平成19年 (行ケ) 10027号審決取消請求事件

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関連審決	不服2004-17527

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審判番号（事件番号）	データベース	権利
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関連ワード	製造方法 / 頒布された刊行物 / 進歩性(29条2項) / 容易に発明 / 一致点の認定 / 周知技術 / 公知技術 / 上位概念 / 技術常識 / 発明の詳細な説明 / 優先権 / 優先日 / 技術的意義 / 置き換え / 置換 / 容易に想到(容易想到性) / 実施 / 加工 / 混同 / 拒絶査定 / 拒絶理由通知 / 請求の範囲 / 変更 /

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事件	平成 19年 (行ケ) 10027号審決取消請求事件
事件	原告エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ. 訴訟代理人弁理士森下賢樹同三木友由同永島秀郎同富所輝観夫被告特許庁長官肥塚雅博指定代理人辻徹二同末政清滋同小池正彦同大場義則
裁判所	知的財産高等裁判所
判決言渡日	2007/12/28
権利種別	特許権
訴訟類型	行政訴訟
主文	１原告の請求を棄却する。２訴訟費用は原告の負担とする。３この判決に対する上告及び上告受理申立てのための付加期間を３０日と定める。

事実及び理由
全容第1請求特許庁が不服2004-17527号事件について平成18年9月12日にした審決を取り消す。第2争いのない事実1特許庁における手続の経緯,( ,), 原告は平成13年8月31日優先権主張:2000年9月1日欧州発明の名称を「リソグラフィ装置を操作する方法,リソグラフィ装置,デバイス製造方法,およびそれによって製造されるデバイスとする特許出願以下本」(「願というをしたその後原告は平成15年12月5日本願に係る明」。)。,,,細書特許請求の範囲を含むを補正する手続補正をしたが平成16年6月 (。) ,4日付けの拒絶査定を受けたので,同年8月25日,これに対する不服の審判(不服2004-17527号事件)を請求するとともに,本願に係る明細書特許請求の範囲を含むを補正する手続補正をした特許庁は平成18年 (。) 。,5月15日付けで,原告が平成16年8月25日にした手続補正を却下するとともに,拒絶理由通知をした。そこで,原告は,平成18年7月25日,本願に係る明細書の特許請求の範囲の記載を補正(以下,この補正を「本件補正」といい本件補正後の本願に係る明細書及び図面を本願明細書というす , 「」。)る手続補正をしたが特許庁は同年9月12日本件審判の請求は成り立 ,,,「,たない」との審決(附加期間90日,以下「審決」という )をし,同月22 。。日,その謄本を原告に送達した(なお,原告は,同月19日,名称変更届及び住所変更届を特許庁に提出した。。)2特許請求の範囲,(, 本願明細書の特許請求の範囲の請求項1の記載は次のとおりである以下この発明を「本願第1発明」という。。)「請求項1】放射投影ビームを供給する放射システムと, 【マスク平面でマスクを保持する第1のオブジェクト・テーブルと,基板平面で基板を保持する第2のオブジェクト・テーブルと,少なくともマスクの一部分を基板の目標部分上に結像する投影システムとを含んだリソグラフィ投影装置を操作する方法であって,1つのピンホールを用いる前記装置内の前記マスク平面で前記投影ビームの少なくとも1つの部分から少なくとも1つの放射スポットを形成するステップと,前記ピンホールの回折格子に用いる前記放射スポットを回折するステップと,前記スポットに関して焦点位置の外に置かれた単一のスポットセンサの1つのピンホールで,前記スポットまたは前記スポットの像から焦点を外した放射の強度の空間変動を測定するために前記センサをスキャンするステップと,前記スキャンステップで得られた情報から前記装置の特性を決定するステップとを含むことを特徴とする方法」。 3審決の理由別紙審決書写しのとおりである。要するに,本願第1発明は,本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平3-65623号公報(甲2,以下「引用例1」という )に記載された発明(以下「引用発明」という )に基づいて当。。業者が容易に発明をすることができたものであり,特許法29条2項の規定により特許を受けることができない,というものである。審決は上記判断をするに当たり,引用発明の内容及び本願第1発明と引用発明との一致点・相違点を次のとおり認定した(なお,審決書8頁2行ないし3行にマスク平面でマスクを保持する第1のオブジェクト・テーブル同頁2 「」,1行に「放射の強度の空間変動を測定する」とあるのは,それぞれ「基板平面で基板を保持する第2のオブジェクト・テーブル「放射を測定する」の誤記」,と認める。。)(1)引用発明の内容「投影形露光装置において,レチクルの上に散乱板を挿入し,照明光束により,レチクル上のピンホールを通った光が入射瞳の全開口面積を通って縮小レンズに入射するようにして,レチクル上のピンホールの像をレチクルと共役となる位置すなわちウエハ面と同じ高さに結像させ,さらに,ウエハステージ上に設けた瞳上照度分布検出ユニットの受光側ピンホールを上記共役となる位置からh離れた位置に設け,この受光側ピンホールと単一のセンサとを一体として,ウエハステージに乗せ,当該ウエハステージをXまたはY方向に移動することにより,受光側ピンホールと単一のセンサを走査しながら光量測定することにより照度分布を検出する方法」。 (2)一致点「基板平面で基板を保持する第2のオブジェクト・テーブルと,少なくともマスクの一部分を基板の目標部分上に結像する投影システムとを含んだリソグラフィ投影装置を操作する方法であって,1つのピンホールを用いる前記装置内の前記マスク平面で前記投影ビームの少なくとも1つの部分から少なくとも1つの放射スポットを形成するステップと,前記スポットに関して焦点位置の外に置かれた単一のスポットセンサの1つのピンホールで,前記スポットまたは前記スポットの像から焦点を外した放射を測定するために前記センサをスキャンするステップと,前記スキャンステップで得られた情報から前記装置の特性を決定するステップとを含むことを特徴とする方法」。 (3)相違点ア相違点1本願第1発明は放射投影ビームを供給する放射システムとマスク平 ,「 ,」, 面でマスクを保持する第1のオブジェクト・テーブルを有するのに対し引用発明は,上記構成の記載がない点。イ相違点2本願第1発明は放射の強度の空間変動を測定するのに対し引用発 ,「」,明は,上記構成の記載がない点。ウ相違点3本願第1発明はピンホールの回折格子に用いる放射スポットを回折す ,「る」のに対し,引用発明は,上記構成の記載がない点。第3取消事由に係る原告の主張審決は,本願第1発明と引用発明との一致点の認定を誤り,相違点を看過した違法(取消事由1)及び相違点3の容易想到性の判断を誤った違法(取消事由2)があるから,取り消されるべきである。なお引用発明の内容及び相違点1ないし3の各認定前記第2 3(1)及び , (,(3) 並びに相違点1及び2に係る各容易想到性の判断に誤りがないことは認め )る。また,一致点の認定(前記第2,3(2))につき「前記装置の特性を決定 ,する」との部分を除いて誤りのないことは認める。 1取消事由1(一致点の認定の誤り・相違点の看過)審決は,引用発明の「照度分布を検出する」ことが本願第1発明の「装置の特性を決定する」ことに相当すると認定した(審決書8頁10行～11行,同頁22行。)しかし以下のとおり本願第1発明の装置の特性とは回折格子を利 ,,「」,「用して決定される装置における特性すなわちレンズの透過度の角度依存性」,,を意味するのに対し,引用例1には「回折格子」を利用することは何ら開示されていないから,審決は,本願第1発明と引用発明との相違点を看過したものであり,一致点の認定に誤りがある。 (1)ア本願第1発明において「装置の特性」を決定するための「スキャンス ,テップで得られた情報とは回折格子を利用し放射スポットが回折」,「」,されていることを前提として取得される情報を意味する。このことは,本願明細書の特許請求の範囲の請求項1の記載から明らかである(請求項1の「前記ピンホールの回折格子に用いる前記放射スポットを回折するステップ」との記載は,特許を受けようとする発明を「回折格子」を使用する実施形態〔本願明細書の段落【0059】ないし【0060】等〕に限定するため,本件補正により追加されたものである。。)したがって,本願第1発明における「装置の特性」とは,単に「スキャンステップで得られた情報」から決定され得る「特性」であればよいので,「」「」。はなく回折格子を利用することにより決定される特性を意味するイそして,本願第1発明いう「装置の特性 ,すなわち「回折格子」を利」,用して決定される装置の特性が,回折格子からの0次回折光に加えて少なくとも1次回折光を用いて得られる特性であることは,当業者には自明である。なぜなら,一般に,回折格子を用いる場合には,強度において,もとの入射光に比較して弱い0次光のみでなく,少なくとも1次光を利用するからである。そうすると,請求項1に「回折格子」を用いることが明記されている以上,当業者は,本願第1発明では,0次光に加え,少なくとも1次光が利用されるものと理解する。ところで本願明細書の段落 0060 等は回折格子を利用する ,【】,「」ことにより決定される特性の具体例として角度に依存するレンズ透「」,「過度及び NA絞りのサイズと大きさを挙げているこのうちレン」「」。,「ズ透過度」は,0次光及び1次光を利用することにより当然に測定可能であるのに対しNA絞りの大きさを測定するには入射瞳周縁部へ光を ,「」,重畳させるという調整が必要となる。そうすると,本願第1発明の測定対象の主たる具体例は「レンズ透過度」と考えることができる。ウ被告は,?@本願第1発明にいう「装置の特性」について,装置の特性であればどのようなものでもよい,?A「回折格子」を用いて,角度に依存するレンズ透過度を測定するためには一次元回折ビーム27 がNA絞り ,「」の中に入ることが必要であるが,回折格子であればその条件を満たしているとはいえず,当該条件を満たしていることが請求項1の「装置の特性を決定する」との記載から自明であるともいえない,原告の主張は「この構成を用いて角度に依存するレンズ透過度を測定すること」が可能な場合にのみ成立する論理であると主張する。しかし,被告の主張は,本願第1発明が「回折格子」を用いるものであることや回折格子に関する技術常識を無視し,請求項1の記載の一部分を他の記載から切り離して解釈するものであって,失当である。 (2)引用例1の記載 3頁左上欄19行～右上欄7行同頁右上欄9行～14 ( ,行,4頁左下欄18行～右下欄12行)によれば,引用発明は,露光装置の解像性能を最大限に発揮させるために照明光学系の照度分布を測定する技術を提案するものであり,試料面又はこれと光学的共役な位置に小さなピンホールを置き,試料を搭載するステージ上の試料面から一定距離だけ離れた位置に検出センサを置き,レンズとピンホールを透過してきた照明光の光束の照度分布(具体的には,照明系の部分コヒーレンシ〔σ値〕及びテレセン度光源の中心ずれ量を測定しその結果に基づき光源の位置等の補正をす〔〕),るというもので,上記測定のためにすりガラス又は散乱板を用いるものである。すなわち,引用例1の第7図に示されるように,レチクル13上にすりガラス17を挿入すると,このすりガラス17により照明系7からの光が散乱して大きく広がるため,レチクル13上のピンホール12を通った光は,縮小レンズ2の入射瞳9の径Diよりも大きい光束46となり,入射瞳9の全開口面積を通って縮小レンズ2に入射することとなるが,同図において,46で示される光の幅がDiで示される入射瞳より広く描かれていることから明らかなとおり,入射瞳より広い光を当てれば,ちょうど瞳の大きさの分だけ切り取られた光が観察できるので,その結果,瞳の大きさが判明するというものである。そして,引用発明の「照度分布」は,瞳上照度分布検出ユニット16の走査により検出される瞳上の照度分布であるところ,引用例1には,レチクル13の上にすりガラス又は散乱板17の挿入がない場合とある場合それぞれの瞳上の照度分布の検出が記載されているものの(4頁右上欄13行～5頁),「」。右上欄2行回折格子を利用することについては何ら開示されていない(3)上記のとおり本願第1発明と引用発明とは測定対象及び測定原理が異 , ,なり,そのため,本願第1発明では「回折格子」を用いるのに対し,引用発明では「散乱板」又は「すりガラス」が用いられている。「散乱板」又は「すりガラス」は,ガラス板に多量の砂粒を当てるなどして形成されたランダムで不規則な微細凹凸により,入射光を広範囲に拡散させる光学素子であるのに対し回折格子は規則的かつ周期的な微細凹凸 ,「」 ,パターンにより,入射光を0次回折光及び1次回折光等に分離する光学素子であり,両者は入射光に対し全く異なる作用を及ぼす光学素子である。したがって引用発明の照度分布を検出することが本願第1発明の装 ,「」「置の特性を決定する」ことに実質的に相当するとした審決の認定は,誤りである。 2取消事由2(相違点3の容易想到性の判断の誤り),「『』 ,【】 (1)審決は本願第1発明における回折格子は本願明細書 0064段落等を参照すると,散光器程度のものであって,散光器を用いた場合に比べ回折格子を用いたことによる特段の意義は認められないから,本願第1発明における『回折格子』は,引用例1に記載された発明の『散乱板』程度の, 『』『』ものにすぎず引用例1に記載された発明の散乱板に代えて回折格子を用いることに格別の意義はない・・・相違点3は引用例1に記載された。,発明に基づいて当業者が容易に想到できたことである・・・本願発明の作用。効果も,引用例1に記載された発明の作用効果から当業者が予測できる範囲のものである(審決書9頁19行～28行)と認定判断した。。」しかし,以下のとおり,審決の上記認定判断は誤りである。 , ,「【】」ア審決は上記認定判断の根拠として本願明細書 0064 段落等を挙げている。しかし,本願明細書の記載事項は,本願の優先日当時,公知でも周知でもないから,相違点3に係る本願第1発明の構成の容易想到性の判断の根拠とすることはできない。したがって,審決が,公知技術又は周知技術の根拠とすべきでない事項を基礎として,本願第1発明に容易に想到し得ると判断した点は誤りがある。イ審決は,以下のとおり,その判断の内容において,誤りがある。 (ア)本願明細書には回折格子が散光器程度のものであるとする ,「」「」記載は,審決が指摘する段落【0064】にも,その余の個所にも存在。【】 ,「」「」しない審決の指摘に係る段落 0064 は回折格子や散光器の配置箇所に関する具体例やこれらの上位概念である「回折素子」という用語を説明するものであって回折格子と散光器の技術的意義 ,「」「」が等価であることを直接示す記載ではない。すなわち,ピンホールに併「」(【】【】), 設される光学素子である従属点段落 0057 ～ 0058回折格子段落 0059 ～ 0060及び散光器段落 0 「」(【】【】)「」(【】) ,【】 062はそれぞれ異なる機能を有するものであるが段落 0064では,その配置箇所がいずれもピンホール近傍であること,その上位概念が「回折素子」であることから,便宜的に上記光学素子を並記したにすぎない。そして回折格子は光線を回折するものであって入射光線を0次 ,「」 ,回折光,1次回折光などの複数の光線に分離するものであるのに対し,「散光器」は入射光を単に広範囲に散乱により拡散させるものにすぎない。したがって,本願第1発明の「回折格子」は「散光器程度のもの」とはいえない。なお,被告は,審決が「回折格子」と「散光器」が等価なものであると認定したものではない旨主張するが,審決の「本願第1発明における『回折格子』は,本願明細書【0064】段落等を参照すると,散光器程度のものであって」との説示と矛盾するものであって,根拠がない。 (イ)請求項1の記載及び技術常識に照らせば,本願第1発明の「装置の特性」とは「回折格子を用いて得られる特性」を意味する。そして,本願第1発明では回折格子により投影ビームを0次回折光と1次回折 ,「」光に分離し,両者の強度比に基づいて投影光学系のレンズ透過度を測定することができる。これに対し散乱板では投影ビームを0次回折光と1次回折光とに ,「」分離することができないから,仮に本願第1発明の「回折格子」を「散」, 。乱板に置き換えたとしても本願第1発明の測定原理は機能し得ないこのように,本願第1発明の「回折格子」には,レンズ透過度を測定可能にするという,引用発明の「散乱板」とは異なる技術的意義が存在する。 ,「」 ,「『』したがって本願第1発明の回折格子は引用発明の散乱板程度のもの」とはいえない。 (ウ)引用例1の記載(3頁左下欄18行～右下欄12行)によれば,引用発明は,入射瞳の全開口面積よりも大きい光束を入射瞳に照射して,入射瞳の開口面積の大きさに相当する光束を生成することにより,入射, 瞳の径Diに対応するセンサ面上での径D を得るというものであって0引用発明における「散乱板 (又は「すりガラス )の役割は,照明光束」」。, を入射瞳の全開口面積よりも広範囲に散乱させることにあるすなわち引用発明においては,入射瞳の周縁部で光束を切り取るように,入射瞳の周縁部に光束が重畳されるように照射されることが必要である。そして,単一波長の光が入射する場合,回折格子は入射光を離散的な回折光(0次回折光,1次回折光,2次回折光等)へと変換する光学素子として機能する。回折格子からの回折光の放射角度は回折格子を構成する周期的パターンの寸法の大小によって異なるから,単に回折格子を設けただけでは,1次回折光と2次回折光との間隙に入射瞳の周縁部が位置する場合など,入射瞳の周縁部に光束が照射されないことがあり,そのような場合,入射瞳の径を測定することができない。回折格子によって特定次数の回折光(例えば1次回折光)を入射瞳周縁部に重畳するよう照射し,回折光の一部分だけを切り取って利用することは,公知でも周知でもないのである。そうすると,引用発明の「散乱板」を単に「回折格子」に置き換えたとしても,入射瞳の全開口面積よりも大きい光束が得られるとは限らないし,入射瞳の周縁部に光束が照射されるとも限らないから,引用発明の目的を達することができない。またそもそも散乱板は不規則な微細凹凸により入射光に散乱と ,,「」いう物理現象をもたらして光を広範囲に拡散させる光学素子であるのに対し回折格子は規則的な微細凹凸パターンにより入射光に回折と ,「」 ,いう物理現象をもたらすることにより,光を離散的な回折光に分離する光学素子であり,両者は入射光に対し異なる作用を及ぼすものである。 ,「」 , すなわち回折格子は光を0次回折光等に分離する分離器であって当業者はわざわざ光を広げるためにこれを用いることなどはしない。このように,引用発明の「散乱板」を「回折格子」に置き換える動機付けはなく,むしろこれを阻害する要因がある。したがって,引用発明の「散乱板」に代えて「回折格子」を用いることに格別の意義がないということはできないし,引用発明の「散乱板」を「回折格子」に置き換えることが当業者にとって容易であるということもできない。 (エ)本願第1発明と引用発明とは,測定対象や測定原理が相違し,本質的に異なるものである。引用発明は,σ値及びテレセン度という解像性能の向上のための基本的なパラメタを測定するものであるのに対し,本願第1発明は,レンズ透過度の角度依存性という新たな特性を簡易に測定することができるという顕著な作用効果があり,この測定結果を露光装置の調整に活用することにより更なる精度向上ないし微細化を実現することができる。すなわち,本願明細書では,基本的なパラメタであるσ値に加え,レンズ透過度や楕円率エラー段落 0066など他のエラーの測定方法も (【】),説明されており,本願第1発明は,σ値の測定という光延命技術の初歩的レベルを超える解像性能の追求を意図してレンズ透過度の角度依存性を計測するものである。したがって,本願第1発明の作用効果は,引用発明の作用効果から当業者が予測できる範囲のものということはできない。 (2)被告は回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光 1次回折光 , ,等として,それぞれ異なる方向に光を「散乱」させるものであることは,当業者において明らかであり,回折格子を用いて入射瞳の周縁部で光束を切り取るように入射瞳の周縁部に光束が重畳されるように照射し,入射瞳径を測定することは当業者が容易になし得たことにすぎないから回折格子を散,「」「乱板」に代え,入射瞳径を測定することに阻害要因はない旨主張する。しかし,被告の上記主張は,以下のとおり,失当である。ア日本光学測定機工業会編「実用光キーワード事典」平成11年4月1日発行(甲8)の「光を所定の方向に回折させるために,周期構造をもたせた光学素子を回折格子と呼ぶ。回折格子の主要な目的は,入射する光を,。」( ) その波長に応じて分割する分光である114頁左欄5行～右欄1行との記載のとおり,回折格子は当該回折格子に入射した光を0次回折光,1次回折光等に分離するものである。したがって,回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光,1次回折光等として,それぞれ異なる方向に光を「向ける」ことは,当業者において明らかであるといえる。しかし,かかる回折格子の作用を「散乱」と称するのは適切でない。甲8によれば「散乱」とは「微小な粒子を含む媒質の中を光が通過する場 ,,, 」() 合に光の進行方向が多くの方向に変わる現象33頁左欄2行～4行,「」()。をいい特に粒子が不規則に分布している場合同9行を意味するしたがって,引用発明の散乱板による「散乱」は,入射光を不特定の多方向に拡散させて光を広げることを意味することになり,入射光を0次回折光,1次回折光等に分離し各回折光を特定方向に向けるという回折格子の作用を「散乱」という用語で表現することは,当業者の認識に反するものというべきである。このように,回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光,1次回折光等として,それぞれ異なる方向に光を「散乱」させるものであることは,当業者において明らかであるとする被告主張は,技術用語を混同したものであって,失当である。なお,本願第1発明の「回折格子」による「回折」と,引用発明の「散」「」, ,, 乱板による散乱とが全く別異の概念であることは甲8において散乱と回折及び回折格子とが異なる章において扱われてい「」 ,「」「」,ることからも明らかである。イまた,前記(1)イ及び後記(3)イのとおり,引用発明において,回折格子を用いて入射瞳の周縁部で光束を切り取るように入射瞳の周縁部に光束が重畳されるよう照射し,入射瞳径を測定することは当業者が容易になし得たということはできない。 (3)被告は回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光 1次回折光 , ,等として,それぞれ異なる方向に光を「散乱」させるものであることは,特開平5-72525号公報(乙1 ,特開平6-44813(乙2 ,特開平 ) )7-104276号公報乙3特開平10-11752号公報乙4 及 (), ()び特開平8-160442号公報(乙5)の記載からも,明らかである旨主張する。しかし,被告の主張は,以下のとおり失当である。ア引用例1の記載(3頁右上欄4行～7行,4頁左下欄18行～右下欄6行)によれば,引用発明は,半導体回路製造の主要工程に用いられる露光装置の内部特性の測定技術に関する発明であり,露光装置の解像性能を最大限に発揮させるために照明光学系の照度分布を測定する技術を提案するものであり,かかる目的を実現するための構成の一部として,入射瞳よりも広範囲に照明光束を散乱させるすりガラスまたは散乱板が用いられており,具体的には,散乱板で入射瞳の全開口面積よりも大きい光束を得て入射瞳径を測定するものである。これに対し,乙1ないし5には,後記イのとおり,いずれも引用発明とは技術分野を異にする発明が記載されているにすぎない。そして,乙2及び5には,散乱板と回折格子の置換についての言及はない。また,乙1,3及び4記載の各発明では,光学素子が散乱板等であるか回折格子であるかによらず,当該発明の目的が実現されるのに対し,引用発明では,仮に回折格子を用いたとしても発明の目的を実現できるとは限らない。すなわち,乙1及び3は,光学素子への入射光よりも出射光が少しでも広がっていれば発明の目的が達せられるという意味で散乱板で,「」も「回折格子」でも用い得るとしているにすぎない。また,乙4は,光学素子への入射光よりも出射光が少しでも均一化されていれば発明の目的が達せられるという意味で,光散乱体でも回折格子でも用い得るとしているにすぎない。以上のとおり,乙1ないし5に記載された発明の構成の一部を,引用発明における露光装置の内部特性の測定技術に転用し,あるいは引用発明に組み合わせる合理的根拠は見出せない。したがって,引用発明において,回折格子を用いて入射瞳の周縁部で光束を切り取るように入射瞳の周縁部に光束が重畳されるように照射し,入射瞳径を測定することは当業者が容易になし得たということはできない。イ乙1ないし5には,引用発明とは技術分野を異にする発明が記載されているにすぎない。 (ア)乙1にはこの発明は液晶ディスプレイ等の複数の輝度情報出力 ,「,素子の各素子の境目を目立たなくすることができる輝度情報出力装置を提供するものである(2頁2欄31行～34行「図1において,1 。」 ),は輝度情報出力装置であり,透過形のカラー液晶パネル(複数の輝度情報出力素子)2と,このカラー液晶パネル2の背面側に積層された拡散板3と,この拡散板3に対向するように配置された蛍光灯及び反射板等, , からなるバックライト4と上記カラー液晶パネル2の前面に配置され前面に微小複眼レンズ効果のある散乱面5aを有した透過型の散乱板(散乱素子)5で構成されている(3頁3欄24行～31行「尚, 。」 ),前記各実施例によれば,散乱素子として散乱板を用いたが,回折格子等他の散乱素子を用いてもよい(5頁7欄20行～22行)と記載され。」ている。上記記載によれば,乙1記載の発明は,液晶ディスプレイの画素間の境目を目立たなくするという目的を,カラー液晶パネル2の各画素からの光を広げる機能を有する光学素子を用いることにより実現するものであり,回折格子を用いてもよいとされているのは,多少なりとも光を広げる機能を有する光学素子であれば,同発明の目的が当然に達せられるからにすぎない。 (イ)乙2には自動車においてすれ違いビーム用前照灯走行ビーム ,「,,用前照灯またはフォグランプとして可能であり3頁3欄16行～18 」(行「公知の前照灯では,一般にそうであるように光学素子が設けられ ),ており,この光学素子は光源から放射されてリフレクタによって反射された光線の光路に配置されている。この光学素子によって,光源から放射された光線およびリフレクタによって反射された光線は変向させられ,かつ/または散乱させられ,この場合,この光線は所望の配光を形成する。光学素子はプリズムおよび/またはレンズとして構成されていて,透光板に配置されている。この光学素子は場合によってはかなりの厚さを有しておりこれによって透光板の重量が高められてしまう2 , 。」(頁2欄5行～15行本発明の課題は・・・比較的軽量に形成されて ),「,いて,しかも製造の手間が軽減されているような照明装置を提供することである(2頁2欄27行～30行「本発明の構成では,前記光学。」 ),素子が回折光学素子として構成されていて,全体的に回折格子を形成しており,該回折格子が,透光板とは別個の部分に構成されているようにした(2頁2欄33行～36行「回折光学素子が散乱素子22とし。」 ),て形成されており3頁4欄48行～49行散乱素子22は全体的」(),「に線格子を形成していて,リブの形状を有している。これらのリブは基面から突出しており,この場合,前記リブは方形または丸みを帯びて形」( )。成されていてよく3頁4欄50行～4頁5欄4行と記載されている上記記載及び図3によれば,乙2には,車両用の照明装置に関する発明が記載されており,回折格子表面に規則的に形成される微細凸部の1つ1つを散乱素子22と称しているものの,従来のレンズ/プリズムに代えて光方向変更/拡散用に照明装置の透光板に回折格子を付随させることが記載されているにすぎない。また,乙2は,散乱板や散乱板と回折格子の置換について,記載・示唆するものではない。 (ウ)乙3には本発明・・・の目的は表示画像のボケを生じさせずに ,「,視野角依存性を減らした液晶表示装置を提供することである(2頁2。」欄14行～17行「本発明においては,表示面の表示側にマイクロレ ),ンズアレイを配し,マイクロレンズアレイにより形成された表示面と共役な面近傍に拡散素子を配置したので,画像のボケを引き起こさずに液晶表示装置の視野角依存性を減らすことができる(2頁2欄29行～。」33行「共役面に拡散板21を配置し,視野各依存性の高い表示光を ),図示のように広い角度に拡散させるようにすることにより,視野角依存性が少なくなり,かつ,拡散板21が配置されている面が画素表示面と共役な面であるため,表示画像がボケない(3頁3欄15行～20 。」行「回折格子は,拡散光の方向を制御できるので,拡散板21として ),はより効果的である(3頁3欄25行～26行)と記載されている。。」上記記載によれば,乙3には,液晶ディスプレイに関する発明が記載され,同発明は,画像のボケを引き起こさずに液晶表示装置の視野角依, () 存性を減らすという目的をマイクロレンズアレイと拡散素子拡散板を用い,拡散板により視野角依存性の高い表示光を拡散させることにより,実現するものである。 , , 乙3記載の発明において回折格子を用いてもよいとされているのは乙1の場合と同様に,多少なりとも光を広げる機能を有する光学素子であれば,同発明の目的が当然に達せられるからにすぎない。 (エ)乙4には高出力大口径のレーザビームの不均一な光強度を光散乱 ,「体で均一にし,小数回のレーザビーム照射における光記録媒体の反射率分布を改善して,生産性の良好な光記録媒体初期化方法を提供することを目的としている(3頁3欄3行～7行「光散乱体34は,上記光。」),散乱粒子や表面に形成した凹凸等の粗さを用いたものに限るものではなく,例えば,一軸に垂直な方向にのみ光を散乱する回折格子であってもよい(7頁12欄4行～7行)と記載されている。。」上記記載によれば,乙4には,光記録媒体の初期化に関する発明が記載され,光散乱体により入射レーザビームよりも出射レーザビームが均一化されるために,同発明の目的が達せられる。同発明において,回折格子を用いてもよいとされているのは,回折格子も光散乱体と同様に入射レーザビームよりも均一化されたレーザビームを出射するという機能を有する点で共通し,同発明の目的が当然に達せられるからにすぎない。 (オ)乙5には本発明は新規な液晶表示素子およびそれを用いた液晶 ,「,表示装置に関する(3頁3欄35行～36行「光散乱特性が高く, 。」 ),駆動電圧が低く,明るくコントラスト比が高く階調性に優れ,かつ階調表示しても表示が反転することがない新規な構成のLCDを提供することを目的とする(4頁5欄46行～49行「本発明のLCDは,各。」 ),画素において実効的に一様な分子配列とすることにより光透過状態を実現し,また,2種以上の電界方向をもって,屈折レンズ効果や回折格子効果を得ることにより,光散乱状態を実現する。ここで,屈折レンズ効果とは,液晶層厚方向に液晶分子が連続的に傾きを変え液晶層の屈折率が連続的に変化することにより入射した光を屈折させる効果をいう。また,回折格子効果とは,液晶分子の異常光屈折率neと常光屈折率nｏとが液晶平面において,規則的に交互に出現することにより,液晶層に回折格子が形成され,その結果平行光が散乱する効果をいう(5頁7。」欄47行～8欄7行)と記載されている。上記記載によれば,乙5には,新規な液晶表示素子を用いた液晶表示装置が記載されているにすぎず,散乱板や散乱板と回折格子の置換については,記載・示唆がない。なお,乙5にいう「回折格子効果」は,特に定義された上で使用されており,同号証に係る出願人が独自に用いた用語である。ウなお,乙1ないし5に基づく被告の主張は,審決の理由とは異なる新たな拒絶理由の主張というべきであり,許されない。第4取消事由に係る被告の反論審決の認定判断に誤りはなく,原告主張の取消事由はいずれも理由がない。 1取消事由1(一致点の認定の誤り・相違点の看過)に対し(1)本願明細書の請求項1の記載において「装置の特性」がどのような特性 ,をいうのかまたスキャンステップで得られた情報からどのようにして ,,「」「装置の特性」を決定するのかは,何ら限定されていないから,本願第1発「」, , 明にいう装置の特性とは装置の特性であればどのようなものでもよく例えばNA絞り自体のサイズと形状を測定することも本願第1発明にい ,「」う「装置の特性を決定する」ことに含まれる。そして,引用発明において瞳上照度分布検出ユニットにより「照度分布を検出することは瞳と NA絞りとが同義であることに照らせば本」,「」「」 ,願第1発明において「NA絞り自体のサイズと形状を測定」することに相当するものであり上記のとおりNA絞り自体のサイズと形状を測定する ,,「」ことは本願第1発明にいう「装置の特性を決定する」ことにほかならないから引用発明における｢照度分布も本願第1発明にいう装置の特性に相 , 」「」当するということができる。したがって引用発明の｢照度分布を検出する｣ことが本願第1発明の｢装置 ,の特性を決定する｣ことに相当し両発明が装置の特性を決定する点にお ,「」いて一致するとした審決の認定に誤りはない。 (2)原告は本願第1発明にいう装置の特性とは回折格子を利用して決 ,「」,定されるべき装置の特性であって,具体的にはレンズの透過度の角度依存性を意味するものであると主張する。しかし,以下のとおり,原告の上記主張は失当である。本願明細書の段落【0064】における「回折素子(点,格子,散光器などとの記載段落 0085 における従属点格子または散光器など )」,【】「,の回折素子」との記載によれば,本願第1発明における「回折格子」は,散光器程度のものであるから,当該「回折格子」が,散光器に比べ回折格子特有の「装置の特性を決定する」ことができるとはいえない。また,本願明細書における,段落【0059】の「この原理の別の実施形態を図7に示す。非透過的な領域22によって囲まれたピンホール21は十分に定義された回折を生成する透過,非透過の交互の縞を含む格子24を含む。図8は図7の格子-ピンホール21,22,24から生じる投影レンズ内のひとみ平面での回折パターンを示す。図8で,ひとみはNA絞り25によって境界を付けられている,段落【0060】の「NA絞りのサイズと。」大きさとを突き止めるだけでなく,この構成を用いて角度に依存するレンズ透過度を測定することができる。0次元の各点の強度と1次元のそれに対応する点の予測される割合は格子の回折効率から知られている。実際の強度率を測定することで,予測率からの偏差を計算でき,異なる角度のレンズ透過度が得られる」の各記載及び図8によれば「回折格子」を用いて角度に依。 ,存するレンズ透過度を測定するためには1次元回折ビーム27 が NA ,「」「絞り」の中に入ることが必要であるところ,回折格子であれば当然に上記条件を満たしているとはいえないし,上記条件が「装置の特性を決定する」という請求項1の記載から自明であるともいえない。そうすると,原告の主張は,本願明細書の段落【0060】の「NA絞りのサイズと大きさとを突き止める」との記載に続いて例示された技術手段,,「」すなわちこの構成を用いて角度に依存するレンズ透過度を測定することが可能な場合にのみ成立する事項を前提とした主張であるから,失当であるといえる。 2取消事由2(相違点3の容易想到性の判断の誤り)に対し(1)ア原告は本願第1発明の回折格子は散光器程度のものとはいえ ,「」「」ず,審決が「本願第1発明における『回折格子』は,本願明細書【0064】段落等を参照すると,散光器程度のものであ(る(審決書9頁19)」行～20行)と認定したのは,誤りである旨主張する。しかし,以下のとおり,原告の上記主張は失当である。 , , 審決の上記説示は回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光1次回折光等として,それぞれ異なる方向に光を「散乱」又は「散光」させることは当業者において明らかであり,また,回折格子の使い方は光を散乱させることも含め種々あるところ,本願第1発明における回折格子の使い方は,請求項1には明示されていないが,本願明細書の段落【0064 の回折素子点格子散光器などとの記載回折格子と散】「(,,)」(「」「光器」が同列に記載されている,段落【0060】の「NA絞りのサイ。)ズと大きさとを突き止める」との記載,及び段落【0066】の「3.N。」,, A絞り自体のサイズと形状を測定できるとの記載に照らし 0次回折光1次回折光の強度比の測定を要しない,光を散光させる散光器程度の使い方であることを認定したものである。【】「(, 本願第1発明の構成及び本願明細書の段落 0064 の回折素子点格子,散光器など,段落【0085】の「従属点,格子または散光器な )」どの回折素子などの記載からみて審決は回折格子と散光器が」,,「」「」等価なものであると認定したのではなく,回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光 1次回折光等としてそれぞれ異なる方向に光を散 ,, 「乱」させることは当業者において明らかであるから,本願第1発明の回折,, 格子が散光器程度のものであると認定したのであり前記1(2)のとおり本願第1発明の「回折格子」を,本願明細書の段落【0060】に例示された「角度に依存するレンズ透過度を測定する」技術手段の作用効果を有するものに限定しなければならない理由はないから,審決の認定に誤りはない。イ原告は本願第1発明は回折格子により投影ビームを0次回折光と ,,「」1次回折光に分離し,両者の強度比に基づいて,投影光学系のレンズ透過度を測定することができるものであって,本願第1発明の「回折格子」には,レンズ透過度を測定可能にするという,引用発明の「散乱板」とは異なる技術的意義が存在するから,本願第1発明の「回折格子」は引用発明の「散乱板』程度のもの」とはいえないと主張する。『しかし,投影ビームの0次回折光と1次回折光の強度比に基づいて投影光学系のレンズ透過度を測定するという原告の主張は,本願第1発明の構成に基づかないものであり,失当である。ウ原告は,引用発明の「散乱板」を「回折格子」に単に置き換えたとしても,入射瞳径の測定という引用発明における「散乱板」の使用目的を達することはできず,置き換えることを阻害する要因がある旨主張する。しかし,以下のとおり,原告の上記主張は失当である。回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光,1次回折光等として,それぞれ異なる方向に光を「散乱」させることは,当業者において明らかであり,回折格子を用いて入射瞳の周縁部で光束を切り取るように入射瞳の周縁部に光束が重畳されるように照射し,入射瞳径を測定することは当業者が容易になし得たものといえるから回折格子を散乱板に ,「」「」代え,入射瞳径を測定することに阻害要因はない。また,本願明細書では,段落【0064】の「回折素子(点,格子,散光器などとの記載段落 0085 の従属点格子または散光器な )」,【】「,どの回折素子」との記載に示されるように「回折格子」が「散光器 (実 ,」質的に散乱板といえるの機能を有することを認識しておりこの点「」。) ,からも阻害要因はないといえる。なお,原告は,回折格子は光を0次回折光等に分離する分離器であるから,当業者はわざわざ光を広げるためにこれを用いない旨主張するが,本願明細書の段落【0064】及び【0066】には「回折)格子」を含 ,(む回折素子を用いてNA絞り自体のサイズと形状を測定する旨の「」,「」記載があるから,原告の上記主張は本願明細書の記載と矛盾するものであり,根拠がない。エ原告は,本願第1発明はレンズ透過度の角度依存性という新たな特性を簡易に測定することができるという顕著な作用効果があり,本願第1発明の作用効果は引用発明の作用効果から当業者が予測できる範囲のものということはできない旨主張する。しかし,原告の上記主張は,本願第1発明の測定対象がレンズ透過度であって,その測定原理は回折格子により得られる0次回折光と1次回折光の強度比によるという,本願第1発明の構成に基づかない主張を前提とするものであるから,失当である。 (2)回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光,1次回折光等として,それぞれ異なる方向に光を「散乱」させるものであることは,特開平5-72525号公報(乙1 ,特開平6-44813(乙2 ,特開平7-1 ) )04276号公報乙3特開平10-11752号公報乙4 及び特開 (), ()平8-160442号公報(乙5)の記載からも,明らかである。ア乙1の「この拡散板3に対向するように配置された蛍光灯13及び凹面鏡状の反射板14等からなるバックライト4と,上記カラー液晶パネル2の前面に配置され,前面に微小複眼レンズ効果のある散乱面5aを有した透過形の散乱板(散乱素子)5とを備えている(4頁右欄28行～33 。」行「散乱素子として散乱板を用いたが,回折格子等の他の散乱素子を用 ),いてよい5頁左欄20行～22行との記載及び第6図には回折格。」(),「子」を「散乱板」と同様に用いることが示されている。イ乙2の回折光学素子が散乱素子22として形成され3頁右欄48行「」(～49行との記載及び第3図には回折格子を散乱素子として用 ),「」「」いることが示されている。ウ乙3の「微細周期で周期的に並べた回折格子は,拡散光の方向を制御できるので,拡散板21としてはより効果的である(3頁左欄24行～2 。」6行「図4において,拡散板21として図2に示したような回折格子を ),用い (3頁左欄50行～右欄1行」との記載及び第4図には,光を拡散」 )させるために「回折格子」を用いることが示されている。エ乙4の「光散乱体34は,上記光散乱粒子や表面に形成した凹凸等の粗さを用いたものに限るものではなく,例えば,一軸に垂直な方向にのみ光を散乱する回折格子であってもよい(7頁右欄4行～7行)との記載及。」び第1図には「回折格子」により光を散乱させることが示されている。 ,オ乙5の「本発明のLCDの散乱像は,屈折効果と回折格子効果とを利用しているため光が一定の角度に回折され点状散乱像となる(10頁右欄。」3行～5行との記載及び第11図には回折格子により光を散乱させ ) ,「」ることが示されている。第5当裁判所の判断1取消事由1(一致点の認定の誤り・相違点の看過)について引用発明の「照度分布を検出する」ことが本願第1発明の「装置の特性を決定する」ことに実質的に相当するとした審決の認定の当否について,以下のとおり判断する。 (1)本願第1発明について原告は,本願第1発明にいう「装置の特性」とは,回折格子を利用して決定されるべき装置の特性であって,具体的にはレンズの透過度の角度依存性を意味するものである旨主張する。しかし,以下のとおり,原告の上記主張は失当である。ア請求項1の記載及び発明の詳細な説明の記載本願明細書の特許請求の範囲(甲3)の請求項1の記載は,前記第2,2のとおりである。また,本願明細書の発明の詳細な説明(甲1,4)には,次の記載がある。「【】 , (ア)0010 この方法では投影システム内のひとみの特性を決定し装置の角強度分布特性を決定することができる」。 0014 大きい角度で放射を回折することで NA絞りのサイズと「【】 ,形状を決定できる。回折効果の代わりに,放射の散乱または拡散を用いて大きい角度の放射を生成することができる。放射の散乱は,例えば,投影ビームが粗い表面を横切る時に発生する。同様に,放射の拡散は,例えば,投影ビームが半透明の素子を横切る時に発生する。【0015】好ましくは,前記装置の前記特性は少なくとも,前記装置のひとみについて,NA絞りに関する角強度分布の形状,対称,精密構造および/またはセンタリングと,前記装置内のNA絞りの形状および/またはサイズと,前記投影システム内の放射伝達の角依存性と,マスク平面および/または基板平面における角強度分布と,前記装置内の光学構成要素の位置合わせ,特に放射源の位置および角合わせと,マスク平面および/または基板平面内の異なる位置,および/または前記装置, 。」の異なる照明設定でのいずれか1つのまたは複数の上記特性を含む(イ)0057 本発明の実施形態の別の光学的特徴はスポットもピ「【】 ,ンホールも透過性が一様の領域である必要はないということである。非,, 一様な透過性を散乱を含む回折効果を達成するために使用して例えば投影レンズ内の前記NA絞りの設定を測定することができる。その名前からして当然,NA絞り(の設定)はひとみの縁部と投影レンズを通過できる最大角光線を画定する。NA絞りの設定はNA絞りが照射される場合にのみ測定できる。したがって,大きい角度の放射が必要で,本発明によるこれを生成する1つの方法はレチクル・レベルでの回折による方法である。【0058】例えば,図6に示すように,非透過領域22によって囲まれたピンホール21は従属の非透過的な点23を含む。この例では,点23はランダムな配列に置かれている。従属点23は放射の波長にほぼ。 , 等しいサイズである点によって衝突する放射は広範囲の角度に回折し投影レンズ内のひとみ全体を照射して測定することができる。図6は原寸ではない。好ましい実施形態では,ピンホール21の直径は約25μ,.。, mで各点23の直径は0 2μmの領域内にある別の実施形態では散光器をピンホールと併用して点23のように大きい角度の放射を得る」。 (ウ)0059 この原理の別の実施形態を図7に示す非透過的な領「【】。域22によって囲まれたピンホール21は十分に定義された回折を生成する透過,非透過の交互の縞を含む格子24を含む。図8は図7の格子-ピンホール21,22,24から生じる投影レンズ内のひとみ平面での回折パターンを示す。図8で,ひとみはNA絞り25によって境界を付けられている。0次元ビーム強度分布26はピンホールが位置するレ。, チクル平面上に当たる投影ビーム放射の角分布に対応するこの図では見やすくするために0次元ビームは小さく示している。実際には,0次元ビームは1次元回折ビーム27と重畳することがあり,1次元回折ビーム27はNA絞りの周縁部25に重畳することがある。ビーム26,27が環状などになるように異なる照明設定を用いることもできる」。「【】 , (エ)0060 NA絞りのサイズと大きさとを突き止めるだけでなくこの構成を用いて角度に依存するレンズ透過度を測定することができる。0次元の各点の強度と1次元のそれに対応する点の予測される割合は格子の回折効率から知られている。実際の強度率を測定することで,予測率からの偏差を計算でき,異なる角度のレンズ透過度が得られる。回折パターンと照明設定を変更することで,レンズ透過度の角依存を1つの視野点で決定できる。測定は多数の視野位置,すなわち,レチクル平面の異なる位置のピンホールに対応する位置で実行できる。【0061】あるいは,角分布はレチクルおよびウエハ・レベルの両方で測定できる。レンズの拡大率を考慮した両方の測定値の差が角依存レンズ透過度を与える」。 (オ)0065 本発明の実施形態の1つの動作モードは図5に示す線「【】スキャンを実行して角強度分布情報を得ることである。本発明の実施形態による別の動作モードは焦点が外れる距離DFでｘ-ｙ平面上でセンサをスキャンすることである。そのようなプロットの図を図9に示す。これは投影レンズ系内のひとみ平面での強度分布の像に対応する。図9は高い,また低い強度を備えた別の縞を含むひとみでの空間強度分布内の精密な構造を明らかに示す。【0066】これらの動作モードのいずれかによって,以下の項目について情報を決定できる。1.精密構造を含むひとみでの放射分布の形状と強度を含むひとみの対称性。2.NA絞りに関する角強度分布のセンタリング。3.NA絞り自体のサイズと形状を測定できる。4.角依存レンズ透過性も測定できる。5.照明システム内の特定の欠陥に特徴的な特定のエラー。例えば,放射システムまたは投影システムのひとみの近位側の平面で,投影ビーム断面は円形ではなく楕円形であるか,投影ビーム断面内の投影ビームの強度分布は,例えば,円対称ではなく楕円。「」対称であることがある両方のタイプのエラーは投影ビームの楕円率または単に「楕円率エラー」と呼ばれる。楕円率エラーはインテグレー, 。タのロッドの汚れか照明装置内の他の光学素子内の欠陥の結果である楕円率エラーの詳細については,例えば,本明細書に参照によって組み込まれた欧州特許出願第01305740.1号を参照されたい。【0067】上記測定の各々は複数の視野位置で実行して,例えば,視野内の角強度分布の変動を測定することができる。【0068】これを実行する1つの方法は,レチクルの異なる所望の視野位置に1つずつ,複数のピンホールを提供することである。レチクルが投影レンズ系の入口に配置された場合,投影レンズはウエハ・レベルのスポットのセットとしてこれらのピンホールの各々の像を生成する。あるいは,レチクルをウエハ・レベルに配置して直接スポットを形成することもできる。次いで,専用のセンサまたは以前からある透過像センサTISなどのセンサを用いて各スポットから焦点を外れた位置にある測定値を得ることができる。単一のセンサは各スポットの遠視野パターンを順次スキャンして,かつ/またはピンホールとスポットの異なる視野位置に対応する複数のセンサを提供できる。【0069】これらの測定の後で,リソグラフィ投影装置に修正を加えて最適でない位置合わせオブジェクト対称性を補正することができる。例えば,ひとみでの強度分布は理想的にはひとみの中心を横切る軸を中心にしたミラー対称である。ひとみ像の精密構造を決定することで,ソフトウェア・アルゴリズムを用いて任意の非対称性を検出し,対称性を最適化するビーム操縦でこれを補正することができる。これによって投影された像の忠実度とオーバレイ性能の両方を向上させることができる」。イ「装置の特性」の意義について(ア)請求項1及び発明の詳細な説明における上記アの各記載によれば,本願第1発明はスキャンステップで得られた情報から前記装置の特性 ,「」,「」, を決定するステップを有するものでありスキャンステップとは回折格子を含むピンホールを用いて形成したスポットを焦点位置の外に置かれた単一のスポットセンサの1つのピンホールで前記スポット又は前記スポットの像から焦点を外した放射の強度の空間変動を測定するためにセンサをスキャンするものであることが理解できる。 ,,「」 , 前記ア(ア)の記載によれば発明の詳細な説明では装置の特性は少なくとも前記装置のひとみについて NA絞りに関する角強度分布 ,「 ,の形状,対称,精密構造および/またはセンタリングと,前記装置内のNA絞りの形状および/またはサイズと,前記投影システム内の放射伝達の角依存性と,マスク平面および/または基板平面における角強度分布と,前記装置内の光学構成要素の位置合わせ,特に放射源の位置および角合わせと,マスク平面および/または基板平面内の異なる位置,および/または前記装置の異なる照明設定でのいずれか1つの,または複数の上記特性を含む」とされていることが理解できる。前記ア(イ)の記載によれば,発明の詳細な説明では,NA絞りの設定を測定するために,大きい角度の放射を,レチクル・レベルでの回折による方法により得ることができること,及び,ランダムな配列の放射の波長にほぼ等しいサイズの非透過的な点を含むピンホールにより,広範囲の角度に回折させて,投影レンズ内のひとみ全体を照射して測定することができるとされていることを理解することができる。前記ア(ウ)の記載によれば,発明の詳細な説明には,回折を生成する透過,非透過の交互の縞を含む格子を含むピンホールから生じる投影レンズ内のひとみ平面での回折パターンにより,NA絞りのサイズと大きさを測定することができるとともに,角度に依存するレンズ透過度を測定することができることが示されている。前記ア(オ)の記載によれば発明の詳細な説明には焦点が外れる距 ,,「離DFでｘ-ｙ平面上でセンサをスキャンすることにより1 精密」,「.。 . 構造を含むひとみでの放射分布の形状と強度を含むひとみの対称性 2NA絞りに関する角強度分布のセンタリング。3.NA絞り自体のサイズと形状を測定できる。4.角依存レンズ透過性も測定できる。5.照明システム内の特定の欠陥に特徴的な特定のエラー」を測定することが示されている。 ,「」 ,「, (イ)上記によれば本願第1発明にいう装置の特性は少なくとも, ,, 前記装置のひとみについて NA絞りに関する角強度分布の形状対称精密構造および/またはセンタリングと,前記装置内のNA絞りの形状, , および/またはサイズと前記投影システム内の放射伝達の角依存性とマスク平面および/または基板平面における角強度分布と,前記装置内の光学構成要素の位置合わせ,特に放射源の位置および角合わせと,マスク平面および/または基板平面内の異なる位置,および/または前記装置の異なる照明設定でのいずれか1つの,または複数の上記特性を含むものであるということができ角依存レンズ透過性という特性に」,「」限定されるものではなくNA絞り自体のサイズと形状の測定などを ,「」含む意味であると判断することができる。 (2)引用発明について引用例1(甲2)の記載(3頁左上欄19行～左下欄9行,4頁右上欄13行～5頁左上欄2行,第2図,第5図～第9図)に基づいて,審決が認定した引用発明前記第2 3(1) の内容に誤りがないことは原告の認める (,) ,ところである。引用例1には審決の摘記するとおり第5図・・・ではレチクル13 ,,「,として第19図(a(b)に示すようにガラス板29に形成されたクロム ),膜28にピンホール12のパターンを複数個又は,1個形成されたものを使用する(4頁右上欄14行～20行「第5図のレチクル13の上に,す。」 ),。, りガラス又は散乱板17が挿入できるようになっている第7図に示す様に, , レチクル13上にすりガラス17を挿入するとこのすりガラス17により照明系7からの光が散乱して大きく広がるためレチクル13上のピンホール12を通った光は,縮小レンズ2の入射瞳9の径Diよりも大きい光束46となり該入射瞳9の全開口面積を通って縮小レンズ2に入射する・・・こ , 。れから入射瞳9の径Diに対応するセンサ面上での径D が求められる4ｏ。」(頁左下欄18行～右下欄12行との記載のほか第2図にこの構成を用い ),「た測定方法を示す。まず,縮小レンズ2の入射瞳9全体を通る最大光束10は第2図に破線で示すようになるが,実際に照明系7から出る照明光束11は斜線を付して示したようになる。この照明光束11を瞳上照度分布検出ユニット8のピンホール3を通し,一定距離h離れた位置で観察することにより縮小レンズ2の入射瞳9上の照度分布に相当する照度分布を測定することができる。したがって,2次元光センサを配置し,この照度分布を取り込む事により,第3図に示す外周42を持つ入射瞳9上の光源の像43が得られ。 () , るこれから縮小レンズ2の入射瞳に対応する大きさD=D=Dとｏｏｘｏｙ測定により求めた光源像43の大きさd から前掲の式 1 により部分的コ e ()ヒーレンシ(σ値)を求め,またその重心を求めることにより,光源像の中心ずれ量C,C(テレセン度)を求めることが可能となる(3頁右下ｏｘｏｙ。」欄11行～4頁左上欄7行)との記載がある。引用例1の上記記載によれば,引用発明は,照度分布を検出することにより入射瞳の径Diと形状に対応するセンサ面上での径D と形状を求めるも ,ｏのであることが認められる。なお引用発明における｢入射瞳の径Diに対応するセンサ面上での径D ｣ ,ｏは,本願明細書の発明の詳細な説明にいう「NA絞り自体のサイズ」に相当すると認められる。 (3)本願第1発明と引用発明との対比本願第1発明にいう「装置の特性」は,前記(1)のとおり「角依存レンズ ,」 ,「」透過性に限定されるものではなくNA絞り自体のサイズと形状の測定などを含む意味であるところ引用発明は前記(2)のとおり照度分布を検 ,,,出することにより入射瞳の径Diと形状に対応するセンサ面上での径D と ,ｏ形状を求めるものであり,また,引用発明における「入射瞳の径Diに対応するセンサ面上での径Dは本願明細書の発明の詳細な説明にいう NAｏ」 , 「絞り自体のサイズ」に相当するから,引用発明は,照度分布を検出して得られた情報から,装置の特性の1つである入射瞳の径と形状を決定するステップを備えているものということができ,引用発明の上記ステップは,本願第1発明にいう「前記スキャンステップで得られた情報から前記装置の特性を決定するステップ」に相当するものと認められる。審決は,本願第1発明と引用発明とを対比して,引用発明の「照度分布を検出する」ことは本願第1発明の「装置の特性を決定する」ことに実質的に相当すると認定しているところ引用発明が照度分布を検出することに ,,「」,「」 , より装置の特性を決定するものといえることは上記のとおりであるから審決の認定は,これを是認することができる。なお,原告は,本願第1発明にいう「装置の特性」が「回折格子を利用することで決定される」ものであるのに対し,引用例1には「回折格子を利用する」ことは何ら開示されていない旨主張する。しかし,審決は,相違点3として,本願第1発明が「ピンホールの回折格子に用いる前記放射スポットを回折するステップ」を有するのに対して,引用発明がそのような手順を備えていない点を認定し,この点に関する容易想到性を判断しているのであるから,原告の上記主張は,その前提において失当である。 2取消事由2(相違点3の容易想到性の判断の誤り)について, ,「」 (1)以下のとおり引用例1に接した当業者が引用発明における散乱板に代えて「回折格子」を用いることは,容易になし得たものということができる。ア引用発明について前記1(2)のとおり,引用例1には「レチクル13上にすりガラス17 ,を挿入することにより照明系7からの光を散乱させて大きく広げる」,「」こととなり,その結果「レチクル13上のピンホール12を通った光」が「縮小レンズ2の入射瞳9の径Diよりも大きい光束46となり,該入射瞳9の全開口面積を通って縮小レンズ2に入射する」ようになることで,入射瞳径Diに対応するセンサ面上での径D が測定できることが記載「」ｏされていることからすれば,引用発明の「散乱板」が,通常使用時には,縮小レンズ2の入射瞳9の径Diよりも小さなスポット光束を広げることで,Diよりも大きな光束となるようにする機能を奏するものであることは明らかであり散乱板でなくとも当該機能を奏する光学要素を用い ,「」,れば,同様の測定を行うことができることは,当業者にとって明らかというべきである。イ本願の優先日当時の技術水準について(ア)乙1(特開平5-72525号公報)には,次の記載がある。「 0001 【産業上の利用分野】この発明は,マトリックス形液晶【】ディスプレイ(LCD)の各画素間に形成された編目状のブラックストライプ部分(ブラックマトリックス)等の複数の輝度情報出力素子の各素子の境目を目立ちにくくする輝度情報出力装置並びに該装置を用いるカメラ装置及び映像表示装置に関する」。「 0005 【課題を解決するための手段】この発明の輝度情報出力【】装置は,輝度情報を所定範囲単位毎に出力する複数の輝度情報出力素子と,この複数の輝度情報出力素子の前面に配置され,その各素子より出力される上記輝度情報を各素子の実質面積よりも散乱させる散乱素子とからなり,上記散乱素子は上記複数の輝度情報出力素子の各素子の境目に上記輝度情報を散乱するように構成してある」。 0027 図6は前記輝度情報出力装置1をビデオカメラカ「【】, ,() 。メラ装置 10のビューファインダー11に適用した他の実施例を示す【0028】このビューファインダー11の筒状のビューファインダー本体11aは,撮像素子(図示せず)を有するカメラ本体10aの上面に対して傾倒自在に設けてある。このビューファインダー11のビューファインダー本体11aには,上記撮像素子より得られる映像情報を出力する液晶ディスプレイ12を内蔵してある。この液晶ディスプレイ12は,前,後面に偏光板2A,2Bを取付けた透過形のカラー液晶パネル(複数の輝度情報出力素子)2と,このカラー液晶パネル2の後面側に配置された拡散板(白濁板)3と,この拡散板3に対向するように配置された蛍光灯13及び凹面鏡状の反射板14等からなるバックライト4と,上記カラー液晶パネル2の前面に配置され,前面に微小複眼レンズ効果のある散乱面5aを有した透過形の散乱板(散乱素子)5とを備えている。尚,接眼レンズ6は視度調節レバー16により前後方向に移動自在に設けられている。また,図6中,符号11bはアイカップである」。 0033 尚前記各実施例によれば散乱素子として散乱板を用「【】 ,,いたが,回折格子等の他の散乱素子を用いてよい」。上記記載によれば,乙1には,液晶パネルの輝度情報を素子の面積よりも拡大するため,すなわち「光を広げる機能」を有する透過型の光散乱素子として透過型の回折格子を用いることが開示されていると認 ,「」められる。 (イ)乙2(特開平6-44813号公報)には,次の記載がある。「 0001 【産業上の利用分野】本発明は,照明装置であって,光【】源とリフレクタとが設けられていて,該リフレクタによって,光源から放射された光線が反射されるようになっており,さらに透光板と,リフレクタによって反射された光線の光路に位置する,この光線の散乱および/または変向のための光学素子とが設けられている形式のものに関する」。 0002従来の技術・・・この公知の前照灯では一般にそう「【】【】 ,であるように光学素子が設けられており,この光学素子は光源から放射されてリフレクタによって反射された光線の光路に配置されている。この光学素子によって,光源から放射された光線およびリフレクタによって反射された光線は変向させられ,かつ/または散乱させられ,この場合,この光線は所望の配光を形成する。光学素子はプリズムおよび/またはレンズとして構成されていて,透光板に配置されている。この光学素子は場合によってはかなりの厚さを有しており,これによって透光板の重量が高められてしまう。さらに,前記光学素子は透光板の向き,つまり傾斜および/または旋回に正確に適合されていなければならないので,種々の異なる前照灯に合わせて,光学素子も同じく種々に構成されていなければならない。また,透光板も種々の形状,たとえば方形または円形の形状を有していることに基づき,透光板を製造するためには種々の異なる成形工具が必要となる。この成形工具はその都度光学素子を透光板に加工成形するので,極めて不経済なものである。したがって,, , あらゆるタイプの前照灯に対してそれぞれ専用の透光板が必要となりひいては大きな製造手間がかかってしまう」。「 0003 【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は,冒頭【】で述べた形式の照明装置を改良して,比較的軽量に形成されていて,しかも製造の手間が軽減されているような照明装置を提供することである。 0004課題を解決するための手段この課題を解決するために本【】【】発明の構成では,前記光学素子が回折光学素子として構成されていて,全体的に回折格子を形成しており,該回折格子が,透光板とは別個の部分に構成されているようにした」。 0010 光源10から放射された光線とリフレクタ12によっ「【】 ,て反射された光線の光路には,回折格子18が配置されている。この回折格子18は回折光学素子を有しており,この回折光学素子によって,透過光に影響が与えられる。回折光学素子は,たとえばマイクロプリズムおよび/または線格子として形成されている」。 0017 図3には同じく図1に示した回折格子18の部分的な「【】,拡大図が示されているが,この場合,図2に示した範囲とは異なる範囲が図示されている。この部分の範囲では,回折光学素子が散乱素子22として形成されており,この散乱素子によって,光線は前記散乱素子に対して垂直に位置する平面に散乱される。散乱素子22は全体的に線格子を形成していて,リブの形状を有している。これらのリブは基面から突出しており,この場合,前記リブは方形または丸みを帯びて形成されていてよく,各2つのリブの間の鉛直方向の間隔は格子定数dを成しており,間隔dに対して垂直な方向におけるリブ22の延び長さは数倍分も大きく形成されている。格子定数dはλ≦d≦100・λの範囲にある。このような散乱素子22によって,分散する光束が形成される。光線強度は多数の回折次数に分割されるので,1平面内に位置する角度範囲内に均一な強度分布が生じる。照明装置が自動車の前照灯として使用される場合,散乱素子22は,その大きい方の延びがほぼ鉛直方向に延びるように配置されていると有利である。その結果,このような延びに基づき,水平平面内における光線散乱が生ぜしめられる。散乱素子22の格子定数dはマイクロプリズム20の場合と同様に可変であってよく,これによって,種々の異なる散乱角を実現することができる。付加的に,可変の格子定数dに基づき,回折次数の融合が得られる」。 ,, , 上記記載によれば乙2には透過型の回折格子を用いることにより光線を1平面内に位置する角度範囲内に均一な強度分布が生じるように散乱させることができることが開示されており,光を広げる散乱素子として透過型の回折格子を用いることが開示されていると認められる。 (ウ)乙3には,次の記載がある。「 0001 【産業上の利用分野】本発明は,液晶表示装置に関し, 【】特に,表示画像のボケを生じさせずに視野角依存性を減らした液晶表示装置に関する」。「 0011 ・・・この画像が形成されている共役面に拡散板21を【】配置し,視野各依存性の高い表示光を図示のように広い角度に拡散させるようにすることにより,視野角依存性が少なくなり,かつ,拡散板21が配置されている面が画素表示面と共役な面であるため,表示画像が。,, , ボケないなお拡散板21としては単にガラス板を砂摺りした物や従来技術で説明した図6のような凹凸部等でもよく,また,その他あらゆる拡散板21が使用できる。また,図2に平面図を示したように,6角形やその他の外形で格子方向も異ならせて微細周期で周期的に並べた回折格子は,拡散光の方向を制御できるので,拡散板21としてはより効果的である」。上記記載によれば,乙3には「ガラス板を砂摺りした物 ,すなわち , 」すりガラスと同様に広い角度で光を拡散する拡散板として回折「」, ,「格子」を用いることができることが開示されていると認められる。 (エ)上記(ア)ないし(ウ)によれば,本願の優先日当時,透過型の「回折格子」を,光を広げる拡散板として用いることができることは,周知の技術であったことが認められる。ウ容易想到性について前記アのとおり,引用発明の「散乱板」は,通常使用時において縮小レンズ2の入射瞳9の径Diよりも小さなスポット光束を広げてDiよりも大きな光束となるようにする機能を奏するものであるところ,上記イのとおり,本願の優先日当時,光を広げる「散乱板」として「回折格子」を用いることは周知の技術であったから,引用発明の「散乱板」に代えて「回折格子」を用いることは,当業者であれば,容易に想到し得たと認めるのが相当である。 ,「」 ,【】そして本願第1発明における回折格子は本願明細書 0064段落等を参照すると,散光器程度のものであって,散光器を用いた場合に比べ回折格子を用いたことによる特段の意義は認められないから,本願第, ,, 1発明は相違点3に係る構成を有することにより引用発明と比較して格別顕著な効果を奏するものということはできない。エ以上によれば審決における相違点3の判断は後記(3)のとおり説示に , ,不適切な点があるものの,その結論において相当というべきである。 (2)原告の主張に対しア原告は,乙1ないし5に基づく被告の主張は,審決の理由とは異なる新たな拒絶理由の主張であり,許されない旨主張する。しかし乙1ないし5は引用発明において散光板に代えて回折 ,,,「」「格子」を用いることの容易想到性を主張するに当たり,その前提となる本願の優先日当時の技術水準を立証しようとするものにすぎず,新たな拒絶理由を構成するものとまではいえない。原告の主張は採用することができない。イ原告は,?@乙1ないし3には,いずれも引用発明とは技術分野を異にする発明が記載されているにすぎない,?A乙2には,散乱板と回折格子の置換についての言及はない,?B乙1及び3は,光学素子への入射光よりも出射光が少しでも広がっていれば,発明の目的が実現されるのに対し,引用発明では,仮に回折格子を用いたとしても発明の目的を実現できるとは限らない,などと主張する。しかし,引用発明の「散乱板」が,通常使用時において縮小レンズ2の入射瞳9の径Diよりも小さなスポット光束を広げてDiよりも大きな光束となるようにする機能を奏するものであることは明らかであり「散乱,板」でなくとも,当該機能を奏する「光学要素」を用いれば,同様の測定を行うことができることは当業者には明らかであることは前記(1)にお , ,いて既に説示したとおりであるそして散乱板と回折格子とが入。,「」「」「」「」 , 射光よりも出射光を広げる光学素子である点で共通するものであれば引用発明においても「散乱板」を「回折格子」に置き換えることが容易に想到し得るものといえるのであるから乙1ないし乙3において回折格 ,,「子」が用いられる対象が引用発明とは異なるものであるとしても,上記判断が左右されるものではない。ウ原告は,引用発明における「散光板」を「回折格子」という全く異なる光学素子に置き換えるに至る動機付けは,引用発明の開示にも技術常識にも存在しないと主張する。 ,,,「」しかし前記のとおり本願の優先日当時入射光より出射光を広げる光学素子として透過型の回折格子を用いることができることは周知であり引用発明における散乱板が奏する作用を有する光学素子として回 ,「」「折格子」が良く知られているといえる以上,両者は,その作用,機能にお,「」いて共通するものであるといえるのであって引用発明における散光板を「回折格子」に置き換える動機付けは存在するというべきであるから,原告の主張は採用することができない。エ原告は,引用発明の「散乱板」を単に「回折格子」に置き換えたとしても,入射瞳の全開口面積よりも大きい光束が得られるとは限らないし,入射瞳の周縁部に光束が照射されるとも限らないから,引用発明の目的を達することができない旨主張する。しかし,前記のとおり,引用発明において,入射瞳径を測定するに当たり入射瞳の全開口面積よりも大きい光束として,入射瞳の周縁部に光束を照射する必要があることは明らかであるから,回折格子を用いるに当たり, 。そのように調整することは当業者であれば当然考慮する事項にすぎない原告の主張は採用することができない。 (3)審決の説示について審決は相違点3に係る容易想到性の判断について本願第1発明におけ , ,「る『回折格子』は,本願明細書【0064】段落等を参照すると,散光器程度のものであって,散光器を用いた場合に比べ回折格子を用いたことによる特段の意義は認められないから,本願第1発明における『回折格子』は,引用例1に記載された発明の『散乱板』程度のものにすぎず,引用例1に記載された発明の『散乱板』に代えて『回折格子』を用いることに格別の意義はない。したがって,相違点3は,引用例1に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到できたところである(審決書9頁18行～26行)とのみ。」説示する。しかし,審決の上記説示は,以下のとおりの理由から,特許法29条2項に該当すると判断した論理過程を十分に記載したものとはいえず,適切な説示とはいえない。審決書においては,本願第1発明が同項に該当することを論理付けるために,まず,本願第1発明と本願の優先日前に公知な特定の発明(引用発明)とが相違する構成部分を明らかにした上で,引用発明と,他の公知な発明又は周知技術等から,当業者において,本願第1発明と相違する引用発明の構成部分を,本願第1発明の構成とする(同発明の構成に換える)ことが容易であるか否かを吟味し,容易であることを論証する(説示する)必要があるといえる本件における論証の対象は引用発明における散乱板を本。 ,「『』 ,願第1発明における『回折格子』とすることが容易であるか否か」であるところ,審決の上記説示を見ると,単に「本願第1発明における『回折格子』は,引用例1に記載された発明の『散乱板』程度のものにすぎず」と述べるだけであって,具体的な理由を何ら記載していない。したがって,審決の説示内容には不備があるが,前記(1)及び(2)に示した内容に照らして,審決の結論を維持するのが相当であり,取消事由には当たらないものと判断した。 3結論上記検討したところによれば,原告主張の取消事由はいずれも理由がなく,その他,原告は縷々主張するが,いずれも理由がない。また,審決に,これを取り消すべきそのほかの誤りがあるとも認められない。よって,原告の本訴請求は理由がないから,これを棄却することとし,主文のとおり判決する。

事実及び理由

全容
第1請求特許庁が不服2004-17527号事件について平成18年9月12日にした審決を取り消す。
第2争いのない事実1特許庁における手続の経緯,( ,), 原告は平成13年8月31日優先権主張:2000年9月1日欧州発明の名称を「リソグラフィ装置を操作する方法,リソグラフィ装置,デバイス製造方法,およびそれによって製造されるデバイスとする特許出願以下本」(「願というをしたその後原告は平成15年12月5日本願に係る明」。)。,,,細書特許請求の範囲を含むを補正する手続補正をしたが平成16年6月 (。) ,4日付けの拒絶査定を受けたので,同年8月25日,これに対する不服の審判(不服2004-17527号事件)を請求するとともに,本願に係る明細書特許請求の範囲を含むを補正する手続補正をした特許庁は平成18年 (。) 。,5月15日付けで,原告が平成16年8月25日にした手続補正を却下するとともに,拒絶理由通知をした。そこで,原告は,平成18年7月25日,本願に係る明細書の特許請求の範囲の記載を補正(以下,この補正を「本件補正」といい本件補正後の本願に係る明細書及び図面を本願明細書というす , 「」。)る手続補正をしたが特許庁は同年9月12日本件審判の請求は成り立 ,,,「,たない」との審決(附加期間90日,以下「審決」という )をし,同月22 。。
日,その謄本を原告に送達した(なお,原告は,同月19日,名称変更届及び住所変更届を特許庁に提出した。。)2特許請求の範囲,(, 本願明細書の特許請求の範囲の請求項1の記載は次のとおりである以下この発明を「本願第1発明」という。。)「請求項1】放射投影ビームを供給する放射システムと, 【マスク平面でマスクを保持する第1のオブジェクト・テーブルと,基板平面で基板を保持する第2のオブジェクト・テーブルと,少なくともマスクの一部分を基板の目標部分上に結像する投影システムとを含んだリソグラフィ投影装置を操作する方法であって,1つのピンホールを用いる前記装置内の前記マスク平面で前記投影ビームの少なくとも1つの部分から少なくとも1つの放射スポットを形成するステップと,前記ピンホールの回折格子に用いる前記放射スポットを回折するステップと,前記スポットに関して焦点位置の外に置かれた単一のスポットセンサの1つのピンホールで,前記スポットまたは前記スポットの像から焦点を外した放射の強度の空間変動を測定するために前記センサをスキャンするステップと,前記スキャンステップで得られた情報から前記装置の特性を決定するステップとを含むことを特徴とする方法」。
3審決の理由別紙審決書写しのとおりである。要するに,本願第1発明は,本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平3-65623号公報(甲2,以下「引用例1」という )に記載された発明(以下「引用発明」という )に基づいて当。。
業者が容易に発明をすることができたものであり,特許法29条2項の規定により特許を受けることができない,というものである。
審決は上記判断をするに当たり,引用発明の内容及び本願第1発明と引用発明との一致点・相違点を次のとおり認定した(なお,審決書8頁2行ないし3行にマスク平面でマスクを保持する第1のオブジェクト・テーブル同頁2 「」,1行に「放射の強度の空間変動を測定する」とあるのは,それぞれ「基板平面で基板を保持する第2のオブジェクト・テーブル「放射を測定する」の誤記」,と認める。。)(1)引用発明の内容「投影形露光装置において,レチクルの上に散乱板を挿入し,照明光束により,レチクル上のピンホールを通った光が入射瞳の全開口面積を通って縮小レンズに入射するようにして,レチクル上のピンホールの像をレチクルと共役となる位置すなわちウエハ面と同じ高さに結像させ,さらに,ウエハステージ上に設けた瞳上照度分布検出ユニットの受光側ピンホールを上記共役となる位置からh離れた位置に設け,この受光側ピンホールと単一のセンサとを一体として,ウエハステージに乗せ,当該ウエハステージをXまたはY方向に移動することにより,受光側ピンホールと単一のセンサを走査しながら光量測定することにより照度分布を検出する方法」。
(2)一致点「基板平面で基板を保持する第2のオブジェクト・テーブルと,少なくともマスクの一部分を基板の目標部分上に結像する投影システムとを含んだリソグラフィ投影装置を操作する方法であって,1つのピンホールを用いる前記装置内の前記マスク平面で前記投影ビームの少なくとも1つの部分から少なくとも1つの放射スポットを形成するステップと,前記スポットに関して焦点位置の外に置かれた単一のスポットセンサの1つのピンホールで,前記スポットまたは前記スポットの像から焦点を外した放射を測定するために前記センサをスキャンするステップと,前記スキャンステップで得られた情報から前記装置の特性を決定するステップとを含むことを特徴とする方法」。
(3)相違点ア相違点1本願第1発明は放射投影ビームを供給する放射システムとマスク平 ,「 ,」, 面でマスクを保持する第1のオブジェクト・テーブルを有するのに対し引用発明は,上記構成の記載がない点。
イ相違点2本願第1発明は放射の強度の空間変動を測定するのに対し引用発 ,「」,明は,上記構成の記載がない点。
ウ相違点3本願第1発明はピンホールの回折格子に用いる放射スポットを回折す ,「る」のに対し,引用発明は,上記構成の記載がない点。
第3取消事由に係る原告の主張審決は,本願第1発明と引用発明との一致点の認定を誤り,相違点を看過した違法(取消事由1)及び相違点3の容易想到性の判断を誤った違法(取消事由2)があるから,取り消されるべきである。
なお引用発明の内容及び相違点1ないし3の各認定前記第2 3(1)及び , (,(3) 並びに相違点1及び2に係る各容易想到性の判断に誤りがないことは認め )る。また,一致点の認定(前記第2,3(2))につき「前記装置の特性を決定 ,する」との部分を除いて誤りのないことは認める。
1取消事由1(一致点の認定の誤り・相違点の看過)審決は,引用発明の「照度分布を検出する」ことが本願第1発明の「装置の特性を決定する」ことに相当すると認定した(審決書8頁10行～11行,同頁22行。)しかし以下のとおり本願第1発明の装置の特性とは回折格子を利 ,,「」,「用して決定される装置における特性すなわちレンズの透過度の角度依存性」,,を意味するのに対し,引用例1には「回折格子」を利用することは何ら開示されていないから,審決は,本願第1発明と引用発明との相違点を看過したものであり,一致点の認定に誤りがある。
(1)ア本願第1発明において「装置の特性」を決定するための「スキャンス ,テップで得られた情報とは回折格子を利用し放射スポットが回折」,「」,されていることを前提として取得される情報を意味する。このことは,本願明細書の特許請求の範囲の請求項1の記載から明らかである(請求項1の「前記ピンホールの回折格子に用いる前記放射スポットを回折するステップ」との記載は,特許を受けようとする発明を「回折格子」を使用する実施形態〔本願明細書の段落【0059】ないし【0060】等〕に限定するため,本件補正により追加されたものである。。)したがって,本願第1発明における「装置の特性」とは,単に「スキャンステップで得られた情報」から決定され得る「特性」であればよいので,「」「」。はなく回折格子を利用することにより決定される特性を意味するイそして,本願第1発明いう「装置の特性 ,すなわち「回折格子」を利」,用して決定される装置の特性が,回折格子からの0次回折光に加えて少なくとも1次回折光を用いて得られる特性であることは,当業者には自明である。なぜなら,一般に,回折格子を用いる場合には,強度において,もとの入射光に比較して弱い0次光のみでなく,少なくとも1次光を利用するからである。そうすると,請求項1に「回折格子」を用いることが明記されている以上,当業者は,本願第1発明では,0次光に加え,少なくとも1次光が利用されるものと理解する。
ところで本願明細書の段落 0060 等は回折格子を利用する ,【】,「」ことにより決定される特性の具体例として角度に依存するレンズ透「」,「過度及び NA絞りのサイズと大きさを挙げているこのうちレン」「」。,「ズ透過度」は,0次光及び1次光を利用することにより当然に測定可能であるのに対しNA絞りの大きさを測定するには入射瞳周縁部へ光を ,「」,重畳させるという調整が必要となる。そうすると,本願第1発明の測定対象の主たる具体例は「レンズ透過度」と考えることができる。
ウ被告は,?@本願第1発明にいう「装置の特性」について,装置の特性であればどのようなものでもよい,?A「回折格子」を用いて,角度に依存するレンズ透過度を測定するためには一次元回折ビーム27 がNA絞り ,「」の中に入ることが必要であるが,回折格子であればその条件を満たしているとはいえず,当該条件を満たしていることが請求項1の「装置の特性を決定する」との記載から自明であるともいえない,原告の主張は「この構成を用いて角度に依存するレンズ透過度を測定すること」が可能な場合にのみ成立する論理であると主張する。
しかし,被告の主張は,本願第1発明が「回折格子」を用いるものであることや回折格子に関する技術常識を無視し,請求項1の記載の一部分を他の記載から切り離して解釈するものであって,失当である。
(2)引用例1の記載 3頁左上欄19行～右上欄7行同頁右上欄9行～14 ( ,行,4頁左下欄18行～右下欄12行)によれば,引用発明は,露光装置の解像性能を最大限に発揮させるために照明光学系の照度分布を測定する技術を提案するものであり,試料面又はこれと光学的共役な位置に小さなピンホールを置き,試料を搭載するステージ上の試料面から一定距離だけ離れた位置に検出センサを置き,レンズとピンホールを透過してきた照明光の光束の照度分布(具体的には,照明系の部分コヒーレンシ〔σ値〕及びテレセン度光源の中心ずれ量を測定しその結果に基づき光源の位置等の補正をす〔〕),るというもので,上記測定のためにすりガラス又は散乱板を用いるものである。
すなわち,引用例1の第7図に示されるように,レチクル13上にすりガラス17を挿入すると,このすりガラス17により照明系7からの光が散乱して大きく広がるため,レチクル13上のピンホール12を通った光は,縮小レンズ2の入射瞳9の径Diよりも大きい光束46となり,入射瞳9の全開口面積を通って縮小レンズ2に入射することとなるが,同図において,46で示される光の幅がDiで示される入射瞳より広く描かれていることから明らかなとおり,入射瞳より広い光を当てれば,ちょうど瞳の大きさの分だけ切り取られた光が観察できるので,その結果,瞳の大きさが判明するというものである。
そして,引用発明の「照度分布」は,瞳上照度分布検出ユニット16の走査により検出される瞳上の照度分布であるところ,引用例1には,レチクル13の上にすりガラス又は散乱板17の挿入がない場合とある場合それぞれの瞳上の照度分布の検出が記載されているものの(4頁右上欄13行～5頁),「」。右上欄2行回折格子を利用することについては何ら開示されていない(3)上記のとおり本願第1発明と引用発明とは測定対象及び測定原理が異 , ,なり,そのため,本願第1発明では「回折格子」を用いるのに対し,引用発明では「散乱板」又は「すりガラス」が用いられている。
「散乱板」又は「すりガラス」は,ガラス板に多量の砂粒を当てるなどして形成されたランダムで不規則な微細凹凸により,入射光を広範囲に拡散させる光学素子であるのに対し回折格子は規則的かつ周期的な微細凹凸 ,「」 ,パターンにより,入射光を0次回折光及び1次回折光等に分離する光学素子であり,両者は入射光に対し全く異なる作用を及ぼす光学素子である。
したがって引用発明の照度分布を検出することが本願第1発明の装 ,「」「置の特性を決定する」ことに実質的に相当するとした審決の認定は,誤りである。
2取消事由2(相違点3の容易想到性の判断の誤り),「『』 ,【】 (1)審決は本願第1発明における回折格子は本願明細書 0064段落等を参照すると,散光器程度のものであって,散光器を用いた場合に比べ回折格子を用いたことによる特段の意義は認められないから,本願第1発明における『回折格子』は,引用例1に記載された発明の『散乱板』程度の, 『』『』ものにすぎず引用例1に記載された発明の散乱板に代えて回折格子を用いることに格別の意義はない・・・相違点3は引用例1に記載された。,発明に基づいて当業者が容易に想到できたことである・・・本願発明の作用。
効果も,引用例1に記載された発明の作用効果から当業者が予測できる範囲のものである(審決書9頁19行～28行)と認定判断した。。」しかし,以下のとおり,審決の上記認定判断は誤りである。
, ,「【】」ア審決は上記認定判断の根拠として本願明細書 0064 段落等を挙げている。
しかし,本願明細書の記載事項は,本願の優先日当時,公知でも周知でもないから,相違点3に係る本願第1発明の構成の容易想到性の判断の根拠とすることはできない。したがって,審決が,公知技術又は周知技術の根拠とすべきでない事項を基礎として,本願第1発明に容易に想到し得ると判断した点は誤りがある。
イ審決は,以下のとおり,その判断の内容において,誤りがある。
(ア)本願明細書には回折格子が散光器程度のものであるとする ,「」「」記載は,審決が指摘する段落【0064】にも,その余の個所にも存在。【】 ,「」「」しない審決の指摘に係る段落 0064 は回折格子や散光器の配置箇所に関する具体例やこれらの上位概念である「回折素子」という用語を説明するものであって回折格子と散光器の技術的意義 ,「」「」が等価であることを直接示す記載ではない。すなわち,ピンホールに併「」(【】【】), 設される光学素子である従属点段落 0057 ～ 0058回折格子段落 0059 ～ 0060及び散光器段落 0 「」(【】【】)「」(【】) ,【】 062はそれぞれ異なる機能を有するものであるが段落 0064では,その配置箇所がいずれもピンホール近傍であること,その上位概念が「回折素子」であることから,便宜的に上記光学素子を並記したにすぎない。
そして回折格子は光線を回折するものであって入射光線を0次 ,「」 ,回折光,1次回折光などの複数の光線に分離するものであるのに対し,「散光器」は入射光を単に広範囲に散乱により拡散させるものにすぎない。
したがって,本願第1発明の「回折格子」は「散光器程度のもの」とはいえない。
なお,被告は,審決が「回折格子」と「散光器」が等価なものであると認定したものではない旨主張するが,審決の「本願第1発明における『回折格子』は,本願明細書【0064】段落等を参照すると,散光器程度のものであって」との説示と矛盾するものであって,根拠がない。
(イ)請求項1の記載及び技術常識に照らせば,本願第1発明の「装置の特性」とは「回折格子を用いて得られる特性」を意味する。そして,本願第1発明では回折格子により投影ビームを0次回折光と1次回折 ,「」光に分離し,両者の強度比に基づいて投影光学系のレンズ透過度を測定することができる。
これに対し散乱板では投影ビームを0次回折光と1次回折光とに ,「」分離することができないから,仮に本願第1発明の「回折格子」を「散」, 。乱板に置き換えたとしても本願第1発明の測定原理は機能し得ないこのように,本願第1発明の「回折格子」には,レンズ透過度を測定可能にするという,引用発明の「散乱板」とは異なる技術的意義が存在する。
,「」 ,「『』したがって本願第1発明の回折格子は引用発明の散乱板程度のもの」とはいえない。
(ウ)引用例1の記載(3頁左下欄18行～右下欄12行)によれば,引用発明は,入射瞳の全開口面積よりも大きい光束を入射瞳に照射して,入射瞳の開口面積の大きさに相当する光束を生成することにより,入射, 瞳の径Diに対応するセンサ面上での径D を得るというものであって0引用発明における「散乱板 (又は「すりガラス )の役割は,照明光束」」。, を入射瞳の全開口面積よりも広範囲に散乱させることにあるすなわち引用発明においては,入射瞳の周縁部で光束を切り取るように,入射瞳の周縁部に光束が重畳されるように照射されることが必要である。
そして,単一波長の光が入射する場合,回折格子は入射光を離散的な回折光(0次回折光,1次回折光,2次回折光等)へと変換する光学素子として機能する。回折格子からの回折光の放射角度は回折格子を構成する周期的パターンの寸法の大小によって異なるから,単に回折格子を設けただけでは,1次回折光と2次回折光との間隙に入射瞳の周縁部が位置する場合など,入射瞳の周縁部に光束が照射されないことがあり,そのような場合,入射瞳の径を測定することができない。回折格子によって特定次数の回折光(例えば1次回折光)を入射瞳周縁部に重畳するよう照射し,回折光の一部分だけを切り取って利用することは,公知でも周知でもないのである。
そうすると,引用発明の「散乱板」を単に「回折格子」に置き換えたとしても,入射瞳の全開口面積よりも大きい光束が得られるとは限らないし,入射瞳の周縁部に光束が照射されるとも限らないから,引用発明の目的を達することができない。
またそもそも散乱板は不規則な微細凹凸により入射光に散乱と ,,「」いう物理現象をもたらして光を広範囲に拡散させる光学素子であるのに対し回折格子は規則的な微細凹凸パターンにより入射光に回折と ,「」 ,いう物理現象をもたらすることにより,光を離散的な回折光に分離する光学素子であり,両者は入射光に対し異なる作用を及ぼすものである。
,「」 , すなわち回折格子は光を0次回折光等に分離する分離器であって当業者はわざわざ光を広げるためにこれを用いることなどはしない。
このように,引用発明の「散乱板」を「回折格子」に置き換える動機付けはなく,むしろこれを阻害する要因がある。
したがって,引用発明の「散乱板」に代えて「回折格子」を用いることに格別の意義がないということはできないし,引用発明の「散乱板」を「回折格子」に置き換えることが当業者にとって容易であるということもできない。
(エ)本願第1発明と引用発明とは,測定対象や測定原理が相違し,本質的に異なるものである。
引用発明は,σ値及びテレセン度という解像性能の向上のための基本的なパラメタを測定するものであるのに対し,本願第1発明は,レンズ透過度の角度依存性という新たな特性を簡易に測定することができるという顕著な作用効果があり,この測定結果を露光装置の調整に活用することにより更なる精度向上ないし微細化を実現することができる。すなわち,本願明細書では,基本的なパラメタであるσ値に加え,レンズ透過度や楕円率エラー段落 0066など他のエラーの測定方法も (【】),説明されており,本願第1発明は,σ値の測定という光延命技術の初歩的レベルを超える解像性能の追求を意図してレンズ透過度の角度依存性を計測するものである。
したがって,本願第1発明の作用効果は,引用発明の作用効果から当業者が予測できる範囲のものということはできない。
(2)被告は回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光 1次回折光 , ,等として,それぞれ異なる方向に光を「散乱」させるものであることは,当業者において明らかであり,回折格子を用いて入射瞳の周縁部で光束を切り取るように入射瞳の周縁部に光束が重畳されるように照射し,入射瞳径を測定することは当業者が容易になし得たことにすぎないから回折格子を散,「」「乱板」に代え,入射瞳径を測定することに阻害要因はない旨主張する。
しかし,被告の上記主張は,以下のとおり,失当である。
ア日本光学測定機工業会編「実用光キーワード事典」平成11年4月1日発行(甲8)の「光を所定の方向に回折させるために,周期構造をもたせた光学素子を回折格子と呼ぶ。回折格子の主要な目的は,入射する光を,。」( ) その波長に応じて分割する分光である114頁左欄5行～右欄1行との記載のとおり,回折格子は当該回折格子に入射した光を0次回折光,1次回折光等に分離するものである。したがって,回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光,1次回折光等として,それぞれ異なる方向に光を「向ける」ことは,当業者において明らかであるといえる。
しかし,かかる回折格子の作用を「散乱」と称するのは適切でない。甲8によれば「散乱」とは「微小な粒子を含む媒質の中を光が通過する場 ,,, 」() 合に光の進行方向が多くの方向に変わる現象33頁左欄2行～4行,「」()。をいい特に粒子が不規則に分布している場合同9行を意味するしたがって,引用発明の散乱板による「散乱」は,入射光を不特定の多方向に拡散させて光を広げることを意味することになり,入射光を0次回折光,1次回折光等に分離し各回折光を特定方向に向けるという回折格子の作用を「散乱」という用語で表現することは,当業者の認識に反するものというべきである。
このように,回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光,1次回折光等として,それぞれ異なる方向に光を「散乱」させるものであることは,当業者において明らかであるとする被告主張は,技術用語を混同したものであって,失当である。
なお,本願第1発明の「回折格子」による「回折」と,引用発明の「散」「」, ,, 乱板による散乱とが全く別異の概念であることは甲8において散乱と回折及び回折格子とが異なる章において扱われてい「」 ,「」「」,ることからも明らかである。
イまた,前記(1)イ及び後記(3)イのとおり,引用発明において,回折格子を用いて入射瞳の周縁部で光束を切り取るように入射瞳の周縁部に光束が重畳されるよう照射し,入射瞳径を測定することは当業者が容易になし得たということはできない。
(3)被告は回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光 1次回折光 , ,等として,それぞれ異なる方向に光を「散乱」させるものであることは,特開平5-72525号公報(乙1 ,特開平6-44813(乙2 ,特開平 ) )7-104276号公報乙3特開平10-11752号公報乙4 及 (), ()び特開平8-160442号公報(乙5)の記載からも,明らかである旨主張する。
しかし,被告の主張は,以下のとおり失当である。
ア引用例1の記載(3頁右上欄4行～7行,4頁左下欄18行～右下欄6行)によれば,引用発明は,半導体回路製造の主要工程に用いられる露光装置の内部特性の測定技術に関する発明であり,露光装置の解像性能を最大限に発揮させるために照明光学系の照度分布を測定する技術を提案するものであり,かかる目的を実現するための構成の一部として,入射瞳よりも広範囲に照明光束を散乱させるすりガラスまたは散乱板が用いられており,具体的には,散乱板で入射瞳の全開口面積よりも大きい光束を得て入射瞳径を測定するものである。
これに対し,乙1ないし5には,後記イのとおり,いずれも引用発明とは技術分野を異にする発明が記載されているにすぎない。そして,乙2及び5には,散乱板と回折格子の置換についての言及はない。
また,乙1,3及び4記載の各発明では,光学素子が散乱板等であるか回折格子であるかによらず,当該発明の目的が実現されるのに対し,引用発明では,仮に回折格子を用いたとしても発明の目的を実現できるとは限らない。すなわち,乙1及び3は,光学素子への入射光よりも出射光が少しでも広がっていれば発明の目的が達せられるという意味で散乱板で,「」も「回折格子」でも用い得るとしているにすぎない。また,乙4は,光学素子への入射光よりも出射光が少しでも均一化されていれば発明の目的が達せられるという意味で,光散乱体でも回折格子でも用い得るとしているにすぎない。
以上のとおり,乙1ないし5に記載された発明の構成の一部を,引用発明における露光装置の内部特性の測定技術に転用し,あるいは引用発明に組み合わせる合理的根拠は見出せない。したがって,引用発明において,回折格子を用いて入射瞳の周縁部で光束を切り取るように入射瞳の周縁部に光束が重畳されるように照射し,入射瞳径を測定することは当業者が容易になし得たということはできない。
イ乙1ないし5には,引用発明とは技術分野を異にする発明が記載されているにすぎない。
(ア)乙1にはこの発明は液晶ディスプレイ等の複数の輝度情報出力 ,「,素子の各素子の境目を目立たなくすることができる輝度情報出力装置を提供するものである(2頁2欄31行～34行「図1において,1 。」 ),は輝度情報出力装置であり,透過形のカラー液晶パネル(複数の輝度情報出力素子)2と,このカラー液晶パネル2の背面側に積層された拡散板3と,この拡散板3に対向するように配置された蛍光灯及び反射板等, , からなるバックライト4と上記カラー液晶パネル2の前面に配置され前面に微小複眼レンズ効果のある散乱面5aを有した透過型の散乱板(散乱素子)5で構成されている(3頁3欄24行～31行「尚, 。」 ),前記各実施例によれば,散乱素子として散乱板を用いたが,回折格子等他の散乱素子を用いてもよい(5頁7欄20行～22行)と記載され。」ている。
上記記載によれば,乙1記載の発明は,液晶ディスプレイの画素間の境目を目立たなくするという目的を,カラー液晶パネル2の各画素からの光を広げる機能を有する光学素子を用いることにより実現するものであり,回折格子を用いてもよいとされているのは,多少なりとも光を広げる機能を有する光学素子であれば,同発明の目的が当然に達せられるからにすぎない。
(イ)乙2には自動車においてすれ違いビーム用前照灯走行ビーム ,「,,用前照灯またはフォグランプとして可能であり3頁3欄16行～18 」(行「公知の前照灯では,一般にそうであるように光学素子が設けられ ),ており,この光学素子は光源から放射されてリフレクタによって反射された光線の光路に配置されている。この光学素子によって,光源から放射された光線およびリフレクタによって反射された光線は変向させられ,かつ/または散乱させられ,この場合,この光線は所望の配光を形成する。光学素子はプリズムおよび/またはレンズとして構成されていて,透光板に配置されている。この光学素子は場合によってはかなりの厚さを有しておりこれによって透光板の重量が高められてしまう2 , 。」(頁2欄5行～15行本発明の課題は・・・比較的軽量に形成されて ),「,いて,しかも製造の手間が軽減されているような照明装置を提供することである(2頁2欄27行～30行「本発明の構成では,前記光学。」 ),素子が回折光学素子として構成されていて,全体的に回折格子を形成しており,該回折格子が,透光板とは別個の部分に構成されているようにした(2頁2欄33行～36行「回折光学素子が散乱素子22とし。」 ),て形成されており3頁4欄48行～49行散乱素子22は全体的」(),「に線格子を形成していて,リブの形状を有している。これらのリブは基面から突出しており,この場合,前記リブは方形または丸みを帯びて形」( )。成されていてよく3頁4欄50行～4頁5欄4行と記載されている上記記載及び図3によれば,乙2には,車両用の照明装置に関する発明が記載されており,回折格子表面に規則的に形成される微細凸部の1つ1つを散乱素子22と称しているものの,従来のレンズ/プリズムに代えて光方向変更/拡散用に照明装置の透光板に回折格子を付随させることが記載されているにすぎない。また,乙2は,散乱板や散乱板と回折格子の置換について,記載・示唆するものではない。
(ウ)乙3には本発明・・・の目的は表示画像のボケを生じさせずに ,「,視野角依存性を減らした液晶表示装置を提供することである(2頁2。」欄14行～17行「本発明においては,表示面の表示側にマイクロレ ),ンズアレイを配し,マイクロレンズアレイにより形成された表示面と共役な面近傍に拡散素子を配置したので,画像のボケを引き起こさずに液晶表示装置の視野角依存性を減らすことができる(2頁2欄29行～。」33行「共役面に拡散板21を配置し,視野各依存性の高い表示光を ),図示のように広い角度に拡散させるようにすることにより,視野角依存性が少なくなり,かつ,拡散板21が配置されている面が画素表示面と共役な面であるため,表示画像がボケない(3頁3欄15行～20 。」行「回折格子は,拡散光の方向を制御できるので,拡散板21として ),はより効果的である(3頁3欄25行～26行)と記載されている。。」上記記載によれば,乙3には,液晶ディスプレイに関する発明が記載され,同発明は,画像のボケを引き起こさずに液晶表示装置の視野角依, () 存性を減らすという目的をマイクロレンズアレイと拡散素子拡散板を用い,拡散板により視野角依存性の高い表示光を拡散させることにより,実現するものである。
, , 乙3記載の発明において回折格子を用いてもよいとされているのは乙1の場合と同様に,多少なりとも光を広げる機能を有する光学素子であれば,同発明の目的が当然に達せられるからにすぎない。
(エ)乙4には高出力大口径のレーザビームの不均一な光強度を光散乱 ,「体で均一にし,小数回のレーザビーム照射における光記録媒体の反射率分布を改善して,生産性の良好な光記録媒体初期化方法を提供することを目的としている(3頁3欄3行～7行「光散乱体34は,上記光。」),散乱粒子や表面に形成した凹凸等の粗さを用いたものに限るものではなく,例えば,一軸に垂直な方向にのみ光を散乱する回折格子であってもよい(7頁12欄4行～7行)と記載されている。。」上記記載によれば,乙4には,光記録媒体の初期化に関する発明が記載され,光散乱体により入射レーザビームよりも出射レーザビームが均一化されるために,同発明の目的が達せられる。
同発明において,回折格子を用いてもよいとされているのは,回折格子も光散乱体と同様に入射レーザビームよりも均一化されたレーザビームを出射するという機能を有する点で共通し,同発明の目的が当然に達せられるからにすぎない。
(オ)乙5には本発明は新規な液晶表示素子およびそれを用いた液晶 ,「,表示装置に関する(3頁3欄35行～36行「光散乱特性が高く, 。」 ),駆動電圧が低く,明るくコントラスト比が高く階調性に優れ,かつ階調表示しても表示が反転することがない新規な構成のLCDを提供することを目的とする(4頁5欄46行～49行「本発明のLCDは,各。」 ),画素において実効的に一様な分子配列とすることにより光透過状態を実現し,また,2種以上の電界方向をもって,屈折レンズ効果や回折格子効果を得ることにより,光散乱状態を実現する。ここで,屈折レンズ効果とは,液晶層厚方向に液晶分子が連続的に傾きを変え液晶層の屈折率が連続的に変化することにより入射した光を屈折させる効果をいう。また,回折格子効果とは,液晶分子の異常光屈折率neと常光屈折率nｏとが液晶平面において,規則的に交互に出現することにより,液晶層に回折格子が形成され,その結果平行光が散乱する効果をいう(5頁7。」欄47行～8欄7行)と記載されている。
上記記載によれば,乙5には,新規な液晶表示素子を用いた液晶表示装置が記載されているにすぎず,散乱板や散乱板と回折格子の置換については,記載・示唆がない。
なお,乙5にいう「回折格子効果」は,特に定義された上で使用されており,同号証に係る出願人が独自に用いた用語である。
ウなお,乙1ないし5に基づく被告の主張は,審決の理由とは異なる新たな拒絶理由の主張というべきであり,許されない。
第4取消事由に係る被告の反論審決の認定判断に誤りはなく,原告主張の取消事由はいずれも理由がない。
1取消事由1(一致点の認定の誤り・相違点の看過)に対し(1)本願明細書の請求項1の記載において「装置の特性」がどのような特性 ,をいうのかまたスキャンステップで得られた情報からどのようにして ,,「」「装置の特性」を決定するのかは,何ら限定されていないから,本願第1発「」, , 明にいう装置の特性とは装置の特性であればどのようなものでもよく例えばNA絞り自体のサイズと形状を測定することも本願第1発明にい ,「」う「装置の特性を決定する」ことに含まれる。
そして,引用発明において瞳上照度分布検出ユニットにより「照度分布を検出することは瞳と NA絞りとが同義であることに照らせば本」,「」「」 ,願第1発明において「NA絞り自体のサイズと形状を測定」することに相当するものであり上記のとおりNA絞り自体のサイズと形状を測定する ,,「」ことは本願第1発明にいう「装置の特性を決定する」ことにほかならないから引用発明における｢照度分布も本願第1発明にいう装置の特性に相 , 」「」当するということができる。
したがって引用発明の｢照度分布を検出する｣ことが本願第1発明の｢装置 ,の特性を決定する｣ことに相当し両発明が装置の特性を決定する点にお ,「」いて一致するとした審決の認定に誤りはない。
(2)原告は本願第1発明にいう装置の特性とは回折格子を利用して決 ,「」,定されるべき装置の特性であって,具体的にはレンズの透過度の角度依存性を意味するものであると主張する。
しかし,以下のとおり,原告の上記主張は失当である。
本願明細書の段落【0064】における「回折素子(点,格子,散光器などとの記載段落 0085 における従属点格子または散光器など )」,【】「,の回折素子」との記載によれば,本願第1発明における「回折格子」は,散光器程度のものであるから,当該「回折格子」が,散光器に比べ回折格子特有の「装置の特性を決定する」ことができるとはいえない。
また,本願明細書における,段落【0059】の「この原理の別の実施形態を図7に示す。非透過的な領域22によって囲まれたピンホール21は十分に定義された回折を生成する透過,非透過の交互の縞を含む格子24を含む。図8は図7の格子-ピンホール21,22,24から生じる投影レンズ内のひとみ平面での回折パターンを示す。図8で,ひとみはNA絞り25によって境界を付けられている,段落【0060】の「NA絞りのサイズと。」大きさとを突き止めるだけでなく,この構成を用いて角度に依存するレンズ透過度を測定することができる。0次元の各点の強度と1次元のそれに対応する点の予測される割合は格子の回折効率から知られている。実際の強度率を測定することで,予測率からの偏差を計算でき,異なる角度のレンズ透過度が得られる」の各記載及び図8によれば「回折格子」を用いて角度に依。 ,存するレンズ透過度を測定するためには1次元回折ビーム27 が NA ,「」「絞り」の中に入ることが必要であるところ,回折格子であれば当然に上記条件を満たしているとはいえないし,上記条件が「装置の特性を決定する」という請求項1の記載から自明であるともいえない。
そうすると,原告の主張は,本願明細書の段落【0060】の「NA絞りのサイズと大きさとを突き止める」との記載に続いて例示された技術手段,,「」すなわちこの構成を用いて角度に依存するレンズ透過度を測定することが可能な場合にのみ成立する事項を前提とした主張であるから,失当であるといえる。
2取消事由2(相違点3の容易想到性の判断の誤り)に対し(1)ア原告は本願第1発明の回折格子は散光器程度のものとはいえ ,「」「」ず,審決が「本願第1発明における『回折格子』は,本願明細書【0064】段落等を参照すると,散光器程度のものであ(る(審決書9頁19)」行～20行)と認定したのは,誤りである旨主張する。
しかし,以下のとおり,原告の上記主張は失当である。
, , 審決の上記説示は回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光1次回折光等として,それぞれ異なる方向に光を「散乱」又は「散光」させることは当業者において明らかであり,また,回折格子の使い方は光を散乱させることも含め種々あるところ,本願第1発明における回折格子の使い方は,請求項1には明示されていないが,本願明細書の段落【0064 の回折素子点格子散光器などとの記載回折格子と散】「(,,)」(「」「光器」が同列に記載されている,段落【0060】の「NA絞りのサイ。)ズと大きさとを突き止める」との記載,及び段落【0066】の「3.N。」,, A絞り自体のサイズと形状を測定できるとの記載に照らし 0次回折光1次回折光の強度比の測定を要しない,光を散光させる散光器程度の使い方であることを認定したものである。
【】「(, 本願第1発明の構成及び本願明細書の段落 0064 の回折素子点格子,散光器など,段落【0085】の「従属点,格子または散光器な )」どの回折素子などの記載からみて審決は回折格子と散光器が」,,「」「」等価なものであると認定したのではなく,回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光 1次回折光等としてそれぞれ異なる方向に光を散 ,, 「乱」させることは当業者において明らかであるから,本願第1発明の回折,, 格子が散光器程度のものであると認定したのであり前記1(2)のとおり本願第1発明の「回折格子」を,本願明細書の段落【0060】に例示された「角度に依存するレンズ透過度を測定する」技術手段の作用効果を有するものに限定しなければならない理由はないから,審決の認定に誤りはない。
イ原告は本願第1発明は回折格子により投影ビームを0次回折光と ,,「」1次回折光に分離し,両者の強度比に基づいて,投影光学系のレンズ透過度を測定することができるものであって,本願第1発明の「回折格子」には,レンズ透過度を測定可能にするという,引用発明の「散乱板」とは異なる技術的意義が存在するから,本願第1発明の「回折格子」は引用発明の「散乱板』程度のもの」とはいえないと主張する。『しかし,投影ビームの0次回折光と1次回折光の強度比に基づいて投影光学系のレンズ透過度を測定するという原告の主張は,本願第1発明の構成に基づかないものであり,失当である。
ウ原告は,引用発明の「散乱板」を「回折格子」に単に置き換えたとしても,入射瞳径の測定という引用発明における「散乱板」の使用目的を達することはできず,置き換えることを阻害する要因がある旨主張する。
しかし,以下のとおり,原告の上記主張は失当である。
回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光,1次回折光等として,それぞれ異なる方向に光を「散乱」させることは,当業者において明らかであり,回折格子を用いて入射瞳の周縁部で光束を切り取るように入射瞳の周縁部に光束が重畳されるように照射し,入射瞳径を測定することは当業者が容易になし得たものといえるから回折格子を散乱板に ,「」「」代え,入射瞳径を測定することに阻害要因はない。
また,本願明細書では,段落【0064】の「回折素子(点,格子,散光器などとの記載段落 0085 の従属点格子または散光器な )」,【】「,どの回折素子」との記載に示されるように「回折格子」が「散光器 (実 ,」質的に散乱板といえるの機能を有することを認識しておりこの点「」。) ,からも阻害要因はないといえる。
なお,原告は,回折格子は光を0次回折光等に分離する分離器であるから,当業者はわざわざ光を広げるためにこれを用いない旨主張するが,本願明細書の段落【0064】及び【0066】には「回折)格子」を含 ,(む回折素子を用いてNA絞り自体のサイズと形状を測定する旨の「」,「」記載があるから,原告の上記主張は本願明細書の記載と矛盾するものであり,根拠がない。
エ原告は,本願第1発明はレンズ透過度の角度依存性という新たな特性を簡易に測定することができるという顕著な作用効果があり,本願第1発明の作用効果は引用発明の作用効果から当業者が予測できる範囲のものということはできない旨主張する。
しかし,原告の上記主張は,本願第1発明の測定対象がレンズ透過度であって,その測定原理は回折格子により得られる0次回折光と1次回折光の強度比によるという,本願第1発明の構成に基づかない主張を前提とするものであるから,失当である。
(2)回折格子が当該回折格子に入射した光を0次回折光,1次回折光等として,それぞれ異なる方向に光を「散乱」させるものであることは,特開平5-72525号公報(乙1 ,特開平6-44813(乙2 ,特開平7-1 ) )04276号公報乙3特開平10-11752号公報乙4 及び特開 (), ()平8-160442号公報(乙5)の記載からも,明らかである。
ア乙1の「この拡散板3に対向するように配置された蛍光灯13及び凹面鏡状の反射板14等からなるバックライト4と,上記カラー液晶パネル2の前面に配置され,前面に微小複眼レンズ効果のある散乱面5aを有した透過形の散乱板(散乱素子)5とを備えている(4頁右欄28行～33 。」行「散乱素子として散乱板を用いたが,回折格子等の他の散乱素子を用 ),いてよい5頁左欄20行～22行との記載及び第6図には回折格。」(),「子」を「散乱板」と同様に用いることが示されている。
イ乙2の回折光学素子が散乱素子22として形成され3頁右欄48行「」(～49行との記載及び第3図には回折格子を散乱素子として用 ),「」「」いることが示されている。
ウ乙3の「微細周期で周期的に並べた回折格子は,拡散光の方向を制御できるので,拡散板21としてはより効果的である(3頁左欄24行～2 。」6行「図4において,拡散板21として図2に示したような回折格子を ),用い (3頁左欄50行～右欄1行」との記載及び第4図には,光を拡散」 )させるために「回折格子」を用いることが示されている。
エ乙4の「光散乱体34は,上記光散乱粒子や表面に形成した凹凸等の粗さを用いたものに限るものではなく,例えば,一軸に垂直な方向にのみ光を散乱する回折格子であってもよい(7頁右欄4行～7行)との記載及。」び第1図には「回折格子」により光を散乱させることが示されている。 ,オ乙5の「本発明のLCDの散乱像は,屈折効果と回折格子効果とを利用しているため光が一定の角度に回折され点状散乱像となる(10頁右欄。」3行～5行との記載及び第11図には回折格子により光を散乱させ ) ,「」ることが示されている。
第5当裁判所の判断1取消事由1(一致点の認定の誤り・相違点の看過)について引用発明の「照度分布を検出する」ことが本願第1発明の「装置の特性を決定する」ことに実質的に相当するとした審決の認定の当否について,以下のとおり判断する。
(1)本願第1発明について原告は,本願第1発明にいう「装置の特性」とは,回折格子を利用して決定されるべき装置の特性であって,具体的にはレンズの透過度の角度依存性を意味するものである旨主張する。
しかし,以下のとおり,原告の上記主張は失当である。
ア請求項1の記載及び発明の詳細な説明の記載本願明細書の特許請求の範囲(甲3)の請求項1の記載は,前記第2,2のとおりである。また,本願明細書の発明の詳細な説明(甲1,4)には,次の記載がある。
「【】 , (ア)0010 この方法では投影システム内のひとみの特性を決定し装置の角強度分布特性を決定することができる」。
0014 大きい角度で放射を回折することで NA絞りのサイズと「【】 ,形状を決定できる。回折効果の代わりに,放射の散乱または拡散を用いて大きい角度の放射を生成することができる。放射の散乱は,例えば,投影ビームが粗い表面を横切る時に発生する。同様に,放射の拡散は,例えば,投影ビームが半透明の素子を横切る時に発生する。
【0015】好ましくは,前記装置の前記特性は少なくとも,前記装置のひとみについて,NA絞りに関する角強度分布の形状,対称,精密構造および/またはセンタリングと,前記装置内のNA絞りの形状および/またはサイズと,前記投影システム内の放射伝達の角依存性と,マスク平面および/または基板平面における角強度分布と,前記装置内の光学構成要素の位置合わせ,特に放射源の位置および角合わせと,マスク平面および/または基板平面内の異なる位置,および/または前記装置, 。」の異なる照明設定でのいずれか1つのまたは複数の上記特性を含む(イ)0057 本発明の実施形態の別の光学的特徴はスポットもピ「【】 ,ンホールも透過性が一様の領域である必要はないということである。非,, 一様な透過性を散乱を含む回折効果を達成するために使用して例えば投影レンズ内の前記NA絞りの設定を測定することができる。その名前からして当然,NA絞り(の設定)はひとみの縁部と投影レンズを通過できる最大角光線を画定する。NA絞りの設定はNA絞りが照射される場合にのみ測定できる。したがって,大きい角度の放射が必要で,本発明によるこれを生成する1つの方法はレチクル・レベルでの回折による方法である。
【0058】例えば,図6に示すように,非透過領域22によって囲まれたピンホール21は従属の非透過的な点23を含む。この例では,点23はランダムな配列に置かれている。従属点23は放射の波長にほぼ。 , 等しいサイズである点によって衝突する放射は広範囲の角度に回折し投影レンズ内のひとみ全体を照射して測定することができる。図6は原寸ではない。好ましい実施形態では,ピンホール21の直径は約25μ,.。, mで各点23の直径は0 2μmの領域内にある別の実施形態では散光器をピンホールと併用して点23のように大きい角度の放射を得る」。
(ウ)0059 この原理の別の実施形態を図7に示す非透過的な領「【】。
域22によって囲まれたピンホール21は十分に定義された回折を生成する透過,非透過の交互の縞を含む格子24を含む。図8は図7の格子-ピンホール21,22,24から生じる投影レンズ内のひとみ平面での回折パターンを示す。図8で,ひとみはNA絞り25によって境界を付けられている。0次元ビーム強度分布26はピンホールが位置するレ。, チクル平面上に当たる投影ビーム放射の角分布に対応するこの図では見やすくするために0次元ビームは小さく示している。実際には,0次元ビームは1次元回折ビーム27と重畳することがあり,1次元回折ビーム27はNA絞りの周縁部25に重畳することがある。ビーム26,27が環状などになるように異なる照明設定を用いることもできる」。
「【】 , (エ)0060 NA絞りのサイズと大きさとを突き止めるだけでなくこの構成を用いて角度に依存するレンズ透過度を測定することができる。0次元の各点の強度と1次元のそれに対応する点の予測される割合は格子の回折効率から知られている。実際の強度率を測定することで,予測率からの偏差を計算でき,異なる角度のレンズ透過度が得られる。
回折パターンと照明設定を変更することで,レンズ透過度の角依存を1つの視野点で決定できる。測定は多数の視野位置,すなわち,レチクル平面の異なる位置のピンホールに対応する位置で実行できる。
【0061】あるいは,角分布はレチクルおよびウエハ・レベルの両方で測定できる。レンズの拡大率を考慮した両方の測定値の差が角依存レンズ透過度を与える」。
(オ)0065 本発明の実施形態の1つの動作モードは図5に示す線「【】スキャンを実行して角強度分布情報を得ることである。本発明の実施形態による別の動作モードは焦点が外れる距離DFでｘ-ｙ平面上でセンサをスキャンすることである。そのようなプロットの図を図9に示す。
これは投影レンズ系内のひとみ平面での強度分布の像に対応する。図9は高い,また低い強度を備えた別の縞を含むひとみでの空間強度分布内の精密な構造を明らかに示す。
【0066】これらの動作モードのいずれかによって,以下の項目について情報を決定できる。1.精密構造を含むひとみでの放射分布の形状と強度を含むひとみの対称性。2.NA絞りに関する角強度分布のセンタリング。3.NA絞り自体のサイズと形状を測定できる。4.角依存レンズ透過性も測定できる。5.照明システム内の特定の欠陥に特徴的な特定のエラー。例えば,放射システムまたは投影システムのひとみの近位側の平面で,投影ビーム断面は円形ではなく楕円形であるか,投影ビーム断面内の投影ビームの強度分布は,例えば,円対称ではなく楕円。「」対称であることがある両方のタイプのエラーは投影ビームの楕円率または単に「楕円率エラー」と呼ばれる。楕円率エラーはインテグレー, 。タのロッドの汚れか照明装置内の他の光学素子内の欠陥の結果である楕円率エラーの詳細については,例えば,本明細書に参照によって組み込まれた欧州特許出願第01305740.1号を参照されたい。
【0067】上記測定の各々は複数の視野位置で実行して,例えば,視野内の角強度分布の変動を測定することができる。
【0068】これを実行する1つの方法は,レチクルの異なる所望の視野位置に1つずつ,複数のピンホールを提供することである。レチクルが投影レンズ系の入口に配置された場合,投影レンズはウエハ・レベルのスポットのセットとしてこれらのピンホールの各々の像を生成する。
あるいは,レチクルをウエハ・レベルに配置して直接スポットを形成することもできる。次いで,専用のセンサまたは以前からある透過像センサTISなどのセンサを用いて各スポットから焦点を外れた位置にある測定値を得ることができる。単一のセンサは各スポットの遠視野パターンを順次スキャンして,かつ/またはピンホールとスポットの異なる視野位置に対応する複数のセンサを提供できる。
【0069】これらの測定の後で,リソグラフィ投影装置に修正を加えて最適でない位置合わせオブジェクト対称性を補正することができる。
例えば,ひとみでの強度分布は理想的にはひとみの中心を横切る軸を中心にしたミラー対称である。ひとみ像の精密構造を決定することで,ソフトウェア・アルゴリズムを用いて任意の非対称性を検出し,対称性を最適化するビーム操縦でこれを補正することができる。これによって投影された像の忠実度とオーバレイ性能の両方を向上させることができる」。
イ「装置の特性」の意義について(ア)請求項1及び発明の詳細な説明における上記アの各記載によれば,本願第1発明はスキャンステップで得られた情報から前記装置の特性 ,「」,「」, を決定するステップを有するものでありスキャンステップとは回折格子を含むピンホールを用いて形成したスポットを焦点位置の外に置かれた単一のスポットセンサの1つのピンホールで前記スポット又は前記スポットの像から焦点を外した放射の強度の空間変動を測定するためにセンサをスキャンするものであることが理解できる。
,,「」 , 前記ア(ア)の記載によれば発明の詳細な説明では装置の特性は少なくとも前記装置のひとみについて NA絞りに関する角強度分布 ,「 ,の形状,対称,精密構造および/またはセンタリングと,前記装置内のNA絞りの形状および/またはサイズと,前記投影システム内の放射伝達の角依存性と,マスク平面および/または基板平面における角強度分布と,前記装置内の光学構成要素の位置合わせ,特に放射源の位置および角合わせと,マスク平面および/または基板平面内の異なる位置,および/または前記装置の異なる照明設定でのいずれか1つの,または複数の上記特性を含む」とされていることが理解できる。
前記ア(イ)の記載によれば,発明の詳細な説明では,NA絞りの設定を測定するために,大きい角度の放射を,レチクル・レベルでの回折による方法により得ることができること,及び,ランダムな配列の放射の波長にほぼ等しいサイズの非透過的な点を含むピンホールにより,広範囲の角度に回折させて,投影レンズ内のひとみ全体を照射して測定することができるとされていることを理解することができる。
前記ア(ウ)の記載によれば,発明の詳細な説明には,回折を生成する透過,非透過の交互の縞を含む格子を含むピンホールから生じる投影レンズ内のひとみ平面での回折パターンにより,NA絞りのサイズと大きさを測定することができるとともに,角度に依存するレンズ透過度を測定することができることが示されている。
前記ア(オ)の記載によれば発明の詳細な説明には焦点が外れる距 ,,「離DFでｘ-ｙ平面上でセンサをスキャンすることにより1 精密」,「.。 . 構造を含むひとみでの放射分布の形状と強度を含むひとみの対称性 2NA絞りに関する角強度分布のセンタリング。3.NA絞り自体のサイズと形状を測定できる。4.角依存レンズ透過性も測定できる。5.照明システム内の特定の欠陥に特徴的な特定のエラー」を測定することが示されている。
,「」 ,「, (イ)上記によれば本願第1発明にいう装置の特性は少なくとも, ,, 前記装置のひとみについて NA絞りに関する角強度分布の形状対称精密構造および/またはセンタリングと,前記装置内のNA絞りの形状, , および/またはサイズと前記投影システム内の放射伝達の角依存性とマスク平面および/または基板平面における角強度分布と,前記装置内の光学構成要素の位置合わせ,特に放射源の位置および角合わせと,マスク平面および/または基板平面内の異なる位置,および/または前記装置の異なる照明設定でのいずれか1つの,または複数の上記特性を含むものであるということができ角依存レンズ透過性という特性に」,「」限定されるものではなくNA絞り自体のサイズと形状の測定などを ,「」含む意味であると判断することができる。
(2)引用発明について引用例1(甲2)の記載(3頁左上欄19行～左下欄9行,4頁右上欄13行～5頁左上欄2行,第2図,第5図～第9図)に基づいて,審決が認定した引用発明前記第2 3(1) の内容に誤りがないことは原告の認める (,) ,ところである。
引用例1には審決の摘記するとおり第5図・・・ではレチクル13 ,,「,として第19図(a(b)に示すようにガラス板29に形成されたクロム ),膜28にピンホール12のパターンを複数個又は,1個形成されたものを使用する(4頁右上欄14行～20行「第5図のレチクル13の上に,す。」 ),。, りガラス又は散乱板17が挿入できるようになっている第7図に示す様に, , レチクル13上にすりガラス17を挿入するとこのすりガラス17により照明系7からの光が散乱して大きく広がるためレチクル13上のピンホール12を通った光は,縮小レンズ2の入射瞳9の径Diよりも大きい光束46となり該入射瞳9の全開口面積を通って縮小レンズ2に入射する・・・こ , 。
れから入射瞳9の径Diに対応するセンサ面上での径D が求められる4ｏ。」(頁左下欄18行～右下欄12行との記載のほか第2図にこの構成を用い ),「た測定方法を示す。まず,縮小レンズ2の入射瞳9全体を通る最大光束10は第2図に破線で示すようになるが,実際に照明系7から出る照明光束11は斜線を付して示したようになる。この照明光束11を瞳上照度分布検出ユニット8のピンホール3を通し,一定距離h離れた位置で観察することにより縮小レンズ2の入射瞳9上の照度分布に相当する照度分布を測定することができる。したがって,2次元光センサを配置し,この照度分布を取り込む事により,第3図に示す外周42を持つ入射瞳9上の光源の像43が得られ。 () , るこれから縮小レンズ2の入射瞳に対応する大きさD=D=Dとｏｏｘｏｙ測定により求めた光源像43の大きさd から前掲の式 1 により部分的コ e ()ヒーレンシ(σ値)を求め,またその重心を求めることにより,光源像の中心ずれ量C,C(テレセン度)を求めることが可能となる(3頁右下ｏｘｏｙ。」欄11行～4頁左上欄7行)との記載がある。
引用例1の上記記載によれば,引用発明は,照度分布を検出することにより入射瞳の径Diと形状に対応するセンサ面上での径D と形状を求めるも ,ｏのであることが認められる。
なお引用発明における｢入射瞳の径Diに対応するセンサ面上での径D ｣ ,ｏは,本願明細書の発明の詳細な説明にいう「NA絞り自体のサイズ」に相当すると認められる。
(3)本願第1発明と引用発明との対比本願第1発明にいう「装置の特性」は,前記(1)のとおり「角依存レンズ ,」 ,「」透過性に限定されるものではなくNA絞り自体のサイズと形状の測定などを含む意味であるところ引用発明は前記(2)のとおり照度分布を検 ,,,出することにより入射瞳の径Diと形状に対応するセンサ面上での径D と ,ｏ形状を求めるものであり,また,引用発明における「入射瞳の径Diに対応するセンサ面上での径Dは本願明細書の発明の詳細な説明にいう NAｏ」 , 「絞り自体のサイズ」に相当するから,引用発明は,照度分布を検出して得られた情報から,装置の特性の1つである入射瞳の径と形状を決定するステップを備えているものということができ,引用発明の上記ステップは,本願第1発明にいう「前記スキャンステップで得られた情報から前記装置の特性を決定するステップ」に相当するものと認められる。
審決は,本願第1発明と引用発明とを対比して,引用発明の「照度分布を検出する」ことは本願第1発明の「装置の特性を決定する」ことに実質的に相当すると認定しているところ引用発明が照度分布を検出することに ,,「」,「」 , より装置の特性を決定するものといえることは上記のとおりであるから審決の認定は,これを是認することができる。
なお,原告は,本願第1発明にいう「装置の特性」が「回折格子を利用することで決定される」ものであるのに対し,引用例1には「回折格子を利用する」ことは何ら開示されていない旨主張する。しかし,審決は,相違点3として,本願第1発明が「ピンホールの回折格子に用いる前記放射スポットを回折するステップ」を有するのに対して,引用発明がそのような手順を備えていない点を認定し,この点に関する容易想到性を判断しているのであるから,原告の上記主張は,その前提において失当である。
2取消事由2(相違点3の容易想到性の判断の誤り)について, ,「」 (1)以下のとおり引用例1に接した当業者が引用発明における散乱板に代えて「回折格子」を用いることは,容易になし得たものということができる。
ア引用発明について前記1(2)のとおり,引用例1には「レチクル13上にすりガラス17 ,を挿入することにより照明系7からの光を散乱させて大きく広げる」,「」こととなり,その結果「レチクル13上のピンホール12を通った光」が「縮小レンズ2の入射瞳9の径Diよりも大きい光束46となり,該入射瞳9の全開口面積を通って縮小レンズ2に入射する」ようになることで,入射瞳径Diに対応するセンサ面上での径D が測定できることが記載「」ｏされていることからすれば,引用発明の「散乱板」が,通常使用時には,縮小レンズ2の入射瞳9の径Diよりも小さなスポット光束を広げることで,Diよりも大きな光束となるようにする機能を奏するものであることは明らかであり散乱板でなくとも当該機能を奏する光学要素を用い ,「」,れば,同様の測定を行うことができることは,当業者にとって明らかというべきである。
イ本願の優先日当時の技術水準について(ア)乙1(特開平5-72525号公報)には,次の記載がある。
「 0001 【産業上の利用分野】この発明は,マトリックス形液晶【】ディスプレイ(LCD)の各画素間に形成された編目状のブラックストライプ部分(ブラックマトリックス)等の複数の輝度情報出力素子の各素子の境目を目立ちにくくする輝度情報出力装置並びに該装置を用いるカメラ装置及び映像表示装置に関する」。
「 0005 【課題を解決するための手段】この発明の輝度情報出力【】装置は,輝度情報を所定範囲単位毎に出力する複数の輝度情報出力素子と,この複数の輝度情報出力素子の前面に配置され,その各素子より出力される上記輝度情報を各素子の実質面積よりも散乱させる散乱素子とからなり,上記散乱素子は上記複数の輝度情報出力素子の各素子の境目に上記輝度情報を散乱するように構成してある」。
0027 図6は前記輝度情報出力装置1をビデオカメラカ「【】, ,() 。メラ装置 10のビューファインダー11に適用した他の実施例を示す【0028】このビューファインダー11の筒状のビューファインダー本体11aは,撮像素子(図示せず)を有するカメラ本体10aの上面に対して傾倒自在に設けてある。このビューファインダー11のビューファインダー本体11aには,上記撮像素子より得られる映像情報を出力する液晶ディスプレイ12を内蔵してある。この液晶ディスプレイ12は,前,後面に偏光板2A,2Bを取付けた透過形のカラー液晶パネル(複数の輝度情報出力素子)2と,このカラー液晶パネル2の後面側に配置された拡散板(白濁板)3と,この拡散板3に対向するように配置された蛍光灯13及び凹面鏡状の反射板14等からなるバックライト4と,上記カラー液晶パネル2の前面に配置され,前面に微小複眼レンズ効果のある散乱面5aを有した透過形の散乱板(散乱素子)5とを備えている。尚,接眼レンズ6は視度調節レバー16により前後方向に移動自在に設けられている。また,図6中,符号11bはアイカップである」。
0033 尚前記各実施例によれば散乱素子として散乱板を用「【】 ,,いたが,回折格子等の他の散乱素子を用いてよい」。
上記記載によれば,乙1には,液晶パネルの輝度情報を素子の面積よりも拡大するため,すなわち「光を広げる機能」を有する透過型の光散乱素子として透過型の回折格子を用いることが開示されていると認 ,「」められる。
(イ)乙2(特開平6-44813号公報)には,次の記載がある。
「 0001 【産業上の利用分野】本発明は,照明装置であって,光【】源とリフレクタとが設けられていて,該リフレクタによって,光源から放射された光線が反射されるようになっており,さらに透光板と,リフレクタによって反射された光線の光路に位置する,この光線の散乱および/または変向のための光学素子とが設けられている形式のものに関する」。
0002従来の技術・・・この公知の前照灯では一般にそう「【】【】 ,であるように光学素子が設けられており,この光学素子は光源から放射されてリフレクタによって反射された光線の光路に配置されている。この光学素子によって,光源から放射された光線およびリフレクタによって反射された光線は変向させられ,かつ/または散乱させられ,この場合,この光線は所望の配光を形成する。光学素子はプリズムおよび/またはレンズとして構成されていて,透光板に配置されている。この光学素子は場合によってはかなりの厚さを有しており,これによって透光板の重量が高められてしまう。さらに,前記光学素子は透光板の向き,つまり傾斜および/または旋回に正確に適合されていなければならないので,種々の異なる前照灯に合わせて,光学素子も同じく種々に構成されていなければならない。また,透光板も種々の形状,たとえば方形または円形の形状を有していることに基づき,透光板を製造するためには種々の異なる成形工具が必要となる。この成形工具はその都度光学素子を透光板に加工成形するので,極めて不経済なものである。したがって,, , あらゆるタイプの前照灯に対してそれぞれ専用の透光板が必要となりひいては大きな製造手間がかかってしまう」。
「 0003 【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は,冒頭【】で述べた形式の照明装置を改良して,比較的軽量に形成されていて,しかも製造の手間が軽減されているような照明装置を提供することである。
0004課題を解決するための手段この課題を解決するために本【】【】発明の構成では,前記光学素子が回折光学素子として構成されていて,全体的に回折格子を形成しており,該回折格子が,透光板とは別個の部分に構成されているようにした」。
0010 光源10から放射された光線とリフレクタ12によっ「【】 ,て反射された光線の光路には,回折格子18が配置されている。この回折格子18は回折光学素子を有しており,この回折光学素子によって,透過光に影響が与えられる。回折光学素子は,たとえばマイクロプリズムおよび/または線格子として形成されている」。
0017 図3には同じく図1に示した回折格子18の部分的な「【】,拡大図が示されているが,この場合,図2に示した範囲とは異なる範囲が図示されている。この部分の範囲では,回折光学素子が散乱素子22として形成されており,この散乱素子によって,光線は前記散乱素子に対して垂直に位置する平面に散乱される。散乱素子22は全体的に線格子を形成していて,リブの形状を有している。これらのリブは基面から突出しており,この場合,前記リブは方形または丸みを帯びて形成されていてよく,各2つのリブの間の鉛直方向の間隔は格子定数dを成しており,間隔dに対して垂直な方向におけるリブ22の延び長さは数倍分も大きく形成されている。格子定数dはλ≦d≦100・λの範囲にある。このような散乱素子22によって,分散する光束が形成される。光線強度は多数の回折次数に分割されるので,1平面内に位置する角度範囲内に均一な強度分布が生じる。照明装置が自動車の前照灯として使用される場合,散乱素子22は,その大きい方の延びがほぼ鉛直方向に延びるように配置されていると有利である。その結果,このような延びに基づき,水平平面内における光線散乱が生ぜしめられる。散乱素子22の格子定数dはマイクロプリズム20の場合と同様に可変であってよく,これによって,種々の異なる散乱角を実現することができる。付加的に,可変の格子定数dに基づき,回折次数の融合が得られる」。
,, , 上記記載によれば乙2には透過型の回折格子を用いることにより光線を1平面内に位置する角度範囲内に均一な強度分布が生じるように散乱させることができることが開示されており,光を広げる散乱素子として透過型の回折格子を用いることが開示されていると認められる。
(ウ)乙3には,次の記載がある。
「 0001 【産業上の利用分野】本発明は,液晶表示装置に関し, 【】特に,表示画像のボケを生じさせずに視野角依存性を減らした液晶表示装置に関する」。
「 0011 ・・・この画像が形成されている共役面に拡散板21を【】配置し,視野各依存性の高い表示光を図示のように広い角度に拡散させるようにすることにより,視野角依存性が少なくなり,かつ,拡散板21が配置されている面が画素表示面と共役な面であるため,表示画像が。,, , ボケないなお拡散板21としては単にガラス板を砂摺りした物や従来技術で説明した図6のような凹凸部等でもよく,また,その他あらゆる拡散板21が使用できる。また,図2に平面図を示したように,6角形やその他の外形で格子方向も異ならせて微細周期で周期的に並べた回折格子は,拡散光の方向を制御できるので,拡散板21としてはより効果的である」。
上記記載によれば,乙3には「ガラス板を砂摺りした物 ,すなわち , 」すりガラスと同様に広い角度で光を拡散する拡散板として回折「」, ,「格子」を用いることができることが開示されていると認められる。
(エ)上記(ア)ないし(ウ)によれば,本願の優先日当時,透過型の「回折格子」を,光を広げる拡散板として用いることができることは,周知の技術であったことが認められる。
ウ容易想到性について前記アのとおり,引用発明の「散乱板」は,通常使用時において縮小レンズ2の入射瞳9の径Diよりも小さなスポット光束を広げてDiよりも大きな光束となるようにする機能を奏するものであるところ,上記イのとおり,本願の優先日当時,光を広げる「散乱板」として「回折格子」を用いることは周知の技術であったから,引用発明の「散乱板」に代えて「回折格子」を用いることは,当業者であれば,容易に想到し得たと認めるのが相当である。
,「」 ,【】そして本願第1発明における回折格子は本願明細書 0064段落等を参照すると,散光器程度のものであって,散光器を用いた場合に比べ回折格子を用いたことによる特段の意義は認められないから,本願第, ,, 1発明は相違点3に係る構成を有することにより引用発明と比較して格別顕著な効果を奏するものということはできない。
エ以上によれば審決における相違点3の判断は後記(3)のとおり説示に , ,不適切な点があるものの,その結論において相当というべきである。
(2)原告の主張に対しア原告は,乙1ないし5に基づく被告の主張は,審決の理由とは異なる新たな拒絶理由の主張であり,許されない旨主張する。
しかし乙1ないし5は引用発明において散光板に代えて回折 ,,,「」「格子」を用いることの容易想到性を主張するに当たり,その前提となる本願の優先日当時の技術水準を立証しようとするものにすぎず,新たな拒絶理由を構成するものとまではいえない。原告の主張は採用することができない。
イ原告は,?@乙1ないし3には,いずれも引用発明とは技術分野を異にする発明が記載されているにすぎない,?A乙2には,散乱板と回折格子の置換についての言及はない,?B乙1及び3は,光学素子への入射光よりも出射光が少しでも広がっていれば,発明の目的が実現されるのに対し,引用発明では,仮に回折格子を用いたとしても発明の目的を実現できるとは限らない,などと主張する。
しかし,引用発明の「散乱板」が,通常使用時において縮小レンズ2の入射瞳9の径Diよりも小さなスポット光束を広げてDiよりも大きな光束となるようにする機能を奏するものであることは明らかであり「散乱,板」でなくとも,当該機能を奏する「光学要素」を用いれば,同様の測定を行うことができることは当業者には明らかであることは前記(1)にお , ,いて既に説示したとおりであるそして散乱板と回折格子とが入。,「」「」「」「」 , 射光よりも出射光を広げる光学素子である点で共通するものであれば引用発明においても「散乱板」を「回折格子」に置き換えることが容易に想到し得るものといえるのであるから乙1ないし乙3において回折格 ,,「子」が用いられる対象が引用発明とは異なるものであるとしても,上記判断が左右されるものではない。
ウ原告は,引用発明における「散光板」を「回折格子」という全く異なる光学素子に置き換えるに至る動機付けは,引用発明の開示にも技術常識にも存在しないと主張する。
,,,「」しかし前記のとおり本願の優先日当時入射光より出射光を広げる光学素子として透過型の回折格子を用いることができることは周知であり引用発明における散乱板が奏する作用を有する光学素子として回 ,「」「折格子」が良く知られているといえる以上,両者は,その作用,機能にお,「」いて共通するものであるといえるのであって引用発明における散光板を「回折格子」に置き換える動機付けは存在するというべきであるから,原告の主張は採用することができない。
エ原告は,引用発明の「散乱板」を単に「回折格子」に置き換えたとしても,入射瞳の全開口面積よりも大きい光束が得られるとは限らないし,入射瞳の周縁部に光束が照射されるとも限らないから,引用発明の目的を達することができない旨主張する。
しかし,前記のとおり,引用発明において,入射瞳径を測定するに当たり入射瞳の全開口面積よりも大きい光束として,入射瞳の周縁部に光束を照射する必要があることは明らかであるから,回折格子を用いるに当たり, 。そのように調整することは当業者であれば当然考慮する事項にすぎない原告の主張は採用することができない。
(3)審決の説示について審決は相違点3に係る容易想到性の判断について本願第1発明におけ , ,「る『回折格子』は,本願明細書【0064】段落等を参照すると,散光器程度のものであって,散光器を用いた場合に比べ回折格子を用いたことによる特段の意義は認められないから,本願第1発明における『回折格子』は,引用例1に記載された発明の『散乱板』程度のものにすぎず,引用例1に記載された発明の『散乱板』に代えて『回折格子』を用いることに格別の意義はない。したがって,相違点3は,引用例1に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到できたところである(審決書9頁18行～26行)とのみ。」説示する。
しかし,審決の上記説示は,以下のとおりの理由から,特許法29条2項に該当すると判断した論理過程を十分に記載したものとはいえず,適切な説示とはいえない。
審決書においては,本願第1発明が同項に該当することを論理付けるために,まず,本願第1発明と本願の優先日前に公知な特定の発明(引用発明)とが相違する構成部分を明らかにした上で,引用発明と,他の公知な発明又は周知技術等から,当業者において,本願第1発明と相違する引用発明の構成部分を,本願第1発明の構成とする(同発明の構成に換える)ことが容易であるか否かを吟味し,容易であることを論証する(説示する)必要があるといえる本件における論証の対象は引用発明における散乱板を本。 ,「『』 ,願第1発明における『回折格子』とすることが容易であるか否か」であるところ,審決の上記説示を見ると,単に「本願第1発明における『回折格子』は,引用例1に記載された発明の『散乱板』程度のものにすぎず」と述べるだけであって,具体的な理由を何ら記載していない。
したがって,審決の説示内容には不備があるが,前記(1)及び(2)に示した内容に照らして,審決の結論を維持するのが相当であり,取消事由には当たらないものと判断した。
3結論上記検討したところによれば,原告主張の取消事由はいずれも理由がなく,その他,原告は縷々主張するが,いずれも理由がない。また,審決に,これを取り消すべきそのほかの誤りがあるとも認められない。
よって,原告の本訴請求は理由がないから,これを棄却することとし,主文のとおり判決する。

裁判長裁判官	飯村敏明
裁判官	大鷹一郎
裁判官	嶋末和秀

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