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| 事件 |
平成
23年
(行ケ)
10280号
審決取消請求事件
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| 裁判所のデータが存在しません。 | |
| 裁判所 | 知的財産高等裁判所 |
| 判決言渡日 | 2012/08/28 |
| 権利種別 | 特許権 |
| 訴訟類型 | 行政訴訟 |
| 判例全文 | |
|---|---|
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判例全文
平成２４年８月２８日判決言渡 平成２３年（行ケ）第１０２８０号 審決取消請求事件 口頭弁論終結日 平成２４年６月２８日 判 決 原 告 株式会社東京精密 訴訟代理人弁理士 松 浦 憲 三 同 松 村 潔 同 八 幡 宏 之 被 告 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 訴訟代理人弁護士 古 城 春 実 同 堀 籠 佳 典 訴訟代理人弁理士 園 田 吉 隆 主 文 １ 原告の請求を棄却する。 ２ 訴訟費用は原告の負担とする。 事 実 及 び 理 由 第１ 請求 特許庁が，無効２０１０−８００２１１号事件について，平成２３年７月２２日 にした審決を取り消す。 第２ 当事者間に争いのない事実 １ 特許庁における手続の経緯等 被告は，発明の名称を「機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドへ の透明窓の形成」とする特許第３３２７８１７号（優先権主張平成８年８月１６日， アメリカ合衆国。平成９年８月１８日出願，平成１４年７月１２日設定登録。以下 「本件特許」という。）の特許権者である。原告は，平成２２年１１月１５日，本 件特許の請求項１ないし２５に係る発明についての特許を無効にすることについて の審判の請求（無効２０１０−８００２１１号事件）をし，被告は，平成２３年６ 月３０日に訂正請求書，同年７月５日に補正書を提出した（以下「本件訂正」とい う。）。特許庁は，平成２３年７月２２日，「訂正を認める。本件審判の請求は， 成り立たない。」との審決をし，その謄本は，同年８月２日，原告に送達された。 ２ 特許請求の範囲 本件訂正後の本件特許の特許請求の範囲の請求項１ないし２５の記載は次のとお りである（甲２８，甲２９。以下，この発明を「本件発明１」ないし「本件発明２ ５」といい，これらを総称して「本件各発明」という。また，本件訂正後の特許請 求の範囲，発明の詳細な説明及び図面を含めて「本件明細書」ということがある）。 【請求項１】 機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって， ポリッシング 面を有するパッド部と，前記ポリッシング面に形成され前記パッド部を貫通した開 口であって，前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクションおよび 前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セク ションを有する前記開口と，前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第 １部分と，前記開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有する 実質的に透明なプラグと，前記プラグを前記開口内の前記パッド部に固定する手段 とを備えるポリッシングパッド。 【請求項２】 前記プラグがポリウレタン材料で造られている，請求項１に記載のポリッシング パッド。 【請求項３】 前記固定手段が接着材料を有する，請求項１に記載のポリッシングパッド。 【請求項４】 前記接着材料がゴム弾性ポリウレタン材で造られている，請求項３に記載のポリ ッシングパッド。 【請求項５】 前記プラグの前記第１部分が前記開口の前記第１セクションと実質的に同一寸法 であり，前記プラグの前記第２部分が前記開口の前記第２セクションと実質的に同 一寸法である，請求項１に記載のポリッシングパッド。 【請求項６】 前記プラグの前記第１部分が，前記ポリッシング面と同じ高さである上面を有す る，請求項５に記載のポリッシングパッド。 【請求項７】 前記プラグの前記第２セクションの厚さが前記開口の前記第２セクションの深さ より小さい，請求項６に記載のポリッシングパッド。 【請求項８】 前記第１の寸法が前記第２の寸法より大きい，請求項６に記載のポリッシングパ ッド。 【請求項９】 前記プラグがリムを有する，請求項１に記載のポリッシングパッド。 【請求項１０】 前記固定手段が，前記リム上に配置された接着材料を有する，請求項１に記載の ポリッシングパッド。 【請求項１１】 機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって， ポリッシング 面を有する第１層と，前記第１層に隣接する第２層と，前記第１層および前記第２ 層を貫通する開口であって，第１の断面積を持つ前記第１層内の第１開口，および， より小さい第２の断面積を持つ前記第２層の第２開口とを有する前記開口と，前記 開口に配置され，前記第１層の前記第１開口内に位置決めされた第１部分と，前記 第２層の前記第２開口内に位置決めされた第２部分とを有する実質的に透明なプラ グと，前記プラグを前記開口内の前記第１層と前記第２層に固定する接着材料と， を備えるポリッシングパッド。 【請求項１２】 前記第１層が第１デュロメータ測定値を持ち，前記第２層が第２の，より小さい デュロメータ測定値を持つ，請求項１１に記載のポリッシングパッド。 【請求項１３】 ポリッシング面を持つポリッシングパッドを形成する方法であって，開口が，前 記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクション，および，前記ポリッ シング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有 するように，ポリッシングパッドを貫通する前記開口を形成するステップと，実質 的に透明なプラグを，前記プラグが前記開口の前記第１セクション内に位置決めさ れた第１部分と前記開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有 する状態で，前記開口に配置するステップと，前記プラグを前記開口内の前記ポリ ッシングパッドに固定する固定ステップと，を備えるポリッシングパッド形成方法。 【請求項１４】 前記固定ステップが，前記プラグを接着材料で前記開口に固定するステップを有 する，請求項１３に記載のポリッシングパッド形成方法。 【請求項１５】 前記開口を形成するステップが，前記ポリッシングパッドから材料を除去する除 去ステップを有する，請求項１３に記載のポリッシングパッド形成方法。 【請求項１６】 前記除去ステップが，前記ポリッシングパッドの第１層から前記第１セクション を除去するステップと，前記ポリッシングパッドの第２層から前記第２セクション を除去するステップとを有する，請求項１５に記載のポリッシングパッド形成方法。 【請求項１７】 機械化学的ボリッシング装置用（判決注 ポリッシング装置用の誤記と認め る。）のポリッシングパッドであって，ポリッシング面を有する物体と，該物体を 貫通して形成された開口であって，該開口は前記ポリッシング面に隣接し第１の寸 法を有する第１セクション及び，前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは 異なる第２の寸法を有する第２セクションとを有する，該開口と，該開口の前記第 １セクションに対応する同一の形状を有しており且つ前記第１セクション内におい て該開口内の前記物体に固定された実質的に透明なプラグと，を備えるポリッシン グパッド。 【請求項１８】 前記物体が，該ポリッシング面を有する第１層と，該第１層に隣接する第２層と を有する請求項１７に記載のポリッシングパッド。 【請求項１９】 該開口が，該第１層および該第２層を貫通する請求項１８に記載のポリッシング パッド。 【請求項２０】 該開口の該第１部分が該ポリッシング面に隣接し，該開口の該第１部分の寸法が 該開口の該第２部分よりも大きい請求項１９に記載のポリッシングパッド。 【請求項２１】 該プラグの上面が，該ポリッシング面と実質的に同じ高さにある請求項１７に記 載のポリッシングパッド。 【請求項２２】 機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって，ポリッシング面 を有する被覆層及び前記被覆層の下側に位置している裏打ち層を包含する物体と， 前記ポリッシング面に隣接し，第１の寸法を持ち，前記被覆層に形成された第１セ クションと，前記ポリッシング面から遠く，前記第１の寸法とは異なる第２の寸法 を持ち，前記裏打ち層に形成された第２セクションとを有し，前記被覆層と前記裏 打ち層を貫通する開口と，前記開口の前記第１セクション内の前記物体に固定され， 前記開口の前記第１セクションの前記第１寸法及び前記被覆層の厚さと夫々実質的 に同じ寸法を有する実質的に透明なプラグと，を備えるポリッシングパッド。 【請求項２３】 機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって，ポリッシング面 を有する物体と，前記ポリッシング面に隣接し，第１の寸法を持つ第１セクション と，前記ポリッシング面から遠く，前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第 ２セクションとを有し，前記物体を貫通する開口と，前記開口の前記第１セクショ ン内に位置決めされた第１部分と前記第２セクション内に位置決めされた第２部分 とを有しており，前記物体に固定され，前記ポリッシング面と実質的に同じ高さで ある上面を有すると共に前記第２部分の厚さが前記開口の前記第２セクションの深 さより小さい実質的に透明なプラグと，を備えるポリッシングパッド。 【請求項２４】 該上面が，該ポリッシング面のプラグと直に隣接する部分と実質的に共面である 請求項２３に記載のポリッシングパッド。 【請求項２５】 機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって，透過性を低下さ せる添加物を含むポリウレタンで形成されたポリッシング面を有する物体と，前記 ポリッシング面に隣接し，第１の寸法を持つ第１セクションと，前記ポリッシング 面から遠く，前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有し， 前記物体を貫通する開口と，前記開口の前記第１セクションに対応する同一の形状 を有しており，前記第１セクション内に固定され，透過性を低下させる添加物を含 まないポリウレタンで形成された，実質的に透明なプラグと，を備えるポリッシン グパッド。 ３ 審決の理由 (1) 別紙審決書写しのとおりである。その判断の概要は以下のとおりである。 ア 本件訂正は，特許法134条の2第1項の規定に適合し，同条５項で準用す る特許法126条3項，４項の規定にも適合するので，訂正を認める。 イ 本件発明１は，特開平７−５２０３２号公報（甲１）に記載された発明（以 下「甲１発明」という。）との相違点１，２について困難性なしとすることはでき ず，証拠に基づき，当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。 ウ 本件発明２ないし本件発明４は，いずれも本件発明１に従属し，本件発明１ の発明特定事項を全て含むものであるから，同様の理由により，当業者が容易に発 明をすることができたとはいえない。 エ 本件発明５は，甲１発明との相違点１，２を有し，さらに，相違点３で相違 する。相違点１，２については，上記と同様に，困難性なしとすることはできない。 相違点３は，相違点１を前提としているから，相違点３についても，困難性なしと することはできない。したがって，本件発明５は，証拠に基づき，当業者が容易に 発明をすることができたとはいえない。 オ 本件発明６は，甲１発明との相違点１ないし３を有し，さらに，相違点４で 相違する。相違点４は，プラグをパッド部に固定すること，すなわち相違点２を前 提として，可能となるものである。本件発明６は，これにより，スラリ集積を防止 するという効果を有する。甲２６は，ガラス板４を研磨定盤６に固定し，研磨クロ ス５は柔軟性を有するから，研磨時に傷がつかないよう，ガラス板４を研磨クロス ５の表面から，「わずかに後退」させるものであり，技術的意義が異なる。したが って，本件発明６は，証拠に基づき，当業者が容易に発明をすることができたとは いえない。 カ 本件発明７は，甲１発明との相違点１ないし４を有し，さらに，相違点５で 相違する。相違点５は，相違点１を前提としているから，相違点５についても，困 難性なしとすることはできない。したがって，本件発明７は，証拠に基づき，当業 者が容易に発明をすることができたとはいえない。 キ 本件発明８ないし１０は，いずれも本件発明１に従属し，本件発明１の発明 特定事項を全て含むものであるから，同様の理由により，当業者が容易に発明をす ることができたとはいえない。 ク 本件発明１１は，甲１発明との相違点６ないし９を有する。甲１発明に，甲 １８に記載された事項を適用し，相違点６に係るものとすることに困難性は認めら れない。また，相違点７，８は，実質的に相違点１，２と同様であるから，同様に， 困難性なしとすることはできない。さらに，接着材料による固定は周知であるとし ても，相違点９は，相違点８を前提としているから，相違点９についても，困難性 なしとすることはできない。したがって，本件発明１１は，証拠に基づき，当業者 が容易に発明をすることができたとはいえない。 ケ 本件発明１２は，本件発明１１に従属し，本件発明１１の発明特定事項を全 て含むものであるから，同様の理由により，当業者が容易に発明をすることができ たとはいえない。 コ 本件発明１３は，甲１発明の２との相違点１０，１１を有する。相違点１０， １１は，実質的に相違点１，２と同様であるから，同様に，困難性なしとすること はできず，本件発明１３は，証拠に基づき，当業者が容易に発明をすることができ たとはいえない。 サ 本件発明１４ないし１６は，いずれも本件発明１３に従属し，本件発明１３ の発明特定事項を全て含むものであるから，同様の理由により，当業者が容易に発 明をすることができたとはいえない。 シ 本件発明１７は，甲１発明との相違点１２，１３を有する。相違点１２，１ ３は，実質的に相違点１，２と同様であるから，同様に，困難性なしとすることは できず，本件発明１７は，証拠に基づき，当業者が容易に発明をすることができた とはいえない。 ス 本件発明１８ないし２０は，いずれも本件発明１７に従属し，本件発明１７ の発明特定事項を全て含むものであるから，同様の理由により，当業者が容易に発 明をすることができたとはいえない。 セ 本件発明２１は，甲１発明との相違点１２，１３を有し，さらに，相違点１ ４で相違する。相違点１４は，実質的に相違点４と同様であるから，同様に，困難 性なしとすることはできない。したがって，本件発明２１は，証拠に基づき，当業 者が容易に発明をすることができたとはいえない。 ソ 本件発明２２は，甲１発明との相違点１５ないし１７を有する。相違点１５， １６，１７は，順に，実質的に相違点６，１，２と同様であるから，同様に，困難 性なしとすることはできない。したがって，本件発明２２は，証拠に基づき，当業 者が容易に発明をすることができたとはいえない。 タ 本件発明２３は，本件発明７と実質的に同一であるから，同様の理由により， 証拠に基づき，当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。 チ 本件発明２４は，甲１発明との相違点１ないし５を有し，さらに，相違点１ ８で相違する。プラグの上面を，「ポリッシング面のプラグと直に隣接する部分と 実質的に共面」とすることは，いずれの証拠にも記載されておらず，本件発明２４ は，これにより，スラリ集積を防止するという効果を有する。したがって，本件発 明２４は，証拠に基づき，当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。 ツ 本件発明２５は，甲１発明との相違点１９ないし２１を有する。相違点１９ について，ポリッシング面を，「透過性を低下させる添加物を含むポリウレタンで 形成された」ものとする点は，いずれの証拠にも記載されていない。甲１６，甲２ ５記載のものは，ポリッシング面に関するものではない。相違点２０は，実質的に 相違点１と同様であるから，同様に，困難性なしとすることはできない。相違点２ １は，相違点２に加え，さらに「透過性を低下させる添加物を含まないポリウレタ ンで形成された」点で相違する。よって，同様に，困難性なしとすることはできな い。本件発明２５は，相違点１９，２１により，レーザービームの減衰が最小にな るという効果を有する。したがって，本件発明２５は，証拠に基づき，当業者が容 易に発明をすることができたとはいえない。 (2) 審決が認定した甲１発明の内容及び甲１発明と本件各発明との一致点，相違 点は，以下のとおりである。 ア 甲１発明の内容 (ｱ) シリカ粉末を含むアルカリ性溶液からなる研磨液を滴下しつつ研磨する研磨 装置用の研磨布５であって，研磨面を有する研磨布５と，前記研磨面に形成され， 研磨布５が張り付けられた定盤１の溝２と同形に研磨布５を切り抜いて形成した研 磨布窓６と，上部に大径部，下部に小径部を有し，前記研磨布窓６内に大径部が位 置決めされた透明窓材４と，前記透明窓材４の小径部を，研磨布５が張り付けられ た定盤１の溝２に設けられた貫通孔３に嵌め込み，前記透明窓材４は研磨布５のポ リッシング面より十分低いものである研磨布５。 (ｲ) 研磨面を有する研磨布５を形成する方法であって，研磨布５が張り付けられ た定盤１の溝２と同形に研磨布５を切り抜いて研磨布窓６を形成するステップと， 上部に大径部，下部に小径部を有する透明窓材４を，前記研磨布窓６内に大径部が 位置決めされた状態で配置するステップと，前記透明窓材４の小径部を，研磨布５ が張り付けられた定盤１の溝２に設けられた貫通孔３に嵌め込むステップと，を備 える研磨布５形成方法。（以下，この発明を「甲１発明の２」という。） イ 甲１発明，甲１発明の２と本件各発明との一致点 (ｱ) 甲１発明との一致点 ａ 本件発明１との一致点 機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって，ポリッシング面 を有するパッド部と，前記ポリッシング面に形成され前記パッド部を貫通した開口 と，前記開口に位置決めされた第１部分を有する実質的に透明なプラグと，を備え るポリッシングパッド。 ｂ 本件発明１７との一致点 機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって，ポリッシング面 を有する物体と，該物体を貫通して形成された開口と，該開口内に配された実質的 に透明なプラグと，を備えるポリッシングパッド。 ｃ 甲１発明と本件発明２２との一致点 機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって，ポリッシング面 を有する層を包含する物体と，前記物体を貫通する開口と，前記開口内に配された 実質的に透明なプラグと，を備えるポリッシングパッド。 ｄ 甲１発明と本件発明２５との一致点 機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって，ポリッシング面 を有する物体と，前記物体を貫通する開口と，前記開口内に配された実質的に透明 なプラグと，を備えるポリッシングパッド。 (ｲ) 甲１発明の２と本件発明１３との一致点 ポリッシング面を持つポリッシングパッドを形成する方法であって，ポリッシン グパッドを貫通する開口を形成するステップと，実質的に透明なプラグを，前記開 口に配置するステップと，を備えるポリッシングパッド形成方法。 ウ 甲１発明と本件各発明との相違点 (ｱ) 甲１発明と本件発明１ないし本件発明１０，本件発明２４との相違点 相違点１：パッド部を貫通した開口について，本件発明１は，「ポリッシング面 に隣接し第１の寸法を持つ第１セクションおよび前記ポリッシング面から遠く前記 第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する」ものであるが， 甲１発明は，開口の形状が明らかでない点。 相違点２：プラグについて，本件発明１は，「開口の前記第２セクション内に位 置決めされた第２部分」を有し，「開口内の前記パッド部」に固定されるが，甲１ 発明は，プラグの第２部分が「定盤」に固定される点。 (ｲ) 甲１発明と本件発明５ないし本件発明７，本件発明２４との相違点 相違点３：本件発明５は，「前記プラグの前記第１部分が前記開口の前記第１セ クションと実質的に同一寸法であり，前記プラグの前記第２部分が前記開口の前記 第２セクションと実質的に同一寸法である」が，甲１発明は，そのようなものでな い点。 (ｳ) 甲１発明と本件発明６，本件発明７及び本件発明２４との相違点 相違点４：本件発明６は，「前記プラグの前記第１部分が，前記ポリッシング面 と同じ高さである上面を有する」が，甲１発明は，「プラグはポリッシング面より 十分低いものである」点。 (ｴ) 甲１発明と本件発明７及び本件発明２４との相違点 相違点５：本件発明７は，「前記プラグの前記第２セクションの厚さが前記開口 の前記第２セクションの深さより小さい」が，甲１発明はそのようなものでない点。 (ｵ) 甲１発明と本件発明１１との相違点 相違点６：パッド部について，本件発明１１は「ポリッシング面を有する第１層 と，前記第１層に隣接する第２層」からなるが，甲１発明は，２層構造でない点。 相違点７：パッド部を貫通した開口について，本件発明１１は，「第１の断面積 を持つ前記第１層内の第１開口，および，より小さい第２の断面積を持つ前記第２ 層の第２開口とを有する」ものであるが，甲１発明は，開口の形状が明らかでない 点。 相違点８：プラグについて，本件発明１１は，「前記第１層の前記第１開口内に 位置決めされた第１部分と，前記第２層の前記第２開口内に位置決めされた第２部 分と」を有し，パッド部の「開口」に配置されるが，甲１発明は，プラグの第２部 分が「定盤」に固定される点。 相違点９：本件発明１１は，「プラグを前記開口内の前記第１層と前記第２層に 固定する接着材料」を備えるが，甲１発明は，明らかでない点。 (ｶ) 甲１発明の２と本件発明１３との相違点 相違点１０：開口について，本件発明１３は，「前記ポリッシング面に隣接し第 １の寸法を持つ第１セクション，および，前記ポリッシング面から遠く前記第１の 寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する」ものであるが，甲１発 明の２は，開口の形状が明らかでない点。 相違点１１：プラグについて，本件発明１３は，「前記開口の前記第１セクショ ン内に位置決めされた第１部分と前記開口の前記第２セクション内に位置決めされ た第２部分とを有する状態で，前記プラグを前記開口内の前記ポリッシングパッド に固定する固定ステップ」を有するが，甲１発明の２は，プラグの第２部分が「定 盤」に固定される点。 (ｷ) 甲１発明と本件発明１７との相違点 相違点１２：物体を貫通した開口について，本件発明１７は，「前記ポリッシン グ面に隣接し第１の寸法を有する第１セクション及び，前記ポリッシング面から遠 く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を有する第２セクションとを有する」もの であるが，甲１発明は，開口の形状が明らかでない点。 相違点１３：プラグについて，本件発明１７は，「該開口の前記第１セクション に対応する同一の形状を有しており且つ前記第１セクション内において該開口内の 前記物体に固定された」ものであるが，甲１発明は，プラグの第２部分が「定盤」 に固定される点。 (ｸ) 甲１発明と本件発明２１との相違点 本件発明２１と甲１発明とを対比すると，一致点，相違点１２ないし１３を有し， さらに，以下の点で相違する。 相違点１４：本件発明２１は，「該プラグの上面が，該ポリッシング面と実質的 に同じ高さにある」が，甲１発明は，「プラグはポリッシング面より十分低い」も のである点。 (ｹ) 甲１発明と本件発明２２との相違点 相違点１５：物体について，本件発明２２は，「被覆層及び前記被覆層の下側に 位置している裏打ち層」からなるが，甲１発明は，２層構造でない点。 相違点１６：物体を貫通した開口について，本件発明２２は，「前記ポリッシン グ面に隣接し，第１の寸法を持ち，前記被覆層に形成された第１セクションと，前 記ポリッシング面から遠く，前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持ち，前記裏 打ち層に形成された第２セクションと」を有するものであるが，甲１発明は，開口 の形状が明らかでない点。 相違点１７：プラグについて，本件発明２２は，「前記第１セクション内の前記 物体に固定され，前記開口の前記第１セクションの前記第１寸法及び前記被覆層の 厚さと夫々実質的に同じ寸法を有する」ものであるが，甲１発明は，プラグの第２ 部分が「定盤」に固定される点。 (ｺ) 甲１発明と本件発明２４との相違点 相違点１８：本件発明２４は，「該上面が，該ポリッシング面のプラグと直に隣 接する部分と実質的に共面である」が，甲１発明は，明らかでない点。 (ｻ) 甲１発明と本件発明２５との相違点 相違点１９：ポリッシング面について，本件発明２５は，「透過性を低下させる 添加物を含むポリウレタンで形成された」ものであるが，甲１発明は明らかでない 点。 相違点２０：物体を貫通する開口について，本件発明２５は，「前記ポリッシン グ面に隣接し，第１の寸法を持つ第１セクションと，前記ポリッシング面から遠く， 前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションと」を有するものであ るが，甲１発明は，開口の形状が明らかでない点。 相違点２１：プラグについて，本件発明２５は，「前記第１セクションに対応す る同一の形状を有しており，前記第１セクション内に固定され，透過性を低下させ る添加物を含まないポリウレタンで形成された」ものであるが，甲１発明は，プラ グの第２部分が「定盤」に固定される点。 第３ 当事者の主張 １ 取消事由に係る原告の主張 審決には，(1) 本件発明１と甲１発明との相違点１に関する容易想到性判断の誤 り（取消事由１），(2) 本件発明１と甲１発明との相違点２に関する容易想到性判 断の誤り（取消事由２），(3) 本件発明５と甲１発明との相違点３に関する容易想 到性判断の誤り（取消事由３），(4) 本件発明６と甲１発明との相違点４に関する 容易想到性判断の誤り（取消事由４），(5) 本件発明７と甲１発明との相違点５に 関する容易想到性判断の誤り（取消事由５），(6) 本件発明１１と甲１発明との相 違点７ないし９に関する容易想到性判断の誤り（取消事由６），(7) 本件発明１３ と甲１発明の２との相違点１０，１１に関する容易想到性判断の誤り（取消事由 ７），(8) 本件発明１７と甲１発明との相違点１２，１３に関する容易想到性判断 の誤り（取消事由８），(9) 本件発明２１と甲１発明の相違点１４に関する容易想 到性判断の誤り（取消事由９），(10)本件発明２２と甲１発明との相違点１５ない し１７に関する容易想到性判断の誤り（取消事由１０），(11)本件発明２４と甲１ 発明との相違点１８に関する容易想到性判断の誤り（取消事由１１），(12)本件発 明２５と甲１発明との相違点１９ないし２１に関する容易想到性判断の誤り（取消 事由１２），(13)特許法36条6項1号に関する無効理由に対する審理，判断を怠 った瑕疵（取消事由１３），(14)手続上の瑕疵（取消事由１４）があり，これらは 審決の結論に影響を及ぼすから，審決は取り消されるべきである。すなわち， (1) 本件発明１と甲１発明との相違点１に関する容易想到性判断の誤り（取消事 由１） 審決は，相違点１に関し，「開口を形成する場合，加工効率，加工工程数減少の 観点から，開口の形成方向において断面形状は同一とする，すなわち上部断面形状 と下部断面形状とが同一であることが一般的である。」，「よって，開口が，『ポ リッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクション』，『ポリッシング面から 遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクション』を有するものと するためには，特別の動機が必要と解される」として，困難性なしとすることはで きない旨判断した。 しかし，審決の判断は誤りである。 プラグを固定するための開口を形成する上で，開口の上部を下部よりも大きくし， それに嵌めこむプラグが開口から抜け落ちなくすることが一般的であるから（甲４ の図１，甲１９の図３，甲２７の図７，甲３１の図１），開口が「ポリッシング面 に隣接し第１の寸法を持つ第１セクション」，「ポリッシング面から遠く前記第１ の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクション」を有するものとするために， 特別の動機は必要なく，当業者にとって自明である。 また，甲１の図１においては，プラグ（透明窓材４）が抜け落ちない程度に開口 （貫通穴３）は形成されている。甲１９の図３においては，プラグ（ビューウィン ドウ７２）が抜け落ちないように，研磨盤６２に上部と下部とが異なる寸法の開口 が形成されており，プラグを固定するための上部と下部とが異なる寸法の開口を， パッドに形成するかプラテン（定盤）に形成するかは設計事項である。甲４の図１， 甲２７の図７，甲３１の図１のいずれにも，上部と下部とが異なる寸法の開口は示 されている。 したがって，相違点１に係る本件発明１の構成は容易想到である。 (2) 本件発明１と甲１発明との相違点２に関する容易想到性判断の誤り（取消事 由２） 審決は，相違点２に関し，「パッド部は定盤と比較すると柔軟性を有する」， 「定盤はアルミニウム製である」と指摘した上，「プラグは，研磨液の漏出防止の ためのものであるから，確実な固定が求められる。よって，プラグを開口に固定す る場合には，確実な固定の観点から，定盤に固定しようとすることが自然である」， 「プラグを柔軟性を有するパッド部に固定するためには，特別の動機が必要と解さ れる」，「本件発明１は，この点により，『スラリがパッドの下に流出するこを防 止することができ，スラリが高額のため実施効果が大きい』」として，困難性なし とすることはできない旨判断した。 しかし，審決の判断は，以下のとおり誤りである。 ア プラグをプラテンに固定するか，パッドに固定するかは設計事項である。 すなわち，プラグは，「研磨終点検出のための光の透過確保」，「スラリーの漏 洩防止」のためのものであり（甲１の段落【００２２】，図１），プラグを開口に 固定する場合，「研磨終点検出のための光の透過確保」，「スラリーの漏洩防止」 の二つの機能を満足する程度に定盤又はパッドに固定できればよいから，プラグの 定盤への固定が自然であると解する根拠がない。 また，プラグの固定のために，プラグ固定相手の材料特性（パッドが柔軟性を有 するか否か）は問題とならない。 プラグを固定する場合，上記の二つの機能を満足する観点で固定すればよく，プ ラグを固定する機能を果たす上で，パッド部と定盤とは同格であるから，プラグを パッド部に固定する特別の動機は必ずしも必要とされない。 したがって，プラグをプラテンに固定するか，パッドに固定するかは設計事項で ある。 イ 「スラリがパッドの下に流出するこを防止することができ，スラリが高額の ため実施効果が大きい」との効果は，本件発明１の格別の効果とはいえない。 すなわち，上記効果は，口頭審理で初めて主張された効果であり（甲３０），本 件明細書に記載されておらず，その記載から推認することもできない。 仮に，上記効果が本件明細書から読み取れるとしても，スラリーの漏れを防止す るためにプラグ（透明窓材）を定盤に固定した公知技術（甲１）から予測できる効 果であり，当業者にとって容易に想到しうる程度ものである。 また，甲１９では，パッドとプラテンが一体となった研磨盤として構成されてい るため（段落【００１６】，図３），スラリーがパッドの下に流出することはない のであるから，上記効果は，甲１９で公知の効果又は甲１９から予測できる効果で あり，格別のものではない。 (3) 本件発明５と甲１発明との相違点３に関する容易想到性判断の誤り（取消事 由３） 審決は，相違点３について，困難性なしとすることはできない旨判断した。 しかし，審決の判断は，以下のとおり誤りである。 ア プラグの第１部分と開口の第１セクションとを実質的に同一寸法とし，プラ グの第２部分と開口の第２セクションとを実質的に同一寸法とすることは，ごく普 通のことである（甲４の図１，甲２７の図７，甲３１の図１）。 イ 甲１発明も透明窓材を嵌めこみ，スラリーを漏れなくしている点で，上下面 異なる寸法の開口に対して，その開口を塞ぐように透明窓材が配置されているから， 液漏れを防止するように開口を塞ぐ構成とする上で，開口と透明窓材は実質的に同 一寸法とすることは当然である（甲４，甲１９，甲２７，甲３１）。 また，甲４，甲２７も「光を通し」かつ，「液漏れを防止する」という点で，上 下面異なる寸法の開口を塞ぐように窓が配置されており，同じである。 ウ したがって，相違点３に係る本件発明５の構成と甲１発明の構成は実質的に 同一であり，相違点３に係る本件発明５の構成に至ることに困難性はない。 (4) 本件発明６と甲１発明との相違点４に関する容易想到性判断の誤り（取消事 由４） 審決は，相違点４について，困難性なしとすることはできない旨判断した。 しかし，審決の判断は，以下のとおり誤りである。 甲１発明のプラグの上面はポリッシング面と実質的に同じ高さとすることを妨げ るものでない。すなわち，甲１の段落【００１５】には，プラグ（透明窓材４）の 上面をウェハ側に近づけることで当該上面とウェハとの間の間隔を小さくすること が示されるから，甲１においてもプラグ（透明窓材４の上面）とポリッシング面 （研磨布５の上面）とをほぼ同一面とすることを妨げるものでない。 また，甲１９の請求項４には，プラグ（ウィンドウ）がパッド（ワークを研磨す る研磨盤）と同一平面であることが開示されている。 さらに，甲２６の図３にも，プラグ（ガラス板４）の上面を，ポリッシング面 （研磨クロス５の上面）と実質的に同じ高さにしたものが図示されており，平成１ ９年（行ケ）第１０２５０号判決（甲２３の７４頁）の判示によれば，甲２６の 「ガラス板４」の代わりに，甲１５に記載の「ポリシングパッド１」を置き換える のは自然である。そして，このように置換すれば，その置き換えたポリシングパッ ド１を研磨クロス５の表面から後退させなくても，研磨時に傷がつかないようにで きる。 したがって，相違点４は実質的な相違点ではなく，相違点４に係る本件発明６の 構成に至ることに困難性はない。 (5) 本件発明７と甲１発明との相違点５に関する容易想到性判断の誤り（取消事 由５） 審決は，相違点５について，困難性なしとすることはできないと判断した。 しかし，審決の判断は誤りである。 プラグの第２セクションの厚さが開口の第２セクションの深さより小さくするこ とは，甲３１の図１のようにごく普通のことである。 したがって，相違点５は実質的な相違点ではなく，相違点５に係る本件発明７の 構成に至ることは困難ではない。 (6) 本件発明１１と甲１発明との相違点７ないし９に関する容易想到性判断の誤 り（取消事由６） 審決は，相違点７ないし９について，「相違点７，８は，実質的に相違点１，２ と同様であるから，同様に，困難性なしとすることはできない。」，「接着材料に よる固定は周知であるとしても，相違点９は，相違点８を前提としているから，相 違点９についても，困難性なしとすることはできない。」と判断した。 しかし，審決の判断は誤りである。 この判断は相違点１，２に困難性があるとの前提に基づくものであるが，上記の とおり，その前提は誤りである。 また，上部と下部とでサイズが異なる開口にプラグ又はプラグに相当する部材を， 接着を用いて固定する点については，甲６の段落【００１８】及び甲３１の段落 【０００８】に記載されている。 したがって，相違点７ないし９に係る本件発明１１の構成に至ることに困難性は ない。 (7) 本件発明１３と甲１発明の２との相違点１０，１１に関する容易想到性判断 の誤り（取消事由７） 審決は，相違点１０，１１について，「実質的に相違点１，２と同様であるから， 同様に，困難性なしとすることはできない。」と判断した。 しかし，審決の判断は誤りである。 この判断は相違点１，２に困難性があることを前提とするが，上記のとおり，そ の前提は誤りである。 したがって，相違点１０，１１に係る本件発明１３の構成に至ることに困難性は ない。 (8) 本件発明１７と甲１発明との相違点１２，１３に関する容易想到性判断の誤 り（取消事由８） 審決は，相違点１２，１３について，「実質的に相違点１，２と同様であるから， 同様に，困難性なしとすることはできない。」と判断した。 しかし，審決の判断は誤りである。 この判断は相違点１，２に困難性があることを前提とするが，上記のとおり，そ の前提は誤りである。 したがって，相違点１２，１３に係る本件発明１７の構成に至ることに困難性は ない。 (9) 本件発明２１と甲１発明の相違点１４に関する容易想到性判断の誤り（取消 事由９） 審決は，相違点１４について，「実質的に相違点４と同様であるから，同様に， 困難性なしとすることはできない。」と判断した。 しかし，審決の判断は誤りである。 上記(4) に示される甲１の段落【００１５】，甲１９の請求項４及び甲２６の図 ３の記載からすれば，相違点１４は実質的な相違点ではなく，相違点１４に係る本 件発明２１の構成に至ることに困難性はない。 (10) 本件発明２２と甲１発明との相違点１５ないし１７に関する容易想到性判 断の誤り（取消事由１０） 審決は，相違点１５ないし１７について，「相違点１５，１６，１７は，順に， 実質的に相違点６，１，２と同様であるから，同様に，困難性なしとすることはで きない。」と判断した。 しかし，審決の判断は誤りである。 この判断は相違点１，２，６について困難性があることを前提とするが，上記の とおり，その前提に誤りがある。 したがって，相違点１５ないし１７に係る本件発明２２の構成に至ることに困難 性はない。 (11) 本件発明２４と甲１発明との相違点１８に関する容易想到性判断の誤り （取消事由１１） 審決は，相違点１８について，「プラグの上面を，『ポリッシング面のプラグと 直に隣接する部分と実質的に共面』とすることは，いずれの証拠にも記載されてい ない。」などとして，本件発明２４は，証拠に基づき，当業者が容易に発明をする ことができたとすることはできないと判断した。 しかし，審決の判断は誤りである。 上記(4) に示される甲１の段落【００１５】，甲１９の請求項４及び甲２６の図 ３の記載からすれば，相違点１８は実質的な相違点ではなく，相違点１８に係る本 件発明２４の構成に至ることに困難性はない。 (12) 本件発明２５と甲１発明との相違点１９ないし２１に関する容易想到性判 断の誤り（取消事由１２） 審決は，相違点１９について，「ポリッシング面を，『透過性を低下させる添加 物を含むポリウレタンで形成された』ものとする点は，いずれの証拠にも記載され ていない。・・・甲第１６号証，甲第２５号証記載のものは，ポリッシング面に関 するものではない。」，相違点２０について，「実質的に相違点１と同様であるか ら，同様に，困難性なしとすることはできない。」，相違点２１について，「相違 点２に加え，さらに『透過性を低下させる添加物を含まないポリウレタンで形成さ れた』点で相違する。よって，同様に，困難性なしとすることはできない。」， 「本件発明２５は，相違点１９，２１により，レーザービームの減衰が最小になる という効果（段落００１４）を有する。」として，本件発明２５は，証拠に基づき， 当業者が容易に発明をすることができたとすることはできないと判断した。 しかし，審決の判断は，以下のとおり誤りである。 ア ポリッシング面を，透過性を低下させる添加物を含むポリウレタンで形成す ることは公知であるから，相違点１９は実質的な相違点ではなく，相違点１９に困 難性はない。すなわち，本件明細書の段落【０００３】，【００１４】には，本件 特許の出願時に公知であった被覆層（例えば，Rodel IC1000，Rodel EX2000）が添 加物を含み，この添加物がレーザービームの透過性を妨げることが記載されている から，甲１発明のポリッシング面を，「透過性を低下させる添加物を含むポリウレ タンで形成された」ものとする点に困難性はない。 したがって，相違点１９に係る本件発明２５の構成に困難性はない。 イ 甲１の段落【００２２】には，プラグは透過性を低下させる添加物を含まな いほうが好ましいことが示唆されており，甲１６の段落【０００６】には，光ビー ムを透過するものとしてポリウレタンが記載されているから，甲１の「透明窓材 ６」の代わりに，プラグの透過性を低下させる添加物を含まないポリウレタンで置 換するのは，当業者にとって容易である。 したがって，相違点２０，２１に係る本件発明２５の構成に困難性はない。 ウ 甲１の段落【００２２】の記載には，プラグは透過性を低下させる添加物を 含まないほうが好ましいことが示唆されているから，レーザービームの減衰が最小 になるという効果が記載されている。 (13) 特許法36条6項1号に関する無効理由に対する審理，判断を怠った瑕疵 （取消事由１３） 審決は，本件明細書の請求項２４に記載の「上面が，該ポリッシング面のプラグ と直に隣接する部分と実質的に共面である」をサポートする記載が，明細書又は図 面に記載されているといえるかどうかを判断すべきであったのに，「他に，無効と すべき理由を発見しない。」として，判断を怠った瑕疵があるから，違法として取 り消されるべきである。 すなわち，原告（審判請求人）は，審判手続において，審判請求書（甲３３の３ ４頁）で，本件発明２４に関し，本件明細書の請求項２４には，「上面が，該ポリ ッシング面のプラグと直に隣接する部分と実質的に共面である」と記載されている が，明細書又は図面には，それをサポートする記載が存在せず，請求項２４は，特 許を受けようとする発明が発明の詳細な説明に記載したものではなく，特許法３６ 条６項１号を満たしていない旨主張した。したがって，請求項２４記載の「実質的 に共面である」に関し，これをサポートする記載が，明細書又は図面に記載されて いるといえるかどうかについて争いがあったから，審決は，この点について判断す べきであったのに，判断を怠った瑕疵がある。 なお，第１回口頭審理調書（甲３０）には，「請求人・・・訂正請求が認容され ることを前提に，特許法第36条の無効理由の主張は取り下げる」との記載がある が，これは，訂正請求が認容されることを前提に，当該訂正請求が認容された請求 項に対する特許法36条の無効理由の主張は取り下げるとの意であり，原告は，訂 正されていない請求項２４に対する主張は取り下げていない。 (14) 手続上の瑕疵（取消事由１４） 審決は，原告に弁駁の機会を与えることなくなされたものであり，審判手続に手 続上の瑕疵があるから，違法として取り消されるべきである。 すなわち，審判手続において，被告は，「スラリがパッドの下に流出するこを防 止することができ，スラリが高額のため実施効果が大きい」との効果を主張したが， この効果は，本件明細書に記載されておらず，口頭審理で初めて主張されたもので あるから，原告（審判請求人）に弁駁の機会が与えられるべきであったのに，審判 体はこれを怠り，審決で上記効果を認定した上，本件発明１の進歩性を肯定する判 断をした。 また，審決は，「パッド部と定盤とが同格とは言えない」と認定した上で，本件 発明１の進歩性を肯定する判断をしたが，この点は被告（審判被請求人）が従前主 張していなかった争点であるから，原告（審判段階の請求人）に弁駁の機会が与え られるべきであったのに，審判体はこれを怠った。 ２ 被告の反論 審決には，以下のとおり，取り消されるべき判断の誤りはない。 (1) 取消事由１（本件発明１と甲１発明との相違点１に関する容易想到性判断の 誤り）に対し 原告は，相違点１に関する審決の判断について，@プラグを固定するための開口 を形成する上で，開口の上部を下部よりも大きくし，それに嵌めこむプラグが開口 から抜け落ちなくすることが一般的であるから，開口が「ポリッシング面に隣接し 第１の寸法を持つ第１セクション」，「ポリッシング面から遠く前記第１の寸法と は異なる第２の寸法を持つ第２セクション」を有するものとするために，特別の動 機は必要なく，当業者にとって自明である，A甲１の図１においては，プラグ（透 明窓材４）が抜け落ちない程度に開口（貫通穴３）は形成されており，甲１９の図 ３においても，プラグ（ビューウィンドウ７２）が抜け落ちないように，研磨盤６ ２に上部と下部とが異なる寸法の開口が形成されており，甲４の図１，甲２７の図 ７，甲３１の図１のいずれにも，上部と下部とが異なる寸法の開口は示されている から，相違点１に係る本件発明１の構成は容易想到であるなどとして，審決の判断 に誤りがある旨主張する。 しかし，原告の主張は，以下のとおり失当である。 ア 上記@の主張に対し 他の技術分野で，プラグを固定するための開口を「開口の上部を下部よりも大き く」する構成が周知であったとしても，本件発明１が容易想到になるとはいえない。 すなわち，甲４，甲２７及び甲３１は，時計ガラスの防水，内視鏡の外れ防止構 造，ケース防水（の検査）に関するものであり，スラリーを積極的に利用する技術 に関するものでもなく，甲１発明とは技術分野が異なる。 また，甲１発明においては，透明窓材４は，定盤１に固定されているから，研磨 布５の研磨布窓６の「上部を下部よりも大きく」することは無意味であるし，仮に そのような構成とすれば，研磨に寄与しない範囲が更に広くなるか，定盤１に溝２ がポリッシングパッドに覆われてしまい，これを設けた意味がなくなってしまう。 したがって，甲４，甲２７及び甲３１に「開口の上部を下部よりも大きく」する構 成が記載されているとしても，甲１発明に適用するのに適した内容とはいえない。 さらに，開口を形成する場合，加工効率，加工工程数減少の観点から，開口の形 成方向において断面形状は同一とする，すなわち上部断面形状と下部断面形状とが 同一であることが一般的である。特に，ＣＭＰ用のポリッシングパッドは，薄く柔 軟性のある材料で作られているので，「開口の上部を下部よりも大きく」する場合 の加工効率上の不利等は大きく，本件発明１の課題が設定されない限り，甲１にお ける研磨布５の研磨布窓６について，「開口の上部を下部よりも大きく」する構成 を採用することは，技術的合理性のないことである。 したがって，「開口の上部を下部よりも大きく」する構成が他の技術分野で周知 であったといえたとしても，これを甲１発明に適用することはできないから，相違 点１に係る本件発明１の構成は想到容易ではない。 イ 上記Aの主張に対し 原告の主張に係る証拠は，いずれもスラリを積極的に利用するＣＭＰ用の光学的 検出の分野において，実質的に透明なプラグを固定するためのポリッシングパッド の開口を，「開口の上部を下部よりも大きく」する構成が周知であったことを示す ものではない。 すなわち，甲１には，定盤１の貫通孔３に（パイレックス透明ガラス製の）透明 窓材４を嵌めこむことが記載されているが，ポリッシングパッドの開口の形状につ いては記載も示唆もされていない。 甲１９の図３には，ポリッシングパッドの開口（研磨パッド６６のビューイング ・アパーチャ７３）がテーパー付き側壁を有することが記載されているが，これは プラグを固定するための開口ではない。 甲４は，時計ガラスの防水に関するものであり，本件発明や甲１発明とは技術分 野が異なり，また機能上も本件発明や甲１発明のようにスラリを積極的に利用する ものではないから，甲４の図１の記載を根拠に，その構成をポリッシングパッドの 開口に適用することが容易であるということはできない。 甲２７は，内視鏡の外れ防止構造，甲３１は，ケース防水（の検査）にそれぞれ 関するものであり，いずれもスラリを積極的に利用するものではないから，甲２７ の図７や甲３１の図１の記載を根拠に，その構成をポリッシングパッドの開口に適 用することが容易であるということはできない（なお，甲２７と甲３１は，審判請 求時に提出された証拠ではないから，本件発明の容易想到性を判断するための引用 例として考慮することは許されない。）。 (2) 取消事由２（本件発明１と甲１発明との相違点２に関する容易想到性判断の 誤り）に対し 原告は，相違点２に関する審決の判断について，@プラグをプラテンに固定する か，パッドに固定するかは設計事項である，A「スラリがパッドの下に流出するこ とを防止することができ，スラリが高額のため実施効果が大きい」との効果は本件 発明１の格別の効果ではない旨主張する。 しかし，原告の主張は，いずれも失当である。 ア 上記@の主張に対し プラグの確実な固定は，「研磨液（スラリ）の漏洩防止」のために要求されるこ とである。そして，薄くて柔軟な材料からなる部材（ポリッシングパッドのパッド 部）に固定する場合には，十分な厚さと強度のある部材（定盤）に固定する場合に 比べ，プラグの確実な固定は困難となるから，甲１において，定盤（定盤１）とい う十分な厚さと強度のある部材に固定されているプラグ（透明窓材４）を，敢えて， パッド部（研磨布５）という薄くて柔軟な材料からなる部材に固定する構成とする ことは，当業者にとって容易ではない。 すなわち，甲１において，本件発明１のプラグに相当するとされる「透明窓材 ４」は，パイレックス透明ガラス製で，直径や高さは１０ｍｍ程度であるから（段 落【００２２】には，透明窓材４は直径１０ｍｍの貫通孔３に嵌め込まれると記載 され，図１には，透明窓材４の高さは直径とほぼ同様に描かれている。），甲１に 接した当業者は，硬質で比較的重量のある部材である「透明窓材４」を，薄くて柔 軟な材料からなる部材である「研磨布５」に固定することは通常考えない。もっと も，甲１のプラグ（透明窓材１）を，定盤（定盤１）ではなく，敢えてパッド部 （研磨布５）に固定する構成とする特別の動機付けの示唆が存在する場合には，そ のような構成とすることが想到容易と言い得るが，提出された証拠にそのような示 唆はない。 また，本件発明１は「ポリッシングパッドのパッド部」を有するところ，ポリッ シングパッドのパッド部は比較的薄くて柔軟な材料からなり，定盤は比較的厚さと 強度のある部材からなることは，出願時の技術常識である（乙６の５０，５１，１ ５１頁）。発明特定事項や刊行物の記載事項の解釈するにあたり，出願時の技術常 識を考慮し得るから，「パッド部は定盤と比較すると柔軟性を有する」ということ ができる。 そうすると，プラグの確実な固定の観点から，パッド部と定盤は，プラグを固定 する対象として同格であるということはできない。 したがって，プラグを開口に固定する場合には，確実な固定の観点から，定盤に 固定しようとすることが自然であるから，プラグをプラテンに固定するかパッドに 固定するかは，単なる設計事項ではない。 上記Aの主張に対し イ プラグをパッド部に固定することにより，「スラリがパッドの下に流出すること を防止することができ，スラリが高額のため実施効果が大きい」との効果や，ポリ ッシングパッド設置時等のプラグの高さ調整を不要とするという効果を奏する。ま た，プラテンに貼付されて使用されるＣＭＰ用のポリッシングパッドは，定期的に 交換が必要であるから，プラグの高さ調整を不要とすることによる利便性の向上は 顕著である。 相違点２に係る本件発明１の構成により，「スラリがパッドの下に流出すること を防止することができ，スラリが高額のため実施効果が大きい」ことや，ポリッシ ングパッドの設置時等のプラグの高さ調整を不要とするという効果を奏することも 当業者ならば理解できる（本件明細書の段落【００１２】ないし【００１４】）。 また，上記アのとおり，プラグがパッド部に固定されている構成が甲１の記載か ら容易に想到し得たとはいえないから，当該構成による効果についても，甲１から 予想できる範囲のものとはいえない。 さらに，甲１９において，「研磨パッド６６」には切り抜き穴が形成されており， スラリーはパッドの下に流出するから，「スラリがパッドの下に流出することを防 止することができ，スラリが高額のため実施効果が大きい。」との効果が記載され ているとはいえない。 加えて，甲１９の段落【００１６】には，「研磨盤６２はプラテン６４と研磨パ ッド６６を含む。」との記載の後に「研磨パッド６６は，・・・Rodel 社（デラウ ェア州ニューアード）のもの等，一般に入手でき，厚みが５０ミル（１．２７ミ リ）のオーダの研磨パッドから形成することができる。」と記載されるから，パッ ドとプラテンとは別部材であり，一体ではないと解される。すなわち，「研磨盤６ ２」は，「研磨パッド６６」ではなく，「プラテン６４」と「研磨パッド６６」を 含むものであり，甲１９の「研磨盤６２」が本件発明１の「ポリッシングパッド」 に対応するという原告の主張は誤りである。 (3) 取消事由３（本件発明５と甲１発明との相違点３に関する容易想到性判断の 誤り）に対し 原告は，相違点３に関する審決の判断について，@プラグの第１部分と開口の第 １セクションとを実質的に同一寸法とし，プラグの第２部分と開口の第２セクショ ンとを実質的に同一寸法とすることはごく普通のことである，A液漏れを防止する ように開口を塞ぐ構成とする上で，開口と透明窓材は実質的に同一寸法とすること は当然である（甲４，甲１９，甲２７，甲３１）などとして，相違点３に係る本件 発明５の構成と甲１発明の構成は，実質的に同一である旨主張する。 しかし，原告の主張は，以下のとおり失当である。 ア 上記@の主張に対し ポリッシングパッドのパッド部の開口に固定される実質的に透明な部材（プラ グ）の前記第１部分が前記開口の前記第１セクションと実質的に同一寸法であり， 前記プラグの前記第２部分が前記開口の前記第２セクションと実質的に同一寸法で あることは，原告提出の公知例には記載されていない。そして，本件発明５は，相 違点３に係る発明特定事項を備えることにより，「取付面積が拡がり固定しやす い」という効果（本件明細書の段落【００１９】，【００２０】，図３）を奏する ものである。 したがって，相違点３は，実質的な相違点である。 上記Aの主張に対し イ 甲４，甲１９，甲２７及び甲３１は，いずれもスラリを積極的に利用するＣＭＰ 用のポリッシングパッド（のパッド部）が薄く柔軟性のある材料で作られているの で，ポリッシングパッド（のパッド部）に開口を形成しても，これに実質的に透明 なプラグを確実に固定することは困難であるという本件発明５の課題を，記載も示 唆もしていない。 したがって，相違点３に係る本件発明５の構成は容易想到ではない。 (4) 取消事由４（本件発明６と甲１発明との相違点４に関する容易想到性判断の 誤り）に対し 原告は，相違点４に関する審決の判断について，甲１発明のプラグの上面はポリ ッシング面と実質的に同じ高さとすることを妨げるものでなく，甲１９の請求項４ にも，プラグ（ウィンドウ）がパッド（ワークを研磨する研磨盤）と同一平面であ ることが開示され，甲２６の図３にも，プラグ（ガラス板４）の上面を，ポリッシ ング面（研磨クロス５の上面）と実質的に同じ高さにしたものが図示されているか ら，相違点４は実質的な相違点ではなく，困難性はない旨主張する。 しかし，原告の主張は失当である。 甲１，甲１９，甲２６には，実質的に透明なプラグをポリッシングパッド（のパ ッド部）に固定することは記載も示唆もされていないから，パッド部に固定された 実質的に透明なプラグの上面を，ポリッシング面と同じ高さとすることについて示 唆もないというべきである。 すなわち，甲１の段落【００２３】には「透明窓材４は定盤１の表面より約０． ５ｍｍ突出するが，研磨布５の弾性を考慮しても研磨布５の表面よりも十分低くな っている。」と記載されている。 また，甲１９は，請求項４に「上記ウィンドウの上面が上記研磨盤の上面とほぼ 同一平面である」の記載があるが，段落【００１９】の記載に照らせば，「上記研 磨盤の上面」は，「上記研磨盤のプラテンの上面」の誤記であることは当業者にと って明らかであるから，プラグがパッド（のポリッシング面）と同一平面であるこ との開示があるとはいえない。仮に，甲１９の請求項４に「上記ウィンドウの上面 が上記研磨盤の上面とほぼ同一平面である」という構成の開示があることを前提に した場合，クォーツ，溶融シリカ，サファイア（酸化アルミニウム），ダイヤモン ド等の透明な物質からなるビュー・ウィンドウ７２を半導体ウエハに接触させるよ うな構造にどのような技術的意義があるかは当業者にとって不明であり（ウエハを 傷付けてしまう。），甲１発明の透明窓材４にそのような構成を適用する動機付け に欠けるか，そのような適用をすることにつき阻害事由があることとなる。パッド 部は柔軟性を有し，変形することから，相違点４は，プラグをパッド部に固定する こと，すなわち相違点２を前提として可能となるものであり，プラグが定盤に取付 けられている甲１９に採用の余地はない。 さらに，甲２６には，「ガラス板４は，前記研磨定盤６に張られた研磨クロス５ の表面からわずかに後退して」（３頁左下欄）と記載されるとおり，プラグの上面 をポリッシング面と同じ高さとすることが開示されていない。 したがって，相違点４に係る本件発明６の構成は容易想到ではない。 (5) 取消事由５（本件発明７と甲１発明との相違点５に関する容易想到性判断の 誤り）に対し 原告は，プラグの第２セクションの厚さが開口の第２セクションの深さより小さ くすることは，甲３１の図１のようにごく普通のことであるから，相違点５は実質 的な相違点ではない旨主張する。 しかし，甲３１は，防水ケースの（防水性能の）検査方法に関するものであり， 技術分野が異なる。 また，本件発明７は，相違点５に係る発明特定事項を備えることにより，「上面 ６０６はウェーハ１４に接触するが，間隙６１０によってウェーハ上に圧力がかか らない。２段型プラグ６００のより密度の高い材料が局部的に増加する付加を生成 することはない。従って，２段型プラグ６００はウェーハ１４のポリッシングに悪 影響を及ぼすことはない。」（本件明細書の段落【００１７】）との効果を奏する ものであるが，このような効果は甲３１からは予想できない。 したがって，相違点５に係る本件発明７の構成は容易想到ではない。 (6) 取消事由６（本件発明１１と甲１発明との相違点７ないし９に関する容易想 到性判断の誤り）に対し 原告は，相違点７ないし９に関する審決の判断について，@当該判断は相違点１， ２に困難性があるとの前提に基づくものであり，その前提は誤りである，A上部と 下部とでサイズが異なる開口にプラグ又はプラグに相当する部材を，接着を用いて 固定する点については，甲６の段落【００１８】及び甲３１の段落【０００８】に 記載されている旨主張する。 しかし，上記のとおり，相違点１，２に関する審決の判断に誤りはない。また， 甲６や甲３１は，技術分野が異なるし，スラリを積極的に利用するものでもないか ら，甲６や甲３１を根拠に相違点９が解消されるとする原告の主張に理由はない。 (7) 取消事由７（本件発明１３と甲１発明の２との相違点１０，１１に関する容 易想到性判断の誤り）に対し 原告は，相違点１０，１１に関する審決の判断について，当該判断は相違点１， ２に困難性があるとの前提に基づくものであり，その前提は誤りである旨主張する。 しかし，上記のとおり，相違点１，２に関する審決の判断に誤りはないから，原 告の主張は失当である。 (8) 取消事由８（本件発明１７と甲１発明との相違点１２，１３に関する容易想 到性判断の誤り）に対し 原告は，相違点１２，１３に関する審決の判断について，当該判断は相違点１， ２に困難性があるとの前提に基づくものであり，その前提は誤りである旨主張する。 しかし，上記のとおり，相違点１，２に関する審決の判断に誤りはないから，原 告の主張は失当である。 (9) 取消事由９（本件発明２１と甲１発明の相違点１４に関する容易想到性判断 の誤り）に対し 原告は，相違点１４に関する審決の判断について，甲１の段落【００１５】，甲 １９の請求項４及び甲２６の図３の記載からすれば，相違点１４は実質的な相違点 ではない旨主張する。 しかし，原告の主張は失当である。 原告は，要するに，相違点４に関する審決の判断の誤りを前提とするものである と主張するが，相違点４に関する審決の判断に誤りはない。 (10) 取消事由１０（本件発明２２と甲１発明との相違点１５ないし１７に関す る容易想到性判断の誤り）に対し 原告は，相違点１５ないし１７に関する審決の判断について，当該判断は相違点 １，２，６について困難性があるとの前提に基づくものであり，その前提に誤りが ある旨主張する。 しかし，上記のとおり，相違点１，２，６に関する審決の判断に誤りはないから， 原告の主張は失当である。 (11) 取消事由１１（本件発明２４と甲１発明との相違点１８に関する容易想到 性判断の誤り）に対し 原告は，相違点１８に関する審決の判断について，甲１の段落【００１５】，甲 １９の請求項４及び甲２６の図３の記載からすれば，相違点１８は実質的な相違点 ではない旨主張する。 しかし，原告の主張は失当である。 甲１には，研磨布（ポリッシングパッド）の上面が，ポリッシング面の透明窓材 ４（プラグ）と直に隣接する部分が存在することの記載はなく，かえって，観察を 可能とするために，研磨液を十分保持できるようにし，空気が混じらないようにす るための溝２（段落【００１６】）が存在するから，甲１は，スラリ集積を積極的 に誘引しており，本件発明２４とは逆の発想に基づくものである。すなわち，甲１ は，研磨布（ポリッシングパッド）の上面が，ポリッシング面の透明窓材４（プラ グ）と直に隣接する部分が存在する構成を積極的に排除しているといえる。また， 甲１の段落【００１５】の「透明窓材の表面とウエハの研磨面との間の間隔が小さ い」の記載は，（小さいとはいえ）両者の間に間隔が存在することを意味するから， 透明窓材の表面とウエハの研磨面（研磨布５の上面）の間に段差があり，両者が 「実質的に共面である」ことはあり得ない。さらに，甲１の段落【００２３】でも， 「透明窓材４は定盤１の表面より約０．５ｍｍ突出するが，研磨布５の弾性を考慮 しても研磨布５の表面よりも十分低くなっている。」と記載され，プラグの上面を 「ポリッシング面のプラグと直に隣接する部分と実質的に共面」とすることを積極 的に排除している。 甲１９の請求項４や甲２６の図３に「実質的に共面であること」が開示されてい ないことについては，上記(4) のとおりである。 したがって，原告の主張には理由がない。 (12) 取消事由１２（本件発明２５と甲１発明との相違点１９ないし２１に関す る容易想到性判断の誤り）に対し 原告は，相違点１９ないし２１に関する審決の判断について，@ポリッシング面 を，透過性を低下させる添加物を含むポリウレタンで形成することは公知であるか ら，相違点１９は実質的な相違点ではない，A相違点２０，２１に関する判断は， 相違点１，２に関する審決の判断を前提とするが，審決の相違点１，２に関する判 断は誤りである，B甲１の段落【００２２】に，プラグの透過性を低下させる添加 物を含まないほうが好ましいことが示唆され，甲１６の段落【０００６】には，光 ビームを透過するものとしてポリウレタンが記載されているから，甲１の「透明窓 材６」の代わりに，プラグの透過性を低下させる添加物を含まないポリウレタンで 置換するのは容易であり，相違点２０，２１に係る本件発明２５の構成に困難性は ないなどと主張する。 しかし，原告の主張は失当である。 上記Aの主張について，上記のとおり，相違点１，２に関する審決の判断に誤り はない。 また上記Bの主張について，甲１には，「パイレックス透明ガラス製の透明窓材 ４が嵌め込まれ」（段落【００２２】）との記載があるが，そのような材料を選択 する理由については何ら記載していないから，透明窓材４を，添加物を含まないポ リウレタンに置換することにつき示唆があるとはいえない。 (13) 取消事由１３（特許法36条6項1号に関する無効理由に対する審理，判 断を怠った瑕疵）に対し 原告は，本件明細書の請求項２４の「上面が，該ポリッシング面のプラグと直に 隣接する部分と実質的に共面である」をサポートする記載が，明細書又は図面に記 載されているといえるかどうかを判断すべきであったのに，これを怠った瑕疵があ るから，審決は違法として取り消されるべきである旨主張する。 しかし，原告の主張は失当である。 審判手続における第１回口頭審理調書（甲３０）の「陳述の要領」の「請求人」 に，「８ 訂正請求が認容されることを前提に，特許法第36条の無効理由の主張 は取り下げる。」と記載されるとおり，請求人（原告）は，特許法36条に関する 無効理由を取り下げているから，審決が同無効理由についての判断をしないことは 違法ではない。 (14) 取消事由１４（手続上の瑕疵）に対し 原告は，審決は，原告に弁駁の機会を与えることなくなされたものであり，審判 に手続上の瑕疵があるから，違法として取り消されるべきである旨主張する。 しかし，原告の主張は失当である。 被請求人（被告）の主張の内容は，遅くとも口頭審理の期日までに請求人（原 告）に伝えられており，原告は，口頭審理の期日において，反論したい旨述べるこ ともできたし，その後に反論の内容を記載した書面を提出することもできたのであ るから，原告には反論の機会が与えられていた。 したがって，審判手続に瑕疵はない。 当裁判所の判断 第４ 当裁判所は，原告主張の取消事由にはいずれも理由がなく，審決に取り消される べき違法はないと判断する。 １ 取消事由１（本件発明１と甲１発明との相違点１に関する容易想到性判断の 誤り）について 原告は，相違点１に関する審決の判断について，@プラグを固定するための開口 を形成する上で，開口の上部を下部よりも大きくし，それに嵌めこむプラグが開口 から抜け落ちなくすることが一般的であるから，開口が「ポリッシング面に隣接し 第１の寸法を持つ第１セクション」，「ポリッシング面から遠く前記第１の寸法と は異なる第２の寸法を持つ第２セクション」を有するものとするために，特別の動 機は必要なく，当業者にとって自明である，A甲１の図１においては，プラグ（透 明窓材４）が抜け落ちない程度に開口（貫通穴３）は形成されており，甲１９の図 ３においても，プラグ（ビューウィンドウ７２）が抜け落ちないように，研磨盤６ ２に上部と下部とが異なる寸法の開口が形成されており，甲４の図１，甲２７の図 ７，甲３１の図１のいずれにも，上部と下部とが異なる寸法の開口は示されている などとして，相違点１に係る本件発明１の構成は容易想到であり，審決の判断に誤 りがある旨主張するので，以下検討する。 (1) 認定事実 ア 本件明細書の特許請求の範囲の【請求項１】の記載は，上記第２の２のとお りである。また，本件明細書には次の記載がある（甲２８，甲２９）。 【発明の実施形態】・・・ 【００１４】パッドの被覆層で使用されるポリウレタン材料はレーザービームを 実質的に透過できるが，ナイロン微小球体等の或る種の添加物を含み，この添加物 がその透過性を妨げる。この問題は，図３の（Ｃ）に記載された本発明の実施形態 で解消される。この実施形態では，プラテン孔３０上に位置する領域の代表的なパ ッド材料が，中実のポリウレタンプラグ４２と置き換わっている。このプラグ４２ は，レーザービーム用の窓として働くが，ナイロン微小球体を含まないポリウレタ ン材料でできている。・・・ 【００１５】・・・液体ポリウレタンを硬化させて，ポリッシングパッド内に一 体成形されたプラグを成形する。或はまた，プラグを中実インサートとして予め成 形することもできるだろう。このインサートを，溶融したポリッシングパッドバル ク材料中に入れてから，プラグ４２の材料とポリッシングパッド１８の材料とが接 合するように，そのアセンブリ全体を硬化させることができる。アセンブリが冷却 されると，ポリウレタンプラグ４２がポリッシングパッドの中に一体成形されるこ とになる。しかしながら，ポリッシングパッド１８の材料，特に被覆層２２の材料 は，ポリウレタンプラグ４２の材料とは異なる。従って，アセンブリが硬化すると きにプラグ４２の材料が収縮して，窓を上か下に座屈させる傾向がある。これによ って，スラリを集積させるくぼみか，ウェーハ１４を損傷させる隆起のいずれかが 発生する。 【００１６】図３の（Ｄ）によれば，別の実施形態では，２段型プラグ６００が， プラテン孔３０の上のポリッシングパッド１８中に位置決めされている。この２段 型プラグ６００は，レーザービーム用の窓として働く比較的透明な材料で形成され る。・・・上記材料は，ポリッシングプロセスに関して化学的に不活性で，ポリッ シングパッドと同じ速度で侵食する。２段型プラグ６００は，上側プラグ部６０２ と下側プラグ部６０４とを含む。上側プラグ部６０２は被覆層２２の孔，つまり開 口６３０に嵌合し，下側プラグ部６０４は裏打ち層２０の孔，つまり開口６３２に 嵌合する。上側プラグ部６０２の上面６０６は，ポリッシングパッド１８の上面２ ３と同一平面である。・・・ 【００１８】図３の（Ｅ）と（Ｆ）によれば，ポリッシングパッド１８を以下の ように組み立ててもよい。中実のポリウレタンピースから２段型プラグ６００を機 械加工するか成形加工する。ポリッシングパッド１８に開口６１２を切削加工する。 或は，ポリッシングパッド１８を開口６１２と一体に成形してもよい。開口６１２ は２つのセクションを含む。開口の第１セクションを被覆層２２の孔６３０とし， 開口の第２セクションを裏打ち層２０の孔６３２としてもよい。開口６１２は２段 型プラグ６００の形状に合わせる。プラグの形は，異なる断面積を持つ隣接する長 方形の平板でもよい。・・・ 【００２２】２段型プラグ６００によって提供される窓は，レーザービーム３４ を遮る，プラテン孔３０上へのスラリ集積を防止する。・・・プラグは，プラテン 孔３０へのスラリ４０の漏れを防ぐために開口内に密止され，またウェーハに局部 的な負荷増加を防ぐために押し下げられる。 【図３】は別紙１のとおりである。 イ 甲１発明の内容は，上記第２の３(2)ア(ｱ)のとおりであり（当事者間に争い がない。），甲１発明の２の内容は，同(ｲ) のとおりである（弁論の全趣旨）。ま た，甲１には次の記載がある。 【０００１】【産業上の利用分野】本発明は，半導体ウエハ，特にＳＯＩ (Silicon-on-Insulator)ウエハ等の膜付きウエハの研磨方法及び装置に関する。 【０００６】【発明が解決しようとする課題】本発明は，研磨途中でウエハを定 盤から離すことなく研磨中の膜の厚さを知ることができ，研磨の高精度な制御が効 率よくできるウエハの研磨方法及び装置を提供することを課題とする。 【００２２】【実施例】図１，図２に示した実施例について説明する。定盤１は 直径３００ｍｍ，厚さ１０ｍｍのアルミニウム製の円盤で，その中心の片面に定盤 １を回転するための軸が固定してある。定盤１の軸を固定した面の反対側の面には， 中心から放射状に伸びる近接した２本の直線で囲まれ，中心付近から周縁近くまで 伸びた溝２が設けてある。溝２の中心側の幅は５ｍｍで周縁側の幅は１５ｍｍ，深 さ１ｍｍとなっている。溝２の長手方向中央には，直径１０ｍｍの貫通孔３が設け られ，溝２の反対側では円錐状に拡大している。貫通孔３の溝２側にはパイレック ス透明ガラス製の透明窓材４が嵌め込まれ，研磨液が漏れないようにしてある。 【００２３】定盤１の溝２を有する面には，定盤１と同形の厚さ０．７ｍｍのロ ーデルニッタ社製，商品名suba−500 ウレタン含浸ポリエステル不織布からなる研 磨布５が張り付けられ，溝２に相当する部分は溝２と同形に切り抜かれて，研磨布 窓６が形成されている。透明窓材４は定盤１の表面より約０.５ｍｍ突出するが， 研磨布５の弾性を考慮しても研磨布５の表面より十分低くなっている。 【図１】，【図２】は，別紙２のとおりである。 ウ 甲４，甲１９，甲２７及び甲３１の記載の概要は次のとおりである。 (ｱ) 甲４（実開昭６４−１９１９１号公報） 「メッキ付き時計ケースの時計ガラスの固定構造」に関する技術であり，時計ケ ース１に形成された開口に位置決めされた時計ガラス４が記載されている（当事者 間に争いがない。）。第１図は，別紙３(1) のとおりである。 (ｲ) 甲１９（特開平７−２３５５２０号公報） 「研磨過程モニタ装置及びそのモニタ方法」に関する技術であり，半導体ウエハ の機械化学研磨における終了点判定において，鋭いナイフ等の適当な器具を用いて， 又は研磨パッド６６の形成時に，パッドを切削して研磨パッド６６にビューイング ・アパーチャ７３を形成することが記載されている（当事者間に争いがない。）。 第３図は，別紙３(2) のとおりである。 (ｳ) 甲２７（特開平７−５９７２７号公報） 「内視鏡カバー方式の内視鏡」に関する技術であり，開口部５１に形成された段 部５３に，レンズカバー３５のフランジ５２を嵌合させた内視鏡カバー３が記載さ れている（当事者間に争いがない。）。図７は，別紙３(3) のとおりである。 (ｴ) 甲３１（特開平５−１９６５３６号公報） 「防水ケースの検査方法」に関する技術であり，ケース本体に形成された開口１ ２ａの段部に，窓用透明部材１４のフランジ部を嵌合させた構造が記載されている。 図１は，別紙３(4) のとおりである。 (2) 判断 ア 上記@の主張について 上記(1)ア 認定の事実によれば，本件発明１は，ポリッシングパッドに形成され た開口に透明なプラグを良好に固定するために，「前記ポリッシング面に形成され 前記パッド部を貫通した開口であって，前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を 持つ第１セクションおよび前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる 第２の寸法を持つ第２セクションを有する前記開口と，前記開口の前記第１セクシ ョン内に位置決めされた第１部分と，前記開口の前記第２セクション内に位置決め された第２部分とを有する実質的に透明なプラグと，前記プラグを前記開口内の前 記パッド部に固定する手段とを備える」ものと解される（請求項１，段落【００１ ４】ないし【００１６】，【００１８】）。また，ポリッシングパッドにプラグが 固定された構造から，パッド下方に位置するプラテン孔３０へのスラリ４０の漏れ を防止する効果を奏することが認められる（段落【００２２】）。 これに対して，上記(1)イ 認定の事実によれば，甲１の図１には，上部に大径部， 下部に小径部を有し，研磨布窓６内に大径部が位置決めされた透明窓材４があり， 透明窓材４の小径部を溝２に設けられた貫通穴３に嵌め込んだ形状が図示されてい ることが認められるが，甲１発明は，研磨布５（パッド）の研磨布窓６（開口）の 形状（本件発明１の開口の形状に対応するものであって，面に垂直な方向に関する 形状）が明らかでなく，少なくとも，プラグを固定するものではないから，上記形 状は，プラグの固定を良好にすることを意図したものではないといえる。 また，上記(1)ウ 認定の事実によれば，甲４の第１図，甲１９の第３図，甲２７ の図７，甲３１の図１には，いずれも，開口を蓋部材で塞ぐ構造において，開口の 上部（下部）を下部（上部）よりも大きくし，それに蓋部材を嵌め込むようにして 蓋部材が開口から抜け落ちなくすることが開示されているが，甲４は「メッキ付き 時計ケースの時計ガラスの固定構造」，甲２７は「内視鏡カバー方式の内視鏡」， 甲３１は「防水ケースの検査方法」に関する技術であり，本件発明１の機械化学的 ポリッシング及びポリッシングパッドに関する技術とは異なる。 さらに，甲１９は「研磨過程モニタ装置及びそのモニタ方法」に関する技術であ って本件発明１と技術分野が共通するが，開口はパッドではなくプラテン６４に形 成され，ビュー・ウィンドウ７２（プラグ）はプラテン６４に嵌め込まれて固定さ れたものである。この点，原告は，プラグを固定するための上部と下部とが異なる 寸法の開口を，パッドに形成するかプラテンに形成するかは設計事項である旨主張 するが，後記２のとおり，原告の主張は採用できない。 そうすると，甲４，甲１９，甲２７，甲３１に，開口を蓋部材で塞ぐ構造におい て，開口の上部（下部）を下部（上部）よりも大きくし，それに蓋部材を嵌め込む ようにして蓋部材が開口から抜け落ちなくする技術が開示されているとしても，ポ リッシングパッド又はその開口の形状に適用することが記載又は示唆されておらず， 適用することの動機付けがあるとも認められない。原告は，上記の技術をポリッシ ングパッド又はその開口の形状に適用することに特別の動機は必要ない旨主張する が，後知恵を排除する観点から，かかる解釈は採用できない。 したがって，ポリッシングパッドの開口が，「ポリッシング面に隣接し第１の寸 法を持つ第１セクション」，「ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる 第２の寸法を持つ第２セクション」を有するものとすることが，当業者にとって自 明であるとはいえない。 イ 上記Aの主張について また，上記アのとおり，甲１の図１記載の形状はプラグの固定を良好にすること を意図したものではなく，甲１９の図３記載の開口はパッドではなくプラテン６４ に形成され，ビュー・ウィンドウ７２（プラグ）はプラテンに嵌め込まれて固定さ れたものであり，甲４，甲２７，甲３１記載の技術は，いずれも機械化学的ポリッ シング及びポリッシングパッドに関する技術とは異なる技術分野に属する。 したがって，上記各証拠の記載から，実質的に透明なプラグを固定するためのポ リッシングパッドに関し，「開口の上部を下部よりも大きく」する構成が周知であ ったとか，これらに記載された技術を適用して，相違点１に係る本件発明１の構成 に容易に想到するとは認められない。 ウ 以上のとおり，相違点１に関する審決の容易想到性判断に誤りはない。 ２ 取消事由２（本件発明１と甲１発明との相違点２に関する容易想到性判断の 誤り）について 原告は，相違点２に関する審決の判断について，@プラグをプラテンに固定する か，パッドに固定するかは設計事項である，A「スラリがパッドの下に流出するこ とを防止することができ，スラリが高額のため実施効果が大きい」との効果は本件 発明１の格別の効果ではない旨主張する。 (1) 上記@の主張について 甲１の段落【００２２】，【００２３】の記載は，上記１(1)イの【００２２】， 【００２３】のとおりである。すなわち，甲１には，「定盤１」に設けられた貫通 孔３に，硬質で比較的重量のある部材である「透明窓材４」が嵌め込まれること， 定盤１の溝２を有する面に張り付けられるのは薄くて柔軟な部材からなる「研磨布 ５」であることが開示されているといえる。 甲１に接した当業者にとって，硬質で比較的重量のある部材である「透明窓材 ４」を「定盤１」ではなく，薄くて柔軟な材料からなる部材「研磨布５」に固定す ることが，技術常識からして当然とはいえない。また，甲１において，「透明窓材 ４」を，「研磨布５」に固定する構成とする示唆ないし動機付けが示されていると も認められない。そうすると，プラグ（甲１発明の「透明窓材４」に相当する。） を固定する場合には，確実な固定の観点から，パッド部（甲１発明の「研磨布５」 に相当する。）ではなく，定盤に固定しようとすることがむしろ自然である。 また，機械化学的ポリッシング装置（ＣＭＰ装置）において，研磨パッド（研磨 布，ポリッシングパッド）は定盤（プラテン）の上に貼り付け，ウエハーに接触す ることが一般的と考えられるところ，本件発明１及び甲１発明においてもそのよう な構成及び機能であるから，定盤と研磨パッド（ポリッシングパッド）とはその構 成及び機能が異なるものと解される。 したがって，パッド部と定盤は，プラグを固定する対象として同格であるという ことはできず，プラグをプラテン（定盤）に固定するかパッドに固定するかは，設 計事項とはいえない。 (2) 上記Aの主張について 上記１(2)ア のとおり，相違点２に係る本件発明１の構成であるポリッシングパ ッドにプラグが固定された構造から，スラリがパッドの下のプラテン孔に流出する ことを防止できる効果を理解できる。 一方，上記(1) のとおり，プラグがパッド部に固定されている構成が甲１の記載 から容易に想到できるとはいえないから，ポリッシングパッドにプラグが固定され た構造から奏される上記の効果も，甲１から予測できるとはいえない。 また，甲１９の段落【００１６】に「研磨盤６２はプラテン６４と研磨パッド６ ６を含む。・・・研磨パッド６６は，・・・Rodel社 ・・・のもの等，一般に入手 でき，厚みが５０ミル（１．２７ｍｍ）のオーダの研磨パッドから形成することが できる。」と記載されるから，プラテンと研磨パッドとは別部材であると解され， 他に，両者が一体となっていることの記載又は示唆はない。そうすると，両者が一 体となっていることを前提として，上記効果が，甲１９により公知又は予測可能で あるとする原告の主張は前提を欠くものである。 (3) 以上のとおり，相違点２に関する審決の容易想到性判断に誤りはない。 ３ 取消事由３（本件発明５と甲１発明との相違点３に関する容易想到性判断の 誤り）について 原告は，相違点３に係る本件発明５の構成と甲１発明の構成は，実質的に同一で ある旨主張する。 しかし，相違点３は，相違点１を前提とした相違点であるところ，上記１のとお り，相違点１に関する審決の容易想到性判断に誤りはないから，相違点３に関する 審決の容易想到性判断にも誤りは認められない。 ４ 取消事由４（本件発明６と甲１発明との相違点４に関する容易想到性判断の 誤り）について 原告は，相違点４に関する審決の判断について，甲１発明のプラグの上面はポリ ッシング面と実質的に同じ高さとすることを妨げるものでなく，甲１９の請求項４ にも，プラグ（ウィンドウ）がパッド（ワークを研磨する研磨盤）と同一平面であ ることが開示され，甲２６の図３にも，プラグ（ガラス板４）の上面を，ポリッシ ング面（研磨クロス５の上面）と実質的に同じ高さにしたものが図示されているか ら，相違点４は実質的な相違点ではなく，困難性はない旨主張するので，以下検討 する。 (1) 認定事実 ア 甲１には，次の記載がある。 【００１５】本発明の装置において，透明窓材とウエハとの間にできる研磨液の 膜を通してウエハの研磨面に照射した光の反射光を観察あるいは評価するのである が，研磨液は液中に微粒子が懸濁したものであり，光を散乱する性質をもっている ので，透明窓材の表面とウエハの研磨面との間の間隔が小さい方が観察あるいは評 価に都合がよい。 イ 甲１９には，次の記載がある。 【請求項４】上記ウィンドウが，上記ウィンドウの上面が上記研磨盤の上面とほ ぼ同一平面であるように，上記研磨盤内に組込まれることを特徴とする，請求項１ 乃至３のいずれか１つに記載の研磨過程モニタ装置。 【００１９】・・・ビュー・ウィンドウ７２は研磨盤６２内に取り付けられ，特 に，ビュー・ウィンドウ７２の上面が研磨盤６２のプラテン６４の上面とほぼ同一 平面になるように取り付けられる。または，ビュー・ウィンドウ７２は，研磨盤６ ２の上面の下にわずかに埋込んでもよい。・・・ビュー・ウィンドウ７２は，クォ ーツ，溶融シリカ，サファイア（酸化アルミニウム），ダイヤモンド等の透明な物 質からなり，更に下面や上面に反射防止（ＡＲ）膜を有する。・・・ ウ 甲２６（特開平３−２３４４６７号公報）には，次の記載がある。 「ガラス板４は，前記研磨定盤６に張られた研磨クロス５の表面からわずかに後 退してほぼ同一平面を形成するように該研磨定盤６の適宜部位に形成された取付孔 ６ｂに嵌着されており，その表面は前記研磨クロス５が張られることなく露出して いる。」（３頁左下欄） 図３は，別紙３(5) のとおりである。 (2) 判断 上記１のとおり，甲１及び甲１９には，プラグ（透明窓材４，ビュー・ウィンド ウ７２）をパッド（研磨布５，研磨パッド６６）に固定することについて記載又は 示唆されていないから，パッド部に固定されたプラグの上面をパッド部のポリッシ ング面と同じ高さとすることについての記載又は示唆もないというべきである。 また，上記１(1)イ 認定の事実によれば，甲１の段落【００２３】には「透明窓 材４は定盤１の表面より約０．５ｍｍ突出するが，研磨布５の弾性を考慮しても研 磨布５の表面よりも十分低くなっている。」と記載されること，上記(1) 認定の事 実によれば，甲１９は，請求項４に「上記ウィンドウの上面が上記研磨盤の上面と ほぼ同一平面である」の記載があるが，段落【００１９】及び第３図の記載に照ら せば，「上記研磨盤の上面」は，「上記研磨盤のプラテンの上面」の誤記と認めら れることからしても，相違点４に係る本件発明６の構成について，甲１及び甲１９ に記載又は示唆はないといえる。 さらに，上記(1) 認定の事実によっても，甲２６には，「ガラス板４は，前記研 磨定盤６に張られた研磨クロス５の表面からわずかに後退して」と記載されており， プラグの上面をポリッシング面と同じ高さとすることが開示されているとはいえな い。 したがって，甲１，甲１９，甲２６には，パッド部に固定された実質的に透明な プラグの上面を，ポリッシング面と同じ高さとすることについて記載も示唆もない というべきであり，相違点４に関する審決の容易想到性判断に誤りはない。 ５ 取消事由５（本件発明７と甲１発明との相違点５に関する容易想到性判断の 誤り）について 原告は，相違点５は実質的な相違点ではない旨主張する。 しかし，相違点５は，相違点１を前提とした相違点であるところ，上記１のとお り，相違点１に関する審決の容易想到性判断に誤りはないから，相違点５に関する 審決の容易想到性判断にも誤りは認められない。 ６ 取消事由６（本件発明１１と甲１発明との相違点７ないし９に関する容易想 到性判断の誤り）について 原告は，相違点７ないし９に関する審決の判断について，@当該判断は相違点１， ２に困難性があるとの前提に基づくものであり，その前提は誤りである，A上部と 下部とでサイズが異なる開口にプラグ又はプラグに相当する部材を，接着を用いて 固定する点については，甲６の段落【００１８】及び甲３１の段落【０００８】に 記載されている旨主張する。 しかし，相違点７ないし９は，相違点１，２を前提とした相違点であるところ， 上記１，２のとおり，相違点１，２に関する審決の容易想到性判断に誤りはないか ら，相違点７ないし９に関する審決の容易想到性判断にも誤りは認められない。 ７ 取消事由７（本件発明１３と甲１発明の２との相違点１０，１１に関する容 易想到性判断の誤り）について 原告は，相違点１０，１１に関する審決の判断について，当該判断は相違点１， ２に困難性があるとの前提に基づくものであり，その前提は誤りである旨主張する。 しかし，相違点１０，１１は，相違点１，２と同様であるところ，上記１，２の とおり，相違点１，２に関する審決の容易想到性判断に誤りはないから，相違点１ ０，１１に関する審決の容易想到性判断にも誤りは認められない。 ８ 取消事由８（本件発明１７と甲１発明との相違点１２，１３に関する容易想 到性判断の誤り）について 原告は，相違点１２，１３に関する審決の判断について，当該判断は相違点１， ２に困難性があるとの前提に基づくものであり，その前提は誤りである旨主張する。 しかし，相違点１２，１３は，相違点１，２と同様であるところ，上記１，２の とおり，相違点１，２に関する審決の容易想到性判断に誤りはないから，相違点１ ２，１３に関する審決の容易想到性判断にも誤りは認められない。 ９ 取消事由９（本件発明２１と甲１発明の相違点１４に関する容易想到性判断 の誤り）について 原告は，相違点１４に関する審決の判断について，甲１の段落【００１５】，甲 １９の請求項４及び甲２６の図３の記載からすれば，相違点１４は実質的な相違点 ではない旨主張する。 しかし，相違点１４は，相違点４と同様であるところ，上記４のとおり，相違点 ４に関する審決の容易想到性判断に誤りはないから，相違点１４に関する審決の容 易想到性判断にも誤りは認められない。 １０ 取消事由１０（本件発明２２と甲１発明との相違点１５ないし１７に関す る容易想到性判断の誤り）について 原告は，相違点１５ないし１７に関する審決の判断について，当該判断は相違点 １，２，６について困難性があるとの前提に基づくものであり，その前提に誤りが ある旨主張する。 しかし，相違点１５ないし１７は，順に，実質的に相違点６，１，２と同様であ るところ，上記１，２のとおり，相違点１，２に関する審決の容易想到性判断に誤 りはなく，相違点６に関する審決の容易想到性判断については，原告は取消事由を 主張しない。したがって，相違点１５ないし１７に関する審決の容易想到性判断に も誤りは認められない。 １１ 取消事由１１（本件発明２４と甲１発明との相違点１８に関する容易想到 性判断の誤り）について 原告は，相違点１８に関する審決の判断について，甲１の段落【００１５】，甲 １９の請求項４及び甲２６の図３の記載からすれば，相違点１８は実質的な相違点 ではない旨主張する。 しかし，上記４のとおり，甲１の段落【００１５】の記載は，透明窓材の表面と ウエハの研磨面（研磨布５の上面）との間に間隔が存在し，段差があることを意味 する上，段落【００２３】の記載は，両者が実質的に共面となることを排除してい ると解されるから，甲１において，両者が「実質的に共面である」ことが記載又は 示唆されているとはいえない。また，甲１９，甲２６においても，プラグの上面を， ポリッシング面のプラグと直に隣接する部分と「実質的に共面」とすることが記載 又は示唆されているとはいえない。 したがって，相違点１８に関する審決の容易想到性判断に誤りはない。 １２ 取消事由１２（本件発明２５と甲１発明との相違点１９ないし２１に関す る容易想到性判断の誤り）について 原告は，相違点１９ないし２１に関する審決の判断について，相違点１９は実質 的な相違点ではない，相違点２０，２１に関する判断は，相違点１，２に関する審 決の判断を前提とするが，審決の相違点１，２に関する判断は誤りである，甲１の 「透明窓材６」の代わりに，プラグの透過性を低下させる添加物を含まないポリウ レタンで置換するのは容易であり，相違点２０，２１に係る本件発明２５の構成に 困難性はないなどと主張する。 しかし，相違点２０は，実質的に相違点１と同様であるところ，上記１のとおり， 相違点１に関する審決の容易想到性判断に誤りはないから，相違点２０に関する審 決の容易想到性判断にも誤りは認められず，本件発明２５は，当業者が容易に発明 をすることができたとはいえない旨の審決の判断に誤りはない。 １３ 取消事由１３（特許法36条6項1号に関する無効理由に対する審理，判 断を怠った瑕疵）について 原告は，本件明細書の請求項２４に記載の「上面が，該ポリッシング面のプラグ と直に隣接する部分と実質的に共面である」をサポートする記載が，明細書又は図 面に記載されているといえるかどうかを判断すべきであったのに，これを怠った瑕 疵があるから，審決は違法として取り消されるべきである旨主張する。 しかし，原告の主張は，以下のとおり失当である。 審判手続における第１回口頭審理調書（甲３０）の「陳述の要領」欄の「請求 人」の項には「８ 訂正請求が認容されることを前提に，特許法第36条の無効理 由の主張は取り下げる。」と記載されているところ，この記載によれば，請求人 （原告）は，審判手続において，訂正請求が認容されるならば，特許法36条に関 する無効理由を主張しない趣旨と解される。 この点，原告は，上記記載について，訂正請求が認容された請求項に対する特許 法36条の無効理由の主張は取り下げるとの意である旨主張するが，上記審理調書 の記載を原告主張のように解することはできず，また，他に原告の主張を裏付ける 証拠もない。 したがって，審決が，特許法36条の無効理由についての判断しなかったことは 違法とはいえない。 １４ 取消事由１４（手続上の瑕疵）について 原告は，審決は，原告に弁駁の機会を与えることなくなされたものであり，審判 に手続上の瑕疵があるから，違法として取り消されるべきである旨主張する。 すなわち，原告は，被告が，審判手続の口頭審理において「スラリがパッドの下 に流出することを防止することができ，スラリが高額のため実施効果が大きい」と の効果を主張したのに対し，原告に弁駁の機会が与えられるべきであったと主張す る。 しかし，被請求人（被告）の主張の内容は，遅くとも口頭審理の期日までに請求 人（原告）に伝えられ，原告は，口頭審理の期日において，反論したい旨述べたり， その後に反論を記載した書面を提出することも可能であったと認められるから（甲 ３０，弁論の全趣旨），原告には反論の機会が与えられていたというべきである。 また，原告は，審決が「パッド部と定盤とが同格とは言えない」とした点につい て，原告（審判段階の請求人）に弁駁の機会が与えられるべきであったと主張する。 しかし，審決の上記の点は，パッド部と定盤とは（プラグの固定対象として）同 等と言えないことを表現したものにすぎず，新たな争点とは認められないから，原 告に反論の機会が与えられなかったとしても，違法とはいえない。 したがって，審判手続に瑕疵は認められない。 第５ 結論 以上のとおり，原告の主張する取消事由にはいずれも理由がなく，審決に取り消 されるべき違法はない。原告は，他にも縷々主張するが，いずれも採用の限りでは ない。 よって，原告の請求を棄却することとして，主文のとおり判決する。 知的財産高等裁判所第３部 裁判長裁判官 芝 俊 田 文 裁判官 岡 岳 本 裁判官 武 宮 英 子 別紙 １ 本件明細書 【図３】 ２ 甲１ 【図１】 【図２】 ３ (1) 甲４の第１図 (2) 甲１９の第３図 (3) 甲２７の図７ (4) 甲３１の図１ (5) 甲２６の図３ |