 |
平成
23年
(行ケ)
10408号
審決取消請求事件
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裁判所のデータが存在しません。 | |
裁判所 | 知的財産高等裁判所 |
判決言渡日 | 2012/11/27 |
権利種別 | 特許権 |
訴訟類型 | 行政訴訟 |
判例全文 | |
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判例全文
平成24年11月27日判決言渡 平成23年(行ケ)第10408号 審決取消請求事件 口頭弁論終結日 平成24年8月30日 判 決 原 告 平田機工株式会社 訴訟代理人弁理士 井 上 元 廣 被 告 特 許 庁 長 官 指定代理人 野 村 亨 同 菅 澤 洋 二 同 氏 原 康 宏 主 文 1 原告の請求を棄却する。 2 訴訟費用は原告の負担とする。 事 実 及 び 理 由 第1 請求 特許庁が不服2010−16731号事件について平成23年10月5日にした 審決を取り消す。 第2 争いのない事実 1 特許庁における手続の経緯 原告は,発明の名称を「基板搬送用ロボット」とする発明について,平成12年 11月30日に特許出願をした(特願2000−364348。以下「本件出願」 という。。 ) 1 本件出願について, 平成21年6月16日付けで拒絶の理由が通知され,原告は, その指定期間内の同年9月11日に意見書と共に明細書について手続補正書を提出 したが,平成22年3月30日付けで拒絶をすべき旨の査定がされた。原告は,平 成22年7月26日,上記査定に対し拒絶査定不服審判(不服2010−1673 1号事件)を請求するとともに,明細書について手続補正書を提出した。 特許庁は,平成23年10月5日, 「平成22年7月26日付けの手続補正を却下 する。」との決定(以下「本件決定」という。)をした上, 「本件審判の請求は,成り 立たない。 」との審決(以下「本件審決」という。 )をし,その謄本は同年11月1 2日に原告に送達された。 2 特許請求の範囲 (1) 平成22年7月26日付け手続補正(以下「本件補正」という。 )による補正 後の特許請求の範囲請求項1の記載は次のとおりである(下線が補正箇所) 。 「 【請求項1】 ロボット本体内に,第1のモータ(M1)により回転駆動され,旋 回軸心(Q)を有する回転基台(3)が備えられ, 前記回転基台(3)の上部には,第2のモータ(M2)により回転駆動され,前 記旋回軸心(Q)と同軸に配置された第1支軸(4)が,該回転基台(3)の回動 とは無関係の状態に突出させられ, 前記第1支軸(4)には,第1アーム(5)の一端部が取り付けられ, 前記第1アーム(5)の他端部には,該第1アーム(5)の回動とともに,該第 1アーム(5)の体内でプーリおよびタイミングベルトを介して2:1のギア比で 回動されることとなる第2支軸(6)が,該第1アーム(5)の回動とは無関係の 状態に突出させられ, 前記第2支軸(6)には,第2アーム(7)の一端部が取り付けられ, 前記第2アーム(7)の他端部には,該第2アーム(7)の回動とともに,該第 2アーム(7)の体内でプーリおよびタイミングベルトを介して1:2のギア比で 回動されることとなる第3支軸(8)が,該第2アーム(7)の回動とは無関係の 2 状態に突出させられ, 前記第1・第2支軸(4)(6)間の距離と前記第2・第3支軸(6)(8)間 ・ ・ の距離とは,同じにされており, 前記第3支軸(8)には,第3アーム(9)の一端部が取り付けられ, 前記第3アーム(9)の他端部には,基板を保持するためのハンド(10)が固 設され, 前記回転基台(3)の回転角度を θ とし,前記第1アーム(5)の回転角度を φ としたとき,前記ハンド(10)が保持する前記基板の中心の一点が前記旋回軸 心(Q)から外れて前記ハンド(10)の到達範囲内にある任意の方向の直線(H) 上を前記ロボット本体に対して直線移動し,前記基板が回転しながら容器に受け渡 し・取り出しされるように,これらの回転角度 θ と φ とをそれぞれ同時的に制御 する制御装置が設けられ, 前記制御装置は, 前記第1アーム(5) ,前記第2アーム(7),および前記第3アーム(9)を, 回転させつつ,前記基板の中心の一点を,前記旋回軸心(Q)から一定距離hだけ 外れて,かつ,前記ハンド(10)の到達範囲内にある任意の方向の直線(H)上 を,前記ロボット本体に対して直線移動させる際, 前記第1・第2支軸(4)(6)間の距離=前記第2・第3支軸(6)(8)間 ・ ・ の距離=L,前記第3支軸(8)と前記基板の中心との間の距離=m,としたとき, {m+2Lsin(φ)}sin(θ)=h(一定) を満足するように,前記第1のモータ(M1)および前記第2のモータ(M2) の回転を制御し,前記回転角度 θ と前記回転角度 φ とをそれぞれ同時的に制御し て,ロボット進退時における前記第1アーム(5) ,前記第2アーム(7) ,および 前記第3アーム(9)の進行の移動軌跡と退行の移動軌跡とを同じにするべく,ロ ボット旋回とロボット進退とを同時的に制御するものである ことを特徴とする基板搬送用ロボット。(以下「補正発明」という。 」 ) 3 (2) 本件補正前(平成21年9月11日付け手続補正による補正後)の特許請求 の範囲請求項1の記載は次のとおりである。 「 【請求項1】 ロボット本体内に,第1のモータ(M1)により回転駆動され,旋 回軸心(Q)を有する回転基台(3)が備えられ, 前記回転基台(3)の上部には,第2のモータ(M2)により回転駆動され,前 記旋回軸心(Q)と同軸に配置された第1支軸(4)が,該回転基台(3)の回動 とは無関係の状態に突出させられ, 前記第1支軸(4)には,第1アーム(5)の一端部が取り付けられ, 前記第1アーム(5)の他端部には,該第1アーム(5)の回動とともに,該第 1アーム(5)の体内でプーリおよびタイミングベルトを介して2:1のギア比で 回動されることとなる第2支軸(6)が,該第1アーム(5)の回動とは無関係の 状態に突出させられ, 前記第2支軸(6)には,第2アーム(7)の一端部が取り付けられ, 前記第2アーム(7)の他端部には,該第2アーム(7)の回動とともに,該第 2アーム(7)の体内でプーリおよびタイミングベルトを介して1:2のギア比で 回動されることとなる第3支軸(8)が,該第2アーム(7)の回動とは無関係の 状態に突出させられ, 前記第1・第2支軸(4)(6)間の距離と前記第2・第3支軸(6)(8)間 ・ ・ の距離とは,同じにされており, 前記第3支軸(8)には,第3アーム(9)の一端部が取り付けられ, 前記第3アーム(9)の他端部には,基板を保持するためのハンド(10)が固 設され, 前記回転基台(3)の回転角度を θ とし,前記第1アーム(5)の回転角度を φ としたとき,前記ハンド(10)が保持する前記基板の中心の一点が前記旋回軸 心(Q)から外れて前記ハンド(10)の到達範囲内にある任意の方向の直線(H) 上を前記ロボット本体に対して直線移動し,前記基板が回転しながら容器に受け渡 4 し・取り出しされるように,これらの回転角度 θ と φ とをそれぞれ制御する制御 装置が設けられ, 前記制御装置は, 前記第1アーム(5),前記第2アーム(7) ,および前記第3アーム(9)を, 回転させつつ,前記基板の中心の一点を,前記旋回軸心(Q)から一定距離hだけ 外れて,かつ,前記ハンド(10)の到達範囲内にある任意の方向の直線(H)上 を,前記ロボット本体に対して直線移動させる際, 前記第1・第2支軸(4)(6)間の距離=前記第2・第3支軸(6)(8)間 ・ ・ の距離=L,前記第3支軸(8)と前記基板の中心との間の距離=m,としたとき, {m+2Lsin(φ)}sin(θ)=h(一定) を満足するように,前記第1のモータ(M1)および前記第2のモータ(M2) の回転を制御し,前記回転角度 θ と前記回転角度 φ とをそれぞれ制御するもので ある ことを特徴とする基板搬送用ロボット。(以下「本願発明」という。 」 ) 3 審決の理由 本件審決の理由は,別紙審決書写しのとおりであり,その要旨は,次のとおりで ある。 (1) 本件補正について ア 本件補正のうち特許請求の範囲請求項1についてする補正は, 回転角度 θ と φ とをそれぞれ「同時的に」制御するものであると特定し,また,ロボット旋回と ロボット進退の制御について, 「ロボット進退時における前記第1アーム(5) ,前 記第2アーム(7) ,および前記第3アーム(9)の進行の移動軌跡と退行の移動軌 跡とを同じにするべく,ロボット旋回とロボット進退とを同時的に制御する」もの であると特定したものであって,特許請求の範囲を限定的に減縮するものであるこ とが明らかである。 イ 補正発明は,本件出願前に頒布された刊行物である国際公開第00/185 5 47号公報 甲3の1。 ( 以下 引用刊行物1」 「 という。 に記載された発明 ) (以下 引 「 用発明」という。 及び周知の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができた ) ものであるから,特許法29条2項の規定により,特許出願の際に独立して特許を 受けることができない。 ウ 以上のとおり,本件補正は,平成18年法律第55号改正附則3条1項によ りなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法17条の2第5項におい て準用する同法126条5項の規定に違反するので,同法159条1項において読 み替えて準用する同法53条1項の規定により却下すべきものである。 (2) 本願発明の容易想到性について 上記のとおり本件補正は却下されるべきところ,本件補正前の特許請求の範囲請 求項1に係る発明(本願発明)は,本願発明を構成する事項の全てを含み更に他の 事項を付加する補正発明が,引用発明及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発 明をすることができたものであるから,本願発明についても,同様の理由により当 業者が容易に発明をすることができたものであって,特許法29条2項の規定によ り特許を受けることができない。 (3) 本件審決が,上記判断を導く過程において認定した引用発明,補正発明と引 用発明との一致点及び相違点,特開平11−33947号公報(甲4。以下「引用 刊行物2」という。 )記載の事項(以下「引用刊行物2記載事項」という。 )は,次 のとおりである。 ア 引用発明 「カー22に搭載されたロボット24であって,可動アームアセンブリ25及び駆 動部27から成り,可動アームアセンブリ25は上部アーム31,前方アーム部3 2及びリスト延長部34を順に接続した3つのアーム部を有し, 垂直回転軸Y1を中心に回転する同軸的に取り付けられた駆動軸46,48を有 し,駆動軸46には上部アーム31の一端部が固定的に搭載され,前記上部アーム 31の他端部には,前方アーム部32の一端部が肘部41における垂直回転軸Y2 6 を中心として回転自在に取り付けられ,前方アーム部32の他端部には,リスト延 長部34の一端部がリスト部42における垂直回転軸Y3を中心として回転自在に 取り付けられ,リスト延長部34の他端部には,末端作動体部44が設けられ,駆 動軸48における垂直回転軸Y1と肘部41における垂直回転軸Y2とはベルト及 び滑車によって回転力が伝達され,肘部41における垂直回転軸41とリスト部4 2における垂直回転軸Y3とはベルト及び滑車により回転力が伝達されるものであ って,駆動軸46,48を共に同調して回転することにより,可動アームアセンブ リ25を肩部40の回りに単体として回転させるT移動をさせ,駆動軸46,48 を逆回転することにより,可動アームアセンブリ25の進展および格納させるR移 動させ,末端作動体部44に載せられた基板Sの中心は,肩部40における垂直回 転軸Y1,リスト部42における垂直回転軸Y3を通る半径方向軸rに沿うように 移動するものであり, カー22を動かして肩部40をカセット26Lと26Rの間の位置Dに位置決め した際,末端作動体部44によって保持される基板Sの中心は,カセット26L, 26Rに対応する互いに平行な基板除去/挿入軸X1,X2に実質的に沿って移動 されるように可動アームアセンブリ25を制御するコントローラ52が設けられ, コントローラ52は,可動アームアセンブリ25が,その肩部40がカセット2 6L,26Rの間の位置Dに位置決めされた場合,末端作動体部44上に基板Sが 載置されている基板除去/基板挿入動作では,末端作動体部44の中心が基板除去 /挿入軸X1,X2に沿って移動し,末端作動体部44上に基板Sが載置されてい ない状態では,末端作動体部44の中心が,肩部40の垂直回転軸Y1に対して実 質的に半径方向に移動する運動であるR運動するように制御されるものであるロボ ットアーム搬送装置。 」 イ 補正発明と引用発明との一致点 「第1のモータ及び第2のモータにより回転駆動され,旋回軸心と同軸に配置さ れた第1支軸を有し,前記第1支軸には,第1アームの一端部が取り付けられ,前 7 記第1アームの他端部には,該第1アームの回動とともに,プーリおよびベルトを 介して回動されることとなる第2支軸が設けられ,前記第2支軸には,第2アーム の一端部が取り付けられ,前記第2アームの他端部には,該第2アームの回動とと もに,プーリおよびベルトを介して回動されることとなる第3支軸が設けられ,前 記第3支軸には,第3アームの一端部が取り付けられ,前記第3アームの他端部に は,基板を保持するためのハンドが固設され,T移動とR移動とが可能で,前記ハ ンドが保持する前記基板の中心の一点が前記旋回軸心から外れて前記ハンドの到達 範囲内にある直線上をロボット本体に対して直線移動するように制御する制御装置 が設けられる基板搬送用ロボット。 」 ウ 補正発明と引用発明との相違点 (ア) 相違点1 ロボットの構造に関して,補正発明では,回転基台や第1支軸等が「ロボット本 体内」に設けられていると特定しているのに対して,引用発明では,駆動部27等 がどこに設けられているのか不明な点。 (イ) 相違点2 第1のモータ及び第2のモータにより回転駆動され,旋回軸心と同軸に配置され た第1支軸を有し,前記第1支軸には,第1アームの一端部が取り付けられ,前記 第1アームの他端部には,該第1アームの回動とともに,プーリおよびベルトを介 して回動されることとなる第2支軸が設けられ,前記第2支軸には,第2アームの 一端部が取り付けられ,前記第2アームの他端部には,該第2アームの回動ととも に,プーリおよびベルトを介して回動されることとなる第3支軸が設けられ,前記 第3支軸には, 第3アームの一端部が取り付けられ,前記第3アームの他端部には, 基板を保持するためのハンドが固設されるロボットアームの関節構造に関して, 補正発明は, 「第1のモータ(M1)により回転駆動され,旋回軸心(Q)を有す る回転基台(3)が備えられ,前記回転基台(3)の上部には,第2のモータ(M 2)により回転駆動され,前記旋回軸心(Q)と同軸に配置された第1支軸(4) 8 が,該回転基台(3)の回動とは無関係の状態に突出させられ,前記第1支軸(4) には,第1アーム(5)の一端部が取り付けられ,前記第1アーム(5)の他端部 には,該第1アーム(5)の回動とともに,該第1アーム(5)の体内でプーリお よびタイミングベルトを介して2:1のギア比で回動されることとなる第2支軸 (6)が,該第1アーム(5)の回動とは無関係の状態に突出させられ,前記第2 支軸(6)には,第2アーム(7)の一端部が取り付けられ,前記第2アーム(7) の他端部には,該第2アーム(7)の回動とともに,該第2アーム(7)の体内で プーリおよびタイミングベルトを介して1:2のギア比で回動されることとなる第 3支軸(8)が,該第2アーム(7)の回動とは無関係の状態に突出させられ,前 記第1・第2支軸(4)(6)間の距離と前記第2・第3支軸(6)(8)間の距 ・ ・ 離とは,同じにされており,前記第3支軸(8)には,第3アーム(9)の一端部 が取り付けられ,前記第3アーム(9)の他端部には,基板を保持するためのハン ド(10)が固設され」る構造であるのに対して, 引用発明は,カー22に搭載されたロボット24であって,可動アームアセンブ リ25及び駆動部27から成り,可動アームアセンブリ25は上部アーム31,前 方アーム部32及びリスト延長部34を順に接続した3つのアーム部を有し,垂直 回転軸Y1を中心に回転する同軸的に取り付けられた駆動軸46,48を有し,駆 動軸46には上部アーム31の一端部が固定的に搭載され,前記上部アーム31の 他端部には,前方アーム部32の一端部が肘部41における垂直回転軸Y2を中心 として回転自在に取り付けられ,前方アーム部32の他端部には,リスト延長部3 4の一端部がリスト部42における垂直回転軸Y3を中心として回転自在に取り付 けられ,リスト延長部34の他端部には,末端作動体部44が設けられ,駆動軸4 8における垂直回転軸Y1と肘部41における垂直回転軸Y2とはベルト及び滑車 によって回転力が伝達され,肘部41における垂直回転軸41とリスト部42にお ける垂直回転軸Y3とはベルト及び滑車により回転力が伝達されるものであって, 末端作動体部44に載せられた基板Sの中心は, 部40における垂直回転軸Y1, 肩 9 リスト部42における垂直回転軸Y3を通る半径方向軸rに沿うように移動するも のである点。 (ウ) 相違点3 ハンドが保持する前記基板の中心の一点が旋回軸心から外れて前記ハンドの到達 範囲内にある直線上をロボット本体に対して直線移動するように制御する制御装置 の制御に関して, 補正発明では, 「回転基台(3)の回転角度をθとし,前記第1アーム(5)の回 転角度をφとしたとき,前記ハンド(10)が保持する前記基板の中心の一点が前記 旋回軸心(Q)から外れて前記ハンド(10)の到達範囲内にある任意の方向の直線 (H)上を前記ロボット本体に対して直線移動し,前記基板が回転しながら容器に 受け渡し・取り出しされるように,これらの回転角度 θ とφとをそれぞれ同時的に 制御する」と特定しているのに対して, 引用発明では,カー22を動かして肩部40をカセット26Lと26Rの間の位 置Dに位置決めした際,末端作動体部44によって保持される基板Sの中心は,カ セット26L,26Rに対応する互いに平行な基板除去/挿入軸X1,X2に実質 的に沿って移動されるように可動アームアセンブリ25を制御するものである点。 (エ) 相違点4 制御装置の制御に関して, 補正発明では, 「第1アーム(5) 第2アーム , (7) および第3アーム , (9)を, 回転させつつ,基板の中心の一点を,旋回軸心(Q)から一定距離hだけ外れて, かつ,ハンド(10)の到達範囲内にある任意の方向の直線(H)上を,ロボット本 体に対して直線移動させる際,第1・第2支軸(4)(6)間の距離=第2・第3 ・ 支軸(6)(8)間の距離=L,第3支軸(8)と基板の中心との間の距離=m, ・ としたとき, {m+2Lsin(φ) }sin(θ) =h(一定) を満足するように,第1のモータ(M1)および第2のモータ(M2)の回転を 10 制御し,回転角度 θ と回転角度 φ とをそれぞれ同時的に制御して,ロボット進退 時における前記第1アーム(5) 前記第2アーム , (7) および前記第3アーム , (9) の進行の移動軌跡と退行の移動軌跡とを同じにするべく,ロボット旋回とロボット 進退とを同時的に制御する」ものであるのに対して, 引用発明では,可動アームアセンブリ25が,その肩部40がカセット26L, 26Rの間の位置Dに位置決めされた場合,末端作動体部44上に基板Sが載置さ れている基板除去/基板挿入動作では,末端作動体部44の中心が基板除去/挿入 軸X1,X2に沿って移動し,末端作動体部44上に基板Sが載置されていない状 態では,末端作動体部44の中心が,肩部40の垂直回転軸Y1に対して実質的に 半径方向に移動する運動であるR運動するように制御されるものである点。 エ 刊行物2記載事項 「第1駆動用モータ1により回転駆動され,旋回軸心を有する第1回転出力軸3が 備えられ,前記第1回転出力軸3の内部には,第2駆動用モータ2により回転駆動 され,前記旋回軸心と同軸に配置された第2回転出力軸4が,該第1回転出力軸3 の回動とは無関係の状態に突出させられ,前記第2回転出力軸4には,第1アーム 61の基端側が取り付けられ,前記第1アーム61の先端側には,該第1アーム6 1の回動とともに,該第1アーム61の体内でプーリ及びベルトを介して2:1の ギア比で回動されることとなる連結軸64が,該第1アーム61の回動とは無関係 の状態に突出させられ,該連結軸64には,第2アーム62の基端側が取り付けら れ,前記第2アーム62の先端側には,該第2アーム62の体内でプーリ及びベル トを介して1:2のギア比で回動されることとなる従動軸66が,該第2アーム6 2の回動とは無関係の状態に突出させられ,第1関節6Aと第2関節6B間の距離 と,第2関節6Bと第3関節6C間の距離は,同じにされており,前記従動軸66 には,基板受載板67の一端部が取り付けられ,基板受載板67の他端部には,基 板Wを載置するためのツィーザ67aが固設されている搬送用ロボット。」 第3 当事者の主張 11 1 取消事由に関する原告の主張 本件審決は,引用発明と補正発明との相当関係の認定を誤り(取消事由1) 相違 , 点2についての認定・判断を誤り(取消事由2) 相違点3についての判断を誤り , (取 消事由3) 相違点4についての判断を誤り(取消事由4) , ,補正発明の顕著な作用 効果を看過し(取消事由5) 誤って本件補正を却下した結果,本願発明についての , 認定・判断を誤った(取消事由6)ものであり,本件審決の結論に影響を及ぼすか ら,違法として取り消されるべきである。 (1) 引用発明と補正発明との相当関係の認定誤り(取消事由1) ア 本件審決は, 引用発明の「肩部40」……「肘部41」……「リスト部42」 「 ……は,それぞれ,補正発明の「第1支軸」……「第2支軸」……「第3支軸」… …に相当し,引用発明の「肩部40」は補正発明の「旋回軸心」にも相当する」 (2 4頁下2行〜25頁4行)と認定した。 イ しかし,引用発明の「肩部40」「肘部41」「リスト部42」は,それぞ , , れ,可動アームアセンブリ25の第1関節部,第2関節部,第3関節部を,人間の 肩部及び腕部にある3つの関節部になぞらえて,比喩的に表現した領域呼称であっ て,具体的な回転軸部材を呼称する部材呼称である補正発明の「第1支軸4」「第 , 2支軸6」「第3支軸8」に相当するものではない。また,補正発明の「旋回軸心」 , は,旋回の軸中心にある仮想軸線を表現した線呼称であるから,引用発明でいえば 「垂直回転軸Y1」に相当することはあっても,領域呼称である引用発明の「肩部 40」との相当関係はない。 よって,本件審決の上記相当関係の認定は,誤りであり,この誤った相当関係の 認定を前提とした一致点の認定も誤ったものである。 便宜的に称しているとの被告の主張を認めたとしても, 用刊行物1記載の軸は, 引 補正発明で定義される「第1支軸4」「第2支軸6」「第3支軸8」に相当すると , , 確言できるものではなく, 特に,前方アーム部32に設けられている回転する軸」 「 , 「リスト延長部34に設けられている回転する軸」については,全く図示がなく, 12 その具体的態様は不明であり, 「第2支軸6」「第3支軸8」にそれぞれ相当すると , はいえない。例えば,補正発明の「第1支軸4」は,同軸的に取り付けられた2軸 のうちの内側に位置する軸であるのに対し,引用発明の「上部アーム31に設けら れている回転する軸」は,同軸的に取り付けられた2軸のうちの外側に位置する軸 (駆動軸46)であり,これらの点で,両者は,完全に相違している。したがって, 引用発明の「上部アーム31に設けられている回転する軸」と補正発明の「第1支 軸4」との違いは明らかであり,これらが相当関係にあるとはいえない。 ウ また,本件審決の一致点の認定のうち,上記相当関係を前提とする, 「第1の モータ及び第2のモータにより回転駆動され,……前記第3アームの他端部には, 基板を保持するためのハンドが固設され」本件審決27頁1行〜9行) ( との認定は, 誤りである。 (2) 相違点2についての認定・判断の誤り(取消事由2) ア 相違点2は,本件審決が一致点として認定した事項のうち,ロボットアーム の関節構造に係る部分についての補正発明と引用発明との具体的構造の相違である。 しかるに,このロボットアームの関節構造部分は,上記(1)で述べたとおり,本件 審決が誤って一致点として認定した事項であるから,誤って一致点として認定され たロボットアームの関節構造部分について論じた本件審決の相違点2の認定も,当 然に,誤ったものである。 イ 上記のとおり本件審決の相違点2の認定は誤りであるから,相違点2につい ての判断も誤りである。 本件審決は, 引用刊行物2記載事項も引用発明も,ともに,2つの駆動源により 「 駆動させられる搬送用ロボットであり,3つのアームを有し,それぞれのアームは ベルト及びプーリにより回転駆動させられるものであることから,引用発明におけ る駆動部27及び可動アームアセンブリ25を引用刊行物2記載事項に置き換える ことは,当業者にとって格別の困難性を有するものではない」 (30頁25行〜30 行)と判断した。 13 しかし,引用発明の駆動軸46,48は,T移動時に同調して同方向に回転し, R移動時に逆回転するが,引用刊行物2記載事項では,T移動時に第1回転出力軸 3のみが回転し,第2回転出力軸4は連れ回りするのみであり,また,R移動時に は第2回転出力軸4のみが回転するように駆動制御されるので,T移動及びR移動 のための2つの駆動軸の回転の態様が異なっている。そして,引用発明の「コント ローラ52」も,引用刊行物2記載の搬送用ロボットの「駆動制御手段」も,前述 したように全く異なるそれぞれの2つの駆動軸の回転のさせ方を可能にするように, それぞれの制御プログラムが組み込まれている。 ウ 引用刊行物2記載の搬送用ロボットの第1回転出力軸3及び第2回転出力軸 4は,引用発明と同じように,同調して同方向に回転するように制御して,そのロ ボットのアーム伸縮機構をT移動させることが不可能な配置構成である。また,こ れら2つの出力軸は,引用発明と同じように,逆回転するように制御して,そのロ ボットのアーム伸縮機構をR移動させることが不可能な配置構成である。したがっ て,第1駆動用モータ1,第2駆動用モータ2,第1回転出力軸3,第2回転出力 軸4を含む引用刊行物2記載の搬送用ロボットの駆動部を,引用発明が備える「コ ントローラ52」に接続することはできない。その結果,引用刊行物2記載の搬送 用ロボットの駆動部及びアーム伸縮機構において,引用発明における駆動部27及 び可動アームアセンブリ25が奏していた効果,すなわち,引用刊行物1の図2A 〜2C,図3A〜3Cに示されるような可動アームアセンブリ25の移動軌跡を達 成させる効果と同じ効果を奏させることはできない。 エ よって,引用発明における駆動部27及び可動アームアセンブリ25を引用 刊行物2記載事項,すなわち,その搬送用ロボットの駆動部及びアーム伸縮機構に 置き換えることは,事実としてできない。 (3) 相違点3についての判断の誤り(取消事由3) 上記(2)で述べたとおり, 用発明における駆動部27及び可動アームアセンブリ 引 25は,引用刊行物2記載事項で置き換えることができないものである。 14 それにもかかわらず,本件審決は, 引用発明において,可動アームアセンブリ2 「 5を引用刊行物2記載事項に置き換えた場合」 (31頁13行〜14行)として, 「回 転基台に相当する第1回転出力軸3の回転角度をθと,第1アームの回転角度に相 当する第2回転出力軸の回転角度をφとすれば,引用発明において,互いに平行な 基板除去/挿入軸X1,X2に沿って末端作動体部44の中心が移動するようにす るためには,回転角度θとφとをそれぞれ同時的に制御しなければならないもので あることは明らかである。したがって,相違点2(原告注: 相違点3」の誤記)に 「 ついては,相違点1(原告注: 相違点2」の誤記)による刊行物2記載事項を採用 「 することによって,当然変更しなければならない,単なる設計的事項に過ぎない」 (31頁14行〜22行)と結論したものであるから,その判断が誤りであること は明らかである。 (4) 相違点4についての判断の誤り(取消事由4) ア 上記(2)で述べたとおり, 用発明における駆動部27及び可動アームアセン 引 ブリ25は,引用刊行物2記載事項で置き換えることができないものである。 それにもかかわらず,本件審決は,引用発明において,可動アームアセンブリ2 5を引用刊行物2記載事項に置き換えた場合として, 引用発明において, 端作動 「 末 体部44上に基板Sが載置されていない状態においても,末端作動体部44の中心 が基板除去/挿入軸X1,X2に沿って移動するように制御することは,当業者に とって格別の困難性を有するものではない」 (32頁21行〜24行)として,相違 点4の構成の想到容易性を断じているものであるから,その判断は,誤りである。 イ 補正発明は,ロボットの基本形式が,引用刊行物2記載の実施例の搬送用ロ ボットと同じであるが,引用発明とは全く異なっており,例えば,可動アームアセ ンブリ25又はアーム伸縮機構の移動軌跡が,引用発明では2種であるから,補正 発明のように1種にすることは一見して自明でない。加えて,引用発明は,ロボッ トの駆動部を構成する2つの駆動軸の回転のさせ方について,その制御に組み込ま れる論理式を導く示唆もない。 15 また,補正発明は,その制御を,T移動のために回転基台3を1軸制御し,R移 動のために第1支軸4を1軸制御するというように,簡素化しており, に進んで, 更 これらT移動とR移動とを複合させて,ハンドが保持する前記基板の中心の一点が 「 旋回軸心から外れて前記ハンドの到達範囲内にある直線上をロボット本体に対して 直線移動するように制御する」複合制御のときのみ,2軸制御を行うようにすると ともに,その制御の論理式も,特許請求の範囲に記載のとおり簡易な論理式で済む ようにしている。 引用発明では, 「前記第1・第2支軸(4)(6)間の距離=前記第2・第3支軸 ・ (6)(8)間の距離=L,前記第3支軸(8)と前記基板の中心との間の距離= ・ m」に関する定義は,開示も示唆もない。したがって,引用発明では,式「{m+2 Lsin(φ) }sin(θ)=h(一定)」を導き出せない。これ対し,本件出願 の図面の図11及び明細書の従来例の説明の中で,実質的に, T移動」「R移動」 「 , の中味をなす運動が説明されている。補正発明は,このような従来例を前提として 成り立っているものであるから,補正発明は,T移動,R移動について特定されて いるといえる。 (5) 補正発明の顕著な作用効果の看過(取消事由5) 補正発明は,引用発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をする ことができたものではないから,顕著な効果を奏する優れた発明である。 したがって,本件審決の, 「補正発明によってもたらされる効果も,引用発明及び 上記従来周知の各事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のも のではない」(32頁26行〜27行)との判断は,誤りである。 (6) 本願発明についての認定・判断の誤り(取消事由6) 上記(1)〜(5)で述べたとおり,平成22年7月26日付け手続補正を却下した本 件決定は,誤りであるから,補正発明は,特許出願の際独立して特許を受けること ができるものである。したがって, 「本願発明」が本件補正前の特許請求の範囲請求 項1に記載されたとおりの「基板搬送用ロボット」ではない。 16 よって,本願発明についての本件審決の認定・判断は,全て誤りである。 2 被告の反論 (1) 取消事由1(引用発明と補正発明との相当関係の認定誤り)に対し ア 引用刊行物1の記載(訳文(甲3の2:甲3の1に対応する公表公報である 特表2003−517717号公報)12頁2行〜17行。以下,引用刊行物1の 頁数は訳文の頁数で示す。 )によれば,上部アーム31は,肩部40に位置する垂直 回転軸Y1を中心に回転し,同様に,前方アーム部32は,肘部41に位置する垂 直回転軸Y2を中心に回転し,リスト延長部34は,リスト部42に位置する垂直 回転軸Y3を中心に回転する。そうであるならば,上部アーム31,前方アーム部 32,リスト延長部34は,それぞれ,垂直回転軸Y1,Y2,Y3を中心として 回転する軸を当然備えるものである。そして,本件審決は,この「上部アーム31 に設けられている回転する軸」という主旨で,便宜的に 肩部40」 「 と称している。 「肘部41」「リスト部42」についても同様である。 , また,引用刊行物1の記載(12頁21行〜29行)によれば,上部アーム31 の肩部40に位置する垂直回転軸Y1は,駆動軸46,48の回転中心であること から,肩部40に位置する垂直回転軸Y1が旋回軸心であることは明らかである。 そして,本件審決では,この「肩部40に位置する垂直回転軸Y1を中心として回 転する軸」という主旨で,便宜的に「肩部40」と称している。 してみると,本件審決の上記相当関係の認定に誤りはない。 イ したがって,本件審決の補正発明と引用発明の相当関係の認定に誤りはなく, 一致点の認定にも誤りはない。 (2) 取消事由2(相違点2についての認定・判断の誤り)に対し ア 本件審決の相違点2の認定に誤りはないから,その相違点2についての判断 に誤りはない。 イ 本件審決は,引用刊行物2記載の事項について,ロボットアーム6の構造及 び2つの駆動用モータの配置を認定したものであって,搬送用ロボットの駆動制御 17 手段及び作動方向等について認定したものではない。 また,引用刊行物2の段落【0035】の記載から,半導体基板Wの一方向直線 搬送,すなわちR移動する場合,第1駆動用モータ1の回転出力軸3を停止保持し て第2駆動用モータ2の回転出力軸4のみ駆動するものであるが,2つの回転出力 軸3,4の相対的な回転をみると,第1回転出力軸3と第2回転出力軸4とは逆回 転しているから,実質的に第1回転出力軸3と第2回転出力軸4とは逆回転してい るといえる。 さらに, 用刊行物2の段落 引 【0036】の記載から,半導体基板Wの回転搬送, すなわちT移動する場合, 第2駆動用モータ2の第2回転出力軸4を停止保持して, 第1駆動用モータ1の第1回転出力軸3のみ駆動するものであるが,第2駆動用モ ータ2も一緒に回転されるから,第2駆動用モータ2の第2回転出力軸4も第1駆 動用モータ1の第1回転出力軸3と同方向に回転していることになり,実質的に第 1回転出力軸3と第2回転出力軸4とは同方向に回転しているといえる。 一方,原告も認めるように,引用発明も,R移動のために,駆動軸46,48を 逆回転させ,T移動のために,駆動軸46,48を同方向に回転させるものである。 してみると,引用発明と引用刊行物2記載の事項とは,R移動及びT移動という 2つの同じ移動を行い, たR移動及びT移動を行うための軸 ま (駆動軸46,48, 回転出力軸3,4)の回転方向に実質的な差異はなく,作動,機能も共通するもの といえ,さらに,引用発明と引用刊行物2記載の事項とは,共に,2つの駆動源に より駆動させられる搬送用ロボットであり,3つのアームを有し,それぞれのアー ムはベルト及びプーリにより回転駆動させられるものであることから,引用発明に おける駆動部27及び可動アームアセンブリ25を引用刊行物2記載事項に置き換 える程度のことは,当業者であれば当然になし得るものというべきである。 また,第1回転出力軸3及び第2回転出力軸4の配置に関して,引用刊行物2記 載事項には, 「第1駆動用モータ1により回転駆動され,旋回軸心を有する第1回転 出力軸3が備えられ,前記第1回転出力軸3の内部には,第2駆動用モータ2によ 18 り回転駆動され,前記旋回軸心と同軸に配置された第2回転出力軸4が,該第1回 転出力軸3の回動とは無関係の状態に突出させられ」とのみ特定され,この特定か ら, 「第2回転出力軸4が,該第1回転出力軸3の回動とは無関係の状態」 つまり, , 第1回転出力軸3の回動と第2回転出力軸4の回動とが独立したものであって,同 方向に回転させたり,逆回転することができるといえる。 (3) 取消事由3(相違点3についての判断の誤り)に対し 上記(2)のとおり,本件審決の相違点2の判断に誤りはないから,相違点2の判断 の誤りを前提とする原告の取消事由3の主張に理由はない。 (4) 取消事由4(相違点4についての判断の誤り)に対し ア 上記(2)のとおり, 用発明に引用刊行物2記載事項を適用すること 引 (置き換 えること)は,当業者にとって格別の困難性を有するものではないから,本件審決 の相違点4に対する判断に,誤りはない。 イ 上記(2)のとおり,引用発明と引用刊行物2記載のものとは,R移動,及びT 移動という2つの同じ移動を行い,また,R移動,及びT移動を行うための軸(駆 動軸46,48,回転出力軸3,4)の回転方向に実質的な差異はないものである から,補正発明と引用発明とは,ロボットの駆動部を構成する2つの駆動軸の回転 のさせ方は実質的に異なっておらず,ロボットの基本形式を異にしているとはいえ ない。 引用発明においては, 端作動体部44上に基板Sが載置されていない状態から, 末 末端作動体部44の中心が基板除去/挿入軸X1,X2に沿って移動させても,末 端作動体部44の移動を妨げる技術的な事情はなく,また,引用刊行物1には, 別 「 の実施例においては,カセットの内側の位置がアームアセンブリ25の「R」移動 を妨げるところでは, 端作動体44はカセットに対応する基板除去/挿入軸X1, 末 X2に対して小さい角度の軸に沿って,カセットに対して末端作動体を並進させる ことによりカセットに挿入される」16頁7行〜11行) ( と記載されているように, 末端作動体部44をカセット26L,26Rへの最短経路が妨げられる場合には, 19 末端作動体部44の中心の移動経路を基板除去/挿入軸X1,X2に対して小さい 角度で動かすことが示唆され,つまり,小さい角度が0°を想定すると,移動経路 は,基板除去/挿入軸X1,X2に沿って移動することになるから,末端作動体部 44上に基板Sが載置されているかいないかにかかわらず,基板除去/基板挿入動 作において,末端作動体部44の中心が基板除去/挿入軸X1,X2に沿って移動 するものとすることは当業者にとって複数の動作が可能なものの一方の動作にまと めて単純化したものにすぎず,格別の困難性を有するものではない。 補正発明と引用発明とは, 「基板の中心の一点を,旋回軸心から一定距離だけ外れ て,かつ,ハンド 末端作動体部44) ( の到達範囲内にある任意の方向の直線上を, ロボット本体(ロボット24)に対して直線移動させる」点で一致するものである から,駆動軸46の回転角度を θ,駆動軸46に対する駆動軸48の相対回転角度 を φ とすれば,引用発明は,{m+2Lsin(φ) }sin(θ) =h(一定) 「 」を満足 する 移 動を行うものである。したが っ て,引 用発明には, {m+ 2 Lsin(φ) } 「 sin(θ) =h(一定) 」とすることが実質的に示されているといえるから,相違点3 は,当業者が容易に想到し得たものである。 原告は,その制御を,T移動のために回転基台3を1軸制御し,R移動のために 第1支軸4を1軸制御するというように,簡素化していると主張するが,補正発明 は,T移動,R移動について特に限定するものではないから,原告の主張は,その 前提において誤りである。なお,そのような制御自体は,原告も認めるとおり引用 刊行物2にも記載されているものである。 (5) 取消事由5(補正発明の顕著な作用効果の看過)に対し 補正発明は,引用発明,引用刊行物2記載事項及び従来周知の事項に基づいて当 業者が容易に発明をすることができたものであり,その効果は,引用発明,引用刊 行物2記載事項及び従来周知の事項から予測可能なものであって,本件審決の判断 に誤りはない。 (6) 取消事由6(本願発明についての認定・判断の誤り)に対し 20 平成22年7月26日付け手続補正を却下した本件決定に誤りはないから,本願 発明についての本件審決の認定・判断に誤りはない。 第4 当裁判所の判断 1 取消事由1(引用発明と補正発明との相当関係の認定誤り)について (1)ア 本件審決は,引用発明の「肩部40」「肘部41」及び「リスト部42」 , は,それぞれ,補正発明の「第1支軸」「第2支軸」及び「第3支軸」に相当する , と認定したが,原告は,引用発明の「肩部40」「肘部41」「リスト部42」は, , , 人間の肩部及び腕部にある3つの関節部になぞらえて,比喩的に表現した領域呼称 であって,具体的な回転軸部材を呼称する部材呼称である補正発明の「第1支軸」 , 「第2支軸」, 「第3支軸」 相当するものではないと主張するので, に 以下検討する。 イ 引用刊行物1には,図面(別紙参照)と共に,以下の記載がある。 (ア) 「本発明は基板搬送装置,特に基板搬送装置のロボット搬送アームに関する。 」 (甲3の2・7頁4行) (イ)「装置10は,全体としてフレーム20,カー22,ロボット24,コントロ ーラ52および基板カセット26から成る。装置10は,カセット26とロードロ ック12との間で半導体ウェーハまたはフラットパネルディスプレイ基板等の基板 を移動するために設置される。 置10は, 装 カセット26から基板を個々に移動し, かつロードロック12に基板を挿入するために,ロボット24を使用する。処理装 置14が基板を処理し終わったときに,装置10はロードロック12からカセット 26まで基板を戻すために用いられる。装置10は大気圧下で稼働するが,真空を 含む他の圧力状況下においても使用され得る。装置10は多くのカセット26を保 持するようになっている。 (10頁6行〜15行) 」 (ウ) 「基板は,カセット26の側面127と実質的に平行に方向付けられた軸Xに 沿って,正面アクセス開口部を通ってカセット26の中へかつそこから外へ搬送さ れる。カセットはフレーム20の正面11の近くにほぼ並んで配置される。カセッ ト26の基板アクセス開口部126は,フレーム20の背面部13の方と同じ方向 21 に面する。よって,それぞれのカセット26の中へかつそこから外へ基板がそれに 沿って搬送される軸Xは,互いに実質的に平行に整列配置される。フレーム20の 背面部13で,軌道エリア21はフレーム20の長さを延長する。カー22は移動 できるようにフレームの軌道エリア21に載置され,経路Aに沿って位置BからC の間を移動するかまたは転動する。カー駆動機構23は,カーをフレーム20に駆 動自在に接続する。駆動機構23は,軌道エリア21に沿って異なる位置に制御可 能にカー22を移動するようにコントローラ52によって制御される。(10頁2 」 6行〜11頁8行。判決注:原文に照らし,正確な訳に改めた部分がある。 ) (エ)「ロボット24はカー22に搭載される。よって,ロボット24はカー22と 共に移動する。ロボット24は全体として可動アームアセンブリ25および駆動部 27から成る。好適な実施例において,駆動部27は可動アームアセンブリ25を カー22に接続する。(11頁14行〜17行) 」 (オ)「アームアセンブリ25は,全体として,上部アーム31,前方アーム部32 およびリスト延長部34を含む順に接続した3つのアーム部を有する。上部アーム 31は駆動部27からアームアセンブリ25を支持する。リスト延長部34は前方 アーム部32を介して上部アーム31に接続していて,その末端で末端作動体部4 4を含む。可動アームアセンブリ25の上部アーム31は駆動部27に搭載され, アームアセンブリの肩部40において垂直回転軸Y1の回りに回転する。前方アー ム部32は上部アーム31に回動可能に搭載され,アームアセンブリ25の肘部4 1を形成する。 前方アーム部32は可動アームアセンブリ25の肘部41において, 垂直回転軸Y2の回りに上部アーム31と連動して回転する。肘部41の反対側に 前方アーム部32は回動可能にリスト延長部34に接続しており,アームアセンブ リのリスト部42を形成する。リスト延長部34はリスト部42において,前方ア ーム部32と連動して垂直回転軸Y3の回りに回転する。好適な実施例において, 末端作動体部44はリスト延長部34に置かれ,基板Sをその中心が半径方向軸r にほぼ合う様に保持する。半径方向軸rは,肩部40およびリスト部42における 22 回転軸Y1,Y3を通って延在する(図4参照)」 。(12頁2行〜17行) (カ)「関節アームを動かすための駆動部は周知である。好適な実施例において,駆 動部27は同軸的に取り付けられた駆動軸46,48を含むタイプであり得る。な お,他のいかなる適切な駆動システムも使用され得る。同軸駆動軸46,48は可 動アームアセンブリ25の肩部40において,回転軸Y1の回りをスピンするよう に位置する。上部アーム31は,肩部40における軸Y1の回りにシャフト46と 同調して向きを変えるために第1の駆動軸46に固定的に搭載される。第2の駆動 軸48は前方アーム部32に伝動(判決注:原文の「transmission」を「伝動」と 表記した。以下同じ。 システム140によって操作可能な状態で接続され,アーム ) アセンブリ25の肘部41において回転軸Y2の回りに前方アーム部を回転させる。 好適な実施例において,伝動システムは上部アーム40内に位置する。前方アーム 伝動部140に対する駆動軸は,リンクおよびクランクを含み得,さもなくば肘部 41の回りに前方アーム部32を回転させるために第2の駆動軸48の回転を伝え るベルトおよび滑車システムを含み得る。別の実施例においては,伝動システムは 上部アームの外側に位置し得る。更なる実施例においては,肘部に対して前方アー ム部を回転させるための駆動軸は,直接前方アーム部の回転をなすように位置し得 る。 例えば, ( 第2の駆動軸は第2の駆動軸に直接搭載される前方アーム部を有する 肘部において,上部アームに搭載され得る。 肘部41の回りの前方アーム部の回転 ) に応答してリスト部42で回転軸Y3の回りにリスト延長部34を同期して逆回転 するリスト部伝動システム142に,リスト延長部34は,肘部によって前方アー ム部32に接続している。好適な実施例において,リスト部伝動システム142に 対する肘部は一般に前方アーム部31の内に位置する。リスト部伝動システムに対 する肘部は,リンクおよびオフセットのクランク,または前方アーム部32をリス ト延長部34に接続しているベルトおよび滑車システムから成ることができ,その 結果肘部41に対して前方アーム部の回転はリスト部42に対する反対の一方向へ リスト延長部34を回転させる。例えば,肘部41に対して前方アーム部31の時 23 計回りの回転はリスト部42に対して反時計回りに回転しているリスト延長部32 に帰結する。そして,逆に肘部41の回りの前方アーム部31の反時計回りの回転 は,リスト部42の回りで時計回りにリスト延長部を駆動する。よって,リスト部 41の回りのリスト延長部34の回転は,肘部41の回りの前方アーム部31の回 転に従属する。(12頁21行〜13頁21行) 」 (キ)「駆動部27は,様々な回転速度でいずれの方向へも駆動軸46,48を独立 して回転させることが可能である。コントローラ52は,2本の駆動軸46,48 の方向及び回転速度を制御し,可動アームアセンブリ25を操作する。肩部40に おいて可動アームアセンブリ25を回転軸Y1の回りに単体として回転させるため に,駆動軸46,48は共に同調して回転する。 例えば肩部40に対して時計回り ( にアーム25を回転させるために,軸46,48は共に同調して時計回りに回転す る。 上部アーム31と前方アーム部32の間の回転は相関していないので, 調し ) 同 た両軸46,48の回転はアームアセンブリ25を肩部40の回りに単体として回 転させる。図4上の矢印Tで示される単体としての可動アームアセンブリ25の肩 部40の回りのこの回転は,一方では可動アームアセンブリ25の「T」移動とさ れる。実質的に半径方向の軸に沿って肩部41に対してリスト部42を移動する可 動アームアセンブリ25の伸展および格納(一方ではアームアセンブリの「R」移 動とされる運動)は駆動軸46,48を逆回転することによって達成される。駆動 軸46,48の逆回転は上部アーム31と前方アーム部32との間の相対的な回転 を生じ,それゆえに肩部40に対するリスト部42の移動を生じる。 例えばこの実 ( 施例において,伸展位置の可動アームアセンブリ25については,軸46の時計回 りの回転は肩部40の回りに時計回りに上部アーム31を回転させ,そして軸48 の反時計回りの回転は,肘部41の回りに反時計回りに前方アーム部32を回転さ せ,それにより肩部へ向かってリスト部42を移動する。)同速度での駆動軸46, 48の逆回転は,図4の矢印Rによって示されるように,肩部40に対して単一の 半径方向の軸にほぼ沿ってリスト部42を移動させる。上述したように,肘部41 24 回りの前方アーム部32の回転は,リスト部42の回りにリスト延長部34を自動 的に逆回転する。肘部からリスト部への伝動は前方アーム部32に対してリスト延 長部34を同時に逆回転し,末端作動体部44によって保持されている基板の中心 を,リスト部42が可動アームアセンブリ25の伸展または格納(すなわち「R」 型運動)の間,それに沿っている半径方向の軸上にリスト部42と共に維持する。 」 (13頁23行〜14頁20行) (ク)「コントローラ52もまたアームアセンブリの「R」および「T」の複合移動 において,駆動部を実質的に同時に可動アームアセンブリ25を回転し,伸展また は格納するために制御する。可動アームアセンブリ25の「R」および「T」の複 合移動を成し遂げるために,駆動軸46,48は異なる速度で回転する。駆動軸の 異なる回転速度は, 上部アーム31および前方アーム部32の異なる速度に帰結し, それはアームアセンブリの伸展/格納(すなわち「R」運動)と合成される肩部4 0の回りの可動アームアセンブリ25の回転(すなわち「T」運動)をもたらす。 前方アーム部32の回転に対してリスト延長部34を自動的に逆回転する肘部から リスト部への伝動システムは,リスト部42と末端作動体部44上の基板の中心と を,肩部40で回転軸Y1を横切っている軸上にほぼ整列するように維持する。換 言すれば,リスト部42が可動アームアセンブリ25の「R」および「T」の複合 移動によって肩部40の回りに回転するにつれて,末端作動体44上の基板Sの中 心がリスト部42と実質的に同一速度で肩部40の回りに回転するためにリスト延 長部34はリスト部42に対して自動的に回転し,それゆえに肩部40の中心,リ スト部42の中心および末端作動体44上の基板Sの中心はほぼ同一直線上のまま の位置にある。例えば,アームアセンブリ25が図3Aに示されるように伸展され るときに,リスト部42および末端作動体によって保持した基板Sの中心は肩部4 0を通って延びる半径方向の軸R3にほぼ整列する。アームアセンブリ25が図3 Bに示されるように格納されるときに,リスト部42および基板Sの中心は再び肩 部40を通って延びる半径方向の軸R4にほぼ整列する。(14頁22行〜15頁 」 25 13行) (ケ) カセット26とロードロック12との間での基板の移動手順は, 質的に以 「 実 下の通りである。図2A−2Cおよび3A−3Cからも明らかなように,当該手順 の第1のステップはカー22を動かして肩部40を位置決めして,それゆえに位置 Dで可動アームアセンブリ25が回転する回転軸Y1を位置決めすることである。 位置Dはカセット26Lと26Rの間に位置する。アームアセンブリ25の肩40 が位置Dに位置すると,それに沿って基板が2つの横に並んだカセット26L,2 6Rの中へ及びそこから外へ移動する軸X1,X2は肩40の両側に延伸する。そ の肩部40を位置Dに位置決めするように可動アームアセンブリ25を移動した後, アームアセンブリ25は作動せしめられ,並置されたカセット26Lと26Rとの どちらか一方に末端作動体44を挿入して基板を捕捉する。肩部40が位置Dにあ る故,可動アームアセンブリ25は,末端作動体44を,カセットに対して肩部4 0の再配置することなしに2つのカセット26L,26Rのどちらにでも挿入出来 るように作動せしめられ得る。好適な実施例において,末端作動体44をカセット 26L,26Rに挿入するために,コントローラ52はカセット26L,26Rの 開口部と共にリスト部42を半径方向に整列させるために肩部40の回りに最初に 単体としてのアームアセンブリ25全体を回転させ( T」運動)「T」運動の終了 「 , 後, カセット26L, 26Rに末端作動体44を挿入するために半径方向に沿って, 実質的にアームアセンブリ25を伸展する( R」運動) 「 。本実施例において,位置 Dにおける肩部40に対するカセット26L,26Rの内側部127L,127R (図2参照)の位置は,側部127L,127Rがカセット26L,26R内に実 質的に単一の半径方向に沿って末端作動体44を並進させることを妨げないような ものである。別の実施例においては,カセットの内側の位置がアームアセンブリ2 5の「R」移動を妨げるところでは,末端作動体44はカセットに対応する基板除 去/挿入軸X1,X2に対して小さい角度の軸に沿って,カセットに対して末端作 動体を並進させることによりカセットに挿入される。このことは,末端作動体44 26 の中心のまっすぐなX軸運動を提供する, R」及び「T」の複合運動をなすように 「 アームアセンブリ25を動かすコントローラ52によって達成される。カセット2 6L,26R中に末端作動体44が存在する状態において,末端作動体44は基板 Sを捕らえる。一旦,基板Sが末端作動体44によって捕えられると,可動アーム アセンブリ25はカセット26L,26Rへ基板Sを移動するために作動せしめら れる。末端作動体44によって保持される基板Sは対応する基板除去軸X1,X2 に実質的に沿ってカセット26L,26Rから移動される。よって,基板Sの除去 はカセット26L, 26Rへの末端作動体44の挿入経路とは異なる経路に沿う 図 ( 2B−2C及び3B−3C参照) 軸X1, 2に実質的に沿って末端作動体44上 。 X の基板Sを移動するために,可動アームアセンブリ25は, R」及び「T」の複合 「 運動において移動される 図2A−2B及び3A−3B参照) ……カセットから基 ( 。 板を取り出す間,基板は,位置Dから肩部40を再配置することなく,順番に左右 のカセット26L,26R双方から移動され得る。あるいは,基板はアームアセン ブリ25の搬送サイクルの前半において1つのカセット26L,26Rから移動さ れ得る。そして異なる(すなわち既処理の)基板はアームアセンブリ25の肩部4 0が位置Dにとどまっている間,搬送サイクルの戻りまたは後半において隣接して いるカセット26R,26Lに戻され得る。 (15頁15行〜17頁20行) 」 (コ) 「アームアセンブリ25の肩部40が位置Dに設置されたカセット26L,2 6Rそれぞれに基板を戻す際に,アームアセンブリ25の末端作動体44に保持さ れる基板Sはまた,実質的に軸X1,X2に沿ってカセット26L,26Rに挿入 される。実質的に軸X1,X2に沿ってカセット26L,26Rに基板Sを移動す るために,アームアセンブリ25は再び「R」及び「T」の複合運動を,軸X1, X2に沿ってカセットから基板を移動するために実行される「R」及び「T」の複 合運動とは逆になるように,実行する(図2A−2B及び3A−3B参照) 。基板S がカセット26L,26Rにおける末端作動体44によって解放された後,末端作 動体44はアームアセンブリを格納するだけ( R」運動のみ)でカセットから引き 「 27 戻される。よって,基板解放後の末端作動体44の引き戻しは,カセット26L, 26Rへの基板の挿入経路とは異なる経路に沿ってなされる(図2B−2C及び3 B−3C参照)図2A−2C及び3A−3Cは装置のフレーム20の側面に設置さ 。 れる2つのカセット26L,26Rの中そして外へ基板を移動する可動アームアセ ンブリ25を示しており,並んだカセット26のいずれかの2つの中そして外へ基 板を移動する際のアームアセンブリ25の手順及び運動は,本質的に図2A−2C と3A−3Cに示された,かつ上述されたものと同じである。(17頁22行〜1 」 8頁9行) (サ) 従来技術において, 「 基板搬送装置のロボットはカセットの前に直接可動アー ムアセンブリの肩部を設置することによりカセットの中へ及びそこから外へ基板を 移動し,そしてアームアセンブリの単なる伸展または格納(即ちアームアセンブリ の「R」移動のみ)により基板を移動してきた。このことは,基板がその特定のカ セットの中へ及びそこから外へ移動されるべき際にロボットが各々のカセットの正 面へ再配置されることを必要とした。アームアセンブリを再配置するために必要と された追加の時間は, 従来技術の装置のスループットを減少させた。 な方法では, 別 従来技術のロボット可動アームアセンブリは,リスト部に対して独立して可動アー ムアセンブリのリスト延長部を回転させるために別々に独立した駆動システムを備 えていて,そのリスト部はこれらの型のアームアセンブリがカセットの前に直接ア ームの肩部を配置することなしに,カセットの中へ及びそこから外へ基板を移動す るのを可能にした。しかしながら追加された駆動システムは,アームアセンブリの リスト延長部に対して従来技術の搬送装置の複雑さとコストの増加を必要とした。 本発明は,そこからまたはその中へ基板が移動される各々のカセットの正面へ可動 アームアセンブリ25を再配置することなしに,また,リスト部に対して独立して リスト延長部を回転することに専従している追加の独立駆動システムなしで,可動 アームアセンブリ25が,カセット26の中へ及びそこから外へ基板を移動するこ とが可能になったことで従来技術の課題を解決した。(19頁5行〜23行。判決 」 28 注:原文に照らし,正確な訳に改めた部分がある。 ) ウ 引用刊行物1の上記記載及び図示によれば,引用刊行物1では,上部アーム 31は,肩部40に位置する垂直回転軸Y1を中心に回転し,同様に,前方アーム 部32は,肘部41に位置する垂直回転軸Y2を中心に回転し,リスト延長部34 は,リスト部42に位置する垂直回転軸Y3を中心に回転する。これら,垂直回転 軸Y1〜Y3は,仮想回転軸線であることは明らかであるが,かかる仮想回転軸線 が示されている以上,回転可能に支持する軸構造自体は一般に知られているありふ れたものであるから,引用刊行物1に,具体的に上部アーム31,前方アーム部3 2, スト延長部34等の各部材を支持する構造が示されていなくとも, リ 当業者は, それら各部材が物理的に回転できるように支持される実体としての軸構造が備えら れていると理解するものと認められる。 確かに,引用発明の「肩部40」「肘部41」及び「リスト部42」は,領域を , 示す用語であって,機構上の「軸」そのものを示すものではないから,厳密な用語 の意味からすれば,これらが補正発明の「第1支軸」「第2支軸」及び「第3支軸」 , に相当するとした本件審決の認定は,不正確といわざるを得ない。しかし,上記の とおり詳細に検討した内容に照らすと,引用発明の「肩部40」「肘部41」及び , 「リスト部42」は,いずれも人体の骨格構造,特に関節を備える人体の部分を模 した表現であり,かかる関節の運動を,機械的あるいは機構的にみれば,軸運動を 行う上腕,前腕及び手を支える軸とその軸を受ける構造が備わっていることは明ら かであるから,引用発明における「肩部40」「肘部41」及び「リスト部42」 , を, 「支軸」と称することが,必ずしも誤りであるとはいえない。なお,軸と軸を受 ける構造のどちらが,これら上部アーム31,前方アーム部32,リスト延長部3 4等の各部材に備えられているかは定かではないものの,軸と軸を受ける構造をど ちらの部材に設けるかは,機構上は相互に置換が可能であって,実質的な差異とは ならないから, その差異を捨象した審決の認定に誤りがあるということはできない。 以上のとおり,引用発明の「肩部40」「肘部41」及び「リスト部42」は, , 29 それぞれ,補正発明の「第1支軸」「第2支軸」及び「第3支軸」に相当するとし , た本件審決の認定は, 語法に不正確な点はあるが, りであるとは認められない。 用 誤 (2)ア 原告は,本件審決が,引用発明の「肩部40」は補正発明の「旋回軸心」 にも相当すると認定したことも誤りであると主張する。 イ 引用刊行物1の上記(1)イ(カ)の記載及び【図4】の図示から,引用発明にお いて,上部アーム31の肩部40に位置する垂直回転軸Y1は,駆動軸46,48 の回転中心であることから,肩部40に位置する垂直回転軸Y1が旋回軸心である ことは明らかである。そして,回転(旋回)する軸を論ずる場合には,機構上,仮 想回転軸線が存在することが明らかであり,それは軸と一体不可分の概念であるか ら,前記(1)で肩部が「第1支軸」に相当すると認定した以上,かかる軸の仮想回転 軸線である垂直回転軸Y1が存在することは明らかであって,かかる軸線を軸と一 体不可分のものとして,肩部40に相当すると認定することは可能である。 したがって, 述の理解の下に, 肩部40に位置する垂直回転軸Y1を中心とし 上 「 て回転する軸」という主旨で, 肩部40」が補正発明の「旋回軸心」に相当すると 「 した本件審決の認定に,誤りはない。 (3) 原告は,本件審決の一致点の認定のうち,上記相当関係を前提とする「ロボ ットアームの関節構造」に係る「第1のモータ及び第2のモータにより回転駆動さ れ,……前記第3アームの他端部には,基板を保持するためのハンドが固設され」 (審決27頁1行〜9行)との認定も誤りであると主張する。 しかし,本件審決の上記相当関係の認定に誤りはないから,原告の主張は採用す ることができない。 (4) 以上のとおり,本件審決には,引用発明と補正発明との相当関係の認定に誤 りはなく,取消事由1は理由がない。 2 取消事由2(相違点2についての認定・判断の誤り)について (1) 原告は,相違点2は, 「ロボットアームの関節構造」に係る部分についての具 体的構造の相違であるところ,この「ロボットアームの関節構造」は,取消事由1 30 で述べたとおり,本件審決が,相当関係についての誤った認定を前提に一致点の認 定を誤った部分に係るものであるから,本件審決の相違点2の認定も当然に誤りで あると主張する。 しかし,本件審決の上記相当関係の認定に誤りがないことは,上記1(2)及び(3) のとおりであり,原告の主張は採用することができない。 (2)ア 原告は, 用刊行物2記載事項の搬送用ロボットの駆動軸の態様及び制御 引 手段,回転出力軸の配置構成等を理由に,引用発明における駆動部27及び可動ア ームアセンブリ25を引用刊行物2記載事項,すなわち,その搬送用ロボットの駆 動部及びアーム伸縮機構に置き換えることは,事実としてできないから,その容易 想到性を肯定した本件審決の判断は誤りであると主張するので,以下検討する。 イ 引用刊行物2から引用刊行物2記載事項を認定できることについては,当事 者間に争いはない。 引用発明は,上部アーム31が,肩部40における軸Y1の回りにシャフト46 と同調して向きを変えるために第1の駆動軸46に固定的に搭載され,前方アーム 部が,伝動システム140で第2の駆動軸48に接続され,アームアセンブリ25 の肘部41において回転軸Y2の回りに回転されるようになっており,リスト延長 部34が,肘部41の回りの前方アーム部の回転に応答してリスト部42で回転軸 Y3の回りにリスト延長部34を同期して逆回転するリスト部伝動システム142 で,前方アーム部32に接続している構成である(前記1(1)イ(カ))ので,引用発 明の駆動軸46,48は,T移動時に同調して同方向に回転し,R移動時に逆回転 することとなる。 一方,引用刊行物2記載事項では,第1駆動用モータ1により回転駆動され,旋 回軸心を有する第1回転出力軸3が備えられ,前記第1回転出力軸3の内部には, 第2駆動用モータ2により回転駆動され,前記旋回軸心と同軸に配置された第2回 転出力軸4が,該第1回転出力軸3の回動とは無関係の状態に突出させられ,前記 第2回転出力軸4には,第1アーム61の基端側が取り付けられ,前記第1アーム 31 61の先端側には,該第1アーム61の回動とともに,該第1アーム61の体内で プーリ及びベルトを介して2:1のギア比で回動されることとなる連結軸64が, 該第1アーム61の回動とは無関係の状態に突出させられ,該連結軸64には,第 2アーム62の基端側が取り付けられ,前記第2アーム62の先端側には,該第2 アーム62の体内でプーリ及びベルトを介して連結軸64に1:2のギア比で回動 されることとなる従動軸66が,該第2アーム62の回動とは無関係の状態に突出 させられているので,T移動時に第1回転出力軸3のみが回転して第2回転出力軸 4は連れ回りし,また,R移動時には第2回転出力軸4のみが回転するように駆動 制御される。 そこで,引用発明と引用刊行物2記載事項を対比すると,上部アーム31(第1 アーム61)が駆動軸46(第2回転出力軸4) 接続され,リスト延長部34 従 に ( 動軸66)がリスト部伝動システム142(プーリ及びベルト)で,肘部41(連 結軸64)に接続している点で両者は共通しており,引用発明では,前方アーム部 32(第2アーム部62)が,伝動システム140で第2の駆動軸48に接続され ているのに対して,引用刊行物2記載事項では,第2アーム部62(前方アーム部 32)が,第1アーム61(上部アーム31)の回動をプーリ及びベルトを介して 伝達される連結軸64(肘部41)に接続されている点で相違することとなる。 この点,一見すると両者の構成には差異があるようにみえるが,その機序を検討 すると,引用発明では,前方アーム部32(第2アーム部62)の回動が独立した 駆動軸48の回動に基いて行われるのに対して,引用刊行物2記載事項では,第2 アーム部62(前方アーム部32)の回動が,第1アームの回動に基いて行われる にすぎず,単に回動のための動力を伝達する径路が相違するだけのものであって, 前方アーム部32(第2アーム部62)の回動の方向は,両者を相対的にみれば, 上部アーム31(第1アーム)の回動方向と逆になるという点で差異はない。そう すると,R移動をさせる際に,引用発明では,駆動軸46と駆動軸48が逆転する こととなる一方,引用刊行物2記載事項では,第2回転出力軸4のみが回転するの 32 は,単に動力を伝達する径路の相違に基づくものであるといえる。そして,伝動装 置において,回転動作や回転力を伝達するに当り,入力される回転動作等と,出力 される回転動作等を決定すれば,その間の動力伝達機構に任意の機構を選択して設 計することは,当業者の技術常識であるから,機序に実質的な差異のない引用発明 と引用刊行物2記載事項との間で,動力伝達機構の構造を転用することには,何ら 技術上の妨げはない。 そして,かかる動力伝達機構として,引用刊行物2記載事項では, 「第1のモータ により回転駆動され,旋回軸心を有する回転基台が備えられ,前記回転基台の内部 には,第2のモータにより回転駆動され,前記旋回軸心と同軸に配置された第1支 軸が,該回転基台の回動とは無関係の状態に突出させられ,前記第1支軸には,第 1アームの一端部が取り付けられ,前記第1アームの他端部には,該第1アームの 回動とともに,該第1アームの体内でプーリ及びベルトを介して2:1のギア比で 回動されることとなる第2支軸が,該第1アームの回動とは無関係の状態に突出さ せられ,該第2支軸には,第2アームの一端部が取り付けられ」た構成を採用して いるから,引用発明の「上部アーム31が,肩部40における軸Y1の回りにシャ フト46と同調して向きを変えるために第1の駆動軸46に固定的に搭載され,前 方アーム部が,伝動システム140で第2の駆動軸48に接続され,アームアセン ブリ25の肘部41において回転軸Y2の回りに回転される」構成と置換すること には,技術上の妨げはなく,当業者が容易になし得るものである。 したがって,引用発明における駆動部27及び可動アームアセンブリ25を引用 刊行物2記載事項の搬送用ロボットの駆動部及びアーム伸縮機構に置き換えること は事実としてできないとの原告の主張は,理由がない。 (3) 以上のとおり,相違点2についての本件審決の認定・判断に誤りはなく,取 消事由2は理由がない。 3 取消事由3(相違点3についての判断の誤り)について 原告は,引用発明における駆動部27及び可動アームアセンブリ25を引用刊行 33 物2記載事項で置換することはできないから,置換が可能であることを前提とした 本件審決の相違点3についての判断も誤りであると主張する。 しかしながら,上記置換が可能であることは,上記2のとおりであり,原告の主 張は,前提において誤りである。 したがって,取消事由3は理由がない。 4 取消事由4(相違点4についての判断の誤り)について (1) 原告は,引用発明における駆動部27及び可動アームアセンブリ25を引用 刊行物2記載事項で置換することはできないから,置換が可能であることを前提と した本件審決の相違点4についての判断も誤りであると主張する。 しかしながら,上記置換が可能であることは,上記2のとおりであり,原告の主 張は,前提において誤りである。 (2)ア 原告は,補正発明は,ロボットの基本形式が引用発明とは全く異なってお り,引用発明の移動軌跡を1種にすることは自明でないし,論理式を導く示唆もな い,補正発明は,R移動とT移動がそれぞれ1軸制御であり,複合制御のときのみ 2軸制御を行うようにするとともに,その制御の論理式も簡易な論理式で済むよう にしていると主張するので,以下検討する。 イ 引用発明と引用刊行物2記載の搬送用ロボットとは,アーム駆動の機序に差 異はなく,R移動及びT移動という2つの同じ移動を行い,またR移動及びT移動 を行うための軸(駆動軸46,48,回転出力軸3,4)の回転方向に実質的な差 異がないことは,上記2(2)イで説示したとおりであるから,ロボットとしての基本 形式を異にしているとはいえない。 そして,引用発明においては,末端作動体部44上に基板Sが載置されていない 状態から,末端作動体部44の中心が基板除去/挿入軸X1,X2に沿って移動さ せても,末端作動体部44の移動を妨げる技術的な事情はなく,また,引用刊行物 1には, 別の実施例においては, 「 カセットの内側の位置がアームアセンブリ25の 「R」移動を妨げるところでは,末端作動体44はカセットに対応する基板除去/ 34 挿入軸X1,X2に対して小さい角度の軸に沿って,カセットに対して末端作動体 を並進させることによりカセットに挿入される」 (16頁7行〜11行)と記載され ているように,末端作動体部44をカセット26L,26Rへの最短経路が妨げら れる場合には,末端作動体部44の中心の移動経路を基板除去/挿入軸X1,X2 に対して小さい角度で動かすことが示唆され,すなわち,小さい角度が0°を想定 すると,移動経路は,基板除去/挿入軸X1,X2に沿って移動することになるか ら,末端作動体部44上に基板Sが載置されているかいないかにかかわらず,基板 除去/基板挿入動作において,末端作動体部44の中心が基板除去/挿入軸X1, X2に沿って移動するものとすることは当業者にとって複数の動作が可能なものの 一方の動作にまとめて単純化したものにすぎず,格別の困難性を有するものではな い。 また,引用刊行物1には, 「基板は,カセット26の側面127と実質的に平行に 方向付けられた軸Xに沿って,正面アクセス開口部を通ってカセット26の中へか つそこから外へ搬送される。カセットはフレーム20の正面11の近くにほぼ並ん で配置される。カセット26の基板アクセス開口部126は,フレーム20の背面 部13の方と同じ方向に面する。よって,それぞれのカセット26の中へかつそこ から外へ基板がそれに沿って搬送される軸Xは,互いに実質的に平行に整列配置さ れる」 (10頁26行〜11頁3行)とされ,軸X1及びX2を概念として含むこと が明らかな軸Xに沿って基板がカセット26に対して出し入れ,すなわち,基板挿 入/基板除去されることが示されており,特段異なる退行動作の制御を行うのであ ればともかく,そうとはされていないから,基板を搬送する部材が基板をカセット 26に挿入した後に基板が載置されていない状態で退行する際には,基板をカセッ ト26から除去する場合と同様の搬送径路(軌跡)をとるとみるのが自然であり, 他にそのような動作であると認定することを妨げる記載もない。その点,引用刊行 物1の記載において, 端作動体部44の中心の移動経路を基板除去/挿入軸X1, 末 X2に対して小さい角度で動かす動作に関して,冒頭に「別の実施例においては」 35 と説明されているように,かかる動作が引用発明の一実施例の位置づけにすぎない ことは明らかである。 したがって,引用発明では,末端作動体部44上に基板Sが載置されているかい ないかにかかわらず,基板除去/基板挿入動作において,末端作動体部44の中心 が基板除去/挿入軸X1,X2に沿って移動するものとすることは想定されていた ともいえる。 次に,補正発明と引用発明とは, 「基板の中心の一点を,旋回軸心から一定距離だ け外れて,かつ,ハンド(末端作動体部44)の到達範囲内にある任意の方向の直 線上を,ロボット本体(ロボット24)に対して直線移動させる」点で一致するも のであるから,その移動の軌跡を数学的に表わせば,駆動軸46の回転角度をθ, 駆動軸46に対する駆動軸48の相対回転角度をφとしたとき,引用発明は,{m 「 +2Lsin(φ) }sin(θ) =h(一定)」を満足する移動を行うものである。 したがって,引用発明には,{m+2Lsin(φ) }sin(θ) =h(一定) 「 」とする ことが,実質的に示されているといえるから,当業者が容易に想到し得る程度のも のである。 ウ 原告は,その制御を,T移動のために回転基台3を1軸制御し,R移動のた めに第1支軸4を1軸制御するというように,簡素化していると主張するが,補正 発明は,T移動,R移動について何ら特定されていないから,原告の上記主張は, その前提において誤りであり,理由はない。また,そのような制御自体は,引用刊 行物2に記載されているものである。 (3) 以上のとおり,原告の主張はいずれも採用することができず,取消事由4は 理由がない。 5 取消事由5(補正発明の顕著な作用効果の看過)について 原告は,補正発明は,顕著な効果を奏する優れた発明であり,本件審決の「補正 発明によってもたらされる効果も,引用発明及び上記従来周知の各事項から当業者 であれば予測できる程度のものであって格別のものではない」32頁26行〜27 ( 36 行)とした判断は誤りであると主張する。 しかしながら,補正発明は,引用発明及び引用刊行物2記載事項等の従来周知の 事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであることは上記のと おりであるから,その効果は,引用発明及び引用刊行物2記載事項等の従来周知の 事項から予測可能なものと認められ,本件審決の上記判断に誤りはない。 したがって,取消事由5は理由がない。 6 取消事由6(本願発明についての認定・判断の誤り)について 原告は,本件補正を却下した本件決定は誤りであり,本願発明は本件補正前の特 許請求の範囲請求項1に記載された「基板搬送用ロボット」ではなく,本件審決の 認定・判断は,全て誤りであると主張する。 しかしながら,本件決定に原告主張の誤りがないことは上記1ないし5のとおり であり,取消事由6も理由がない。 7 結論 以上のとおり,原告主張の取消事由はいずれも理由がなく,他に本件審決にはこ れを取り消すべき違法はない。よって,主文のとおり判決する。 知的財産高等裁判所第3部 裁判長裁判官 芝 田 俊 文 37 裁判官 岡 本 岳 裁判官 武 宮 英 子 38 (別紙) 1 引用刊行物1の図面 【図1】 39 【図4】 40 2 引用刊行物2の図面 41 42 |