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| 事件 |
平成
25年
(行ケ)
10227号
審決取消請求事件
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| 裁判所のデータが存在しません。 | |
| 裁判所 | 知的財産高等裁判所 |
| 判決言渡日 | 2014/09/17 |
| 権利種別 | 特許権 |
| 訴訟類型 | 行政訴訟 |
| 判例全文 | |
|---|---|
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判例全文
平成２６年９月１７日判決言渡 平成２５年（行ケ）第１０２２７号 審決取消請求事件 口頭弁論終結日 平成２６年７月７日 判 決 原 告 ナノフォトン株式会社 訴訟代理人弁護士 生 田 哲 郎 森 本 晋 佐 野 辰 巳 中 所 昌 司 訴訟代理人弁理士 小 野 尚 純 奥 貫 佐 知 子 被 告 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 訴訟代理人弁護士 上 山 浩 中 川 直 政 訴訟 復代 理人 弁 護士 塚 原 朋 一 訴訟代理人弁理士 谷 義 一 梅 田 幸 秀 新 開 正 史 窪 田 郁 大 主 文 特許庁が無効２０１２−８００１８３号事件について平成２５年７月２日に した審決を取り消す。 訴訟費用は被告の負担とする。 この判決に対する上告及び上告受理申立てのための付加期間を３０日と定め る。 事 実 及 び 理 由 第１ 原告の求めた判決 主文同旨。 第２ 事案の概要 本件は，特許無効審判請求の不成立審決に対する取消訴訟である。争点は，@進 歩性判断の誤りの有無及びA明確性要件（平成６年法律第１１６号による改正前の 特許法36条5項2号）違反の有無である。 １ 特許庁における手続の経緯 レニショウ・トランスデューサ・システムズ・リミテッドは，名称を「共焦点分 光分析」とする発明について，平成４年６月８日を国際出願日として特許出願（特 願平４−５１１３０５号） （パリ条約による優先権主張 をし １９９１年６月８日・ 英国，１９９１年１１月１６日・英国，国際公開・ＷＯ９２/０２２７９３，国内公 表・特表平６−５００６３７），平成１４年１２月６日，本件特許の設定登録（特許 第３３７７２０９号，請求項の数１３）を受けた。（甲３０） 被告は，平成２２年１０月２６日，レニショウ・トランスデューサ・システムズ・ リミテッドから本件特許権の譲渡を受けた。（乙１） 被告が，平成２４年７月３日，訂正審判請求（訂正２０１２−３９００８６号， 本件訂正）をしたところ，特許庁は，同年９月１１日，本件訂正を認容する審決を した。（甲３１，３２） 原告が，平成２４年１１月５日付けで本件特許の請求項７〜１３に係る発明につ いての特許無効審判請求（無効２０１２−８００１８３号）をしたところ，特許庁 は，平成２５年７月２日に「本件審判の請求は，成り立たない。」との審決をし，そ の謄本は同月１１日原告に送達された。（甲２３） ２ 本件発明の要旨 本件訂正後の本件特許の請求項７〜１３の発明（以下，請求項の番号に従い「本 件発明７」のようにいう。 に係る特許請求の範囲の記載は， ） 次のとおりである。 （甲 ３０，３２） 「 【請求項７】 サンプルに光を照射して散乱光のスペクトルを得る手段と， 前記スペクトルを分析する手段と， 光検出器と， 前記分析されたスペクトルの少なくとも一つの成分を前記光検出器に通し，前記 サンプルの所与の面から散乱された光を前記光検出器の所与の領域に合焦させ前記 サンプルの他の面から散乱された光を前記光検出器に合焦させない手段と を具備する分光分析装置であって， 前記光はスリットを備えた一次元空間フィルタを通過して第一の次元で共焦点作 用をもたらし， 前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が，前記所与の領域外で受ける光を含 まずに，またはこの光と分離して検出され，前記所与の領域は前記第一の次元を横 切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されており， 前記サンプルの前記所与の面の焦点からの散乱光は，前記スリットにおいてスポ ットとしての焦点に絞り込まれて前記スリットを通過し，前記サンプルの前記所与 の面の前記焦点の前または後で散乱される光は，前記スリットにおいて焦点を結ば ず， 前記サンプルに光を照射するのと，前記サンプルからの散乱光を集光するのとに 同一のレンズが用いられ， 前記光検出器は電荷結合素子であることを特徴とする分光分析装置。 【請求項８】 前記光検出器の前記所与の領域が細長いことを特徴とする請求項７に記載の分光 分析装置。 【請求項９】 前記光検出器の前記所与の領域が前記スリットを横切る方向に延在していること を特徴とする請求項７または請求項８に記載の分光分析装置。 【請求項１０】 前記光検出器はピクセルのアレイを備えたことを特徴とする請求項７から請求項 ９の何れかに記載の分光分析装置。 【請求項１１】 前記所与の領域の前記ピクセルの一部からのデータを選択的にまとめて貯蔵する 手段を有することを特徴とする請求項１０に記載の分光分析装置。 【請求項１２】 前記光検出器はピクセルの二次元アレイを備え，前記アレイにより与えられるイ メージを表すデータを受け，このイメージデータを処理して合焦される前記光を検 出する計算手段を有することを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の分 光分析装置。 【請求項１３】 前記スペクトルがラマン散乱光のスペクトルであることを特徴とする請求項７か ら請求項１２の何れかに記載の分光分析装置。」 なお，本件特許公報（甲３０）の図４を掲記する。 ３ 審決の理由の要点 以下の記述は，審決の趣旨に従い，適宜に用語を言い換えている場合がある。 (1) 甲１発明に対する進歩性 ア 甲１発明の認定 「ＮＡＴＵＲＥ Ｖｏｌ．３４７ Ｎｏ.２０（１９９０）ｐ３０１−３０３の写し」（甲１）には，次の 発明（甲１発明）が記載されている。 「ＤＣＭ色素レーザーからの波長６６０ｎｍのレーザー光を，高開口数の顕微鏡対 物レンズを用いて分析対象の物体に集光し，物体により散乱された光が同じ対物レ ンズにより集められ，共焦点検出を可能とするピンホールを通して，分光器に導入 され，面内空間分解能は，レーザーの集光サイズによって決まり，０.５μｍよりも 小さく，直径１００μｍのピンホールにより深さ分解能は１.３μｍとなり，前記分 光器は，シェブロン型誘導体バンドパスフィルタセットと，波長分散ステージから なり，信号の検出には液体窒素冷却ＣＣＤカメラが用いられる共焦点ラマン顕微 鏡。」 甲第１号証の FIG.１を掲記する。 イ 本件発明７と甲１発明との相違点 (ｱ) 相違点１−1 「空間フィルタ」が，本件発明７では「スリットを備えた一次元空間フィルタ」 であるのに対して，甲１発明では「ピンホール」である点。 (ｲ) 相違点１−２ 本件発明７では， 「前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が，前記所与の領域 外で受ける光を含まずに，またはこの光と分離して検出され，前記所与の領域は前 記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されてお」る のに対し，甲１発明ではそのような構成か否か不明である点。 ウ 相違点の判断 (ｱ) 相違点１−１について 特開昭６３−１３１１１５号公報（甲２）には，@ピンホールの替わりに直交す る２個のスリットとレンズを使用することは記載されているが，A上記@とともに 光検出器において光を分離して検出することまでは記載されていない。 光検出器において共焦点作用をもらたすよう形成することは，本件特許の優先権 主張日（本件優先日）前周知の事項であるといえるが，これは，ピンホール（２次 元の共焦点作用）の代替として用いられているものであり，１次元の共焦点作用を もたらすスリットに替えて，２次元の共焦点作用の代替である光検出器を１次元の 共焦点作用に用い，両者の組み合わせにより２次元の共焦点作用をもたらすことは， 自明でも公知でもない。 そうすると，甲１発明に甲２記載の事項を適用しても，甲１発明の「ピンホール」 が甲２に記載の「２個のスリットとレンズ」に置き換わるだけである。 したがって，甲１発明において，甲２記載の事項を適用して，相違点１−１にお ける本件発明７の構成とすることは，当業者が容易になし得た程度のことであると はいえない。 (ｲ) 相違点１−２について 光検出器において共焦点作用をもたらすよう形成することは，周知の事項である が，ピンホール（２次元の共焦点作用）の代替であり，１次元の共焦点作用をもた らすものではない。 そうすると，甲１発明から本件発明７に到達するには，@甲１発明に甲２発明を 適用して， 「ピンホール」を「２個のスリットとレンズ」に置き換え，さらに，A２ 個のスリットの一方を周知技術である光検出器に置き換えることとなり，２ステッ プの創作行為が必要となる。 したがって，甲１発明において，上記周知の事項を適用して，相違点１−２にお ける本件発明７の構成とすることは，当業者が容易に想到し得る事項であるとはい えない。 (2) 甲２発明に対する進歩性 ア 甲２発明の認定 特開昭６３−１３１１１５号公報（甲２）には，次の発明（甲２発明）が記載さ れている。 「レーザと，該レーザにより出射されたレーザ光を収束させポイントソースとす るための第１のレンズと，このレーザ光を再び収束し，試料をポイントソースの像 面に置くための第２のレンズと，試料を透過したレーザ光を収束するための第３の レンズと，該第３のレンズによる試料の像面に位置し移動可能とした第１のスリッ トと，該第１のスリットを通過したレーザ光を収束するための第４のレンズと，該 第４のレンズによる上記第１のスリットの像面に位置し，上記第１のスリットの方 向と交叉しかつ移動可能とした第２のスリットと，該第２のスリットを透過したレ ーザ光２を検出する光検出器からなる走査レーザ顕微鏡。」 甲第２号証の第１図及び第２図を掲記する。 イ 本件発明７と甲２発明との相違点 (ｱ) 相違点２−１ 「スペクトルを得る手段」が受光するサンプルからの光について，本件発明７で は「散乱光」であるのに対して，甲２発明では「透過光」である点。 (ｲ) 相違点２−２ 「光学装置」が，本件発明７では「スペクトルを分析する手段」を具備し， 「分析 された」 「スペクトルの少なくとも一つの成分を前記光検出器に通」す「分光分析装 置」であるのに対して，甲２発明では透過型の「走査レーザ顕微鏡」であって「ス ペクトルを分析する手段」を具備しない点。 (ｳ) 相違点２−３ 本件発明７では， 「前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が，前記所与の領域 外で受ける光を含まずに，またはこの光と分離して検出され，前記所与の領域は前 記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されてお」る のに対し，甲２発明ではそのような構成か否か不明である点。 (ｴ) 相違点２−４ 本件発明７では， 「前記サンプルに光を照射するのと，前記サンプルからの散乱光 を集光するのとに同一のレンズが用いられ」るの対して，甲２発明では， 「レーザに より出射されたレーザ光を収束させポイントソースとするための第１のレンズと， このレーザ光を再び収束し，試料をポイントソースの像面に置くための第２のレン ズと」が用いられる点。 (ｵ) 相違点２−５ 「光検出器」が，本件発明７では「電荷結合素子である」の対して，甲２発明で は不明である点。 ウ 相違点の判断 (ｱ) 相違点２−３以外の相違点について いずれも，容易に想到し得る。 (ｲ) 相違点２−３について 光検出器において共焦点作用をもたらすよう形成することは，周知技術であるが， これは，ピンホール（２次元の共焦点作用）の代替であって，１次元の共焦点作用 をもたらすものではない。 そして，甲２発明の２次元空間フィルタのうち第２のスリットのみを変更するこ とについては，第２のスリットが甲２発明の必須の構成の一部であるから，阻害要 因が存在し，また，甲２発明の光検出器は，光が第２のスリットでマスクされてお り，所与の領域外で受ける光も存在していない。 そうすると，甲２発明において，上記周知の事項を適用する場合，第２のスリッ トのみではなく，第１のスリットも置き換えることとなるのが自然である。 そうすると，甲２発明において，第２のスリットのみに上記周知の事項を適用し て，相違点２−３における本件発明７の構成とすることは，当業者が容易に想到し 得る事項であるとはいえない。 (3) 甲３発明に対する進歩性 ア 甲３発明の認定 「ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＲＡＭＡＮ ＳＰＥＣＴＲＯＳＣＯＰＹ，Ｖｏｌ.２２（１９９１）ｐ２１７−２２５の 写し」（甲３）には，次の発明（甲３発明）が記載されている。 「ＤＣＭ色素レーザーからの波長６６０ｎｍのレーザー光が，高倍率の対物レンズ で試料に集光され， レーザー焦点における強度の半値幅は０.５μｍより小さく， 物体からの散乱光はレーザー光を集光したものと同じ対物レンズで集められ対物レ ンズの像面に焦点を結び，この位置に配置されるピンホールを透過した光は正レン ズによって集められ，平行光に変換されシェブロン型バントパスフィルターセット を使用し，レーザーの輝線を１０８-１０９消光でき，その後，格子周波数３００本/ ｍｍ，ブレース波長６００ｎｍ (Ｊｏｂｉｎ Ｙｖｏｎ)のルールドグレーティングが分散に用 いられ，ラマンスペクトルは，焦点距離０.４５ｍの凹面鏡によって，液体窒素冷却 低速走査ＣＣＤカメラ(Ｗｒｉｇｈｔ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ,ＥＥＶ Ｐ ８６０３ ＣＣＤ ｃｈｉｐ)に焦点を 結ぶ共焦点ラマン顕微分光器。」 イ 本件発明７と甲３発明との相違点 (ｱ) 相違点３−１ 相違点１−１と同旨。 (ｲ) 相違点３−２ 相違点１−２と同旨。 ウ 相違点に対する判断 相違点１−１及び相違点１−２の判断と同旨。 したがって，本件発明７は，甲３発明及び他の刊行物に記載された事項に基づい て当業者が容易に発明をすることができたものということができない。 (4) 甲６発明に対する進歩性 ア 甲６発明の認定 「赤外・ラマン・振動[U]１３３〜１４５頁，昭和５８年８月３１日，石谷炯」 （甲６）には，次の発明（甲６発明）が記載されている。 「試料に線形のレーザー光を照射し，散乱光のスペクトルを得る手段と，スリッ トを備えた一次元空間フィルタと，ダイオード・マトリックスあるいはリニア・ダ イオード・アレイとを備え，試料に光を照射するのと，前記試料からの散乱光を集 光するのとに同一のレンズが用いられ，スペクトルおよび位置の情報を比較的速い 時間で得て，得られた信号はコンピュータに取り込んで，積算や背景の除去等の処 理をしてから利用するＭＯＬＥを更に高感度化した第２世代のラマンマイクロプロ ーブと称する装置。」 甲第６号証の図３を掲記する。 イ 本件発明７と甲６発明との相違点 (ｱ) 相違点６−１ 本件発明７では，前記サンプルの所与の面から散乱された光を前記光検出器の所 「 与の領域に合焦させ前記サンプルの他の面から散乱された光を前記光検出器に合焦 させない手段」を備えるのに対して，甲６発明ではそのような手段を備えるか不明 である点。 (ｲ) 相違点６−２ 「スリットを備えた一次元空間フィルタ」が，本件発明７では「前記光はスリッ トを備えた一次元空間フィルタを通過して第一の次元で共焦点作用をもたらし，」 「前記サンプルの前記所与の面の焦点からの散乱光は，前記スリットにおいてスポ ットとしての焦点に絞り込まれて前記スリットを通過し，前記サンプルの前記所与 の面の前記焦点の前または後で散乱される光は，前記スリットにおいて焦点を結ば ず」と構成されているのに対して，甲６発明ではそのような構成を有するか不明で ある点。 (ｳ) 相違点６−３ 「前記サンプルの所与の面から散乱された光を」「合焦させる」「前記光検出器の 前記所与の領域」が，本件発明７では「前記光検出器の前記所与の領域で受ける光 が，前記所与の領域外で受ける光を含まずに，またはこの光と分離して検出され，」 「前記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されて」 いるのに対して，甲６発明では不明である点。 (ｴ) 相違点６−４ 「光検出器」が，本件発明７では「電荷結合素子である」の対して，甲６発明で は「ダイオード・マトリックスあるいはリニア・ダイオード・アレイ」である点。 ウ 相違点の判断 (ｱ) 相違点６−１及び相違点６−４について いずれも，容易に想到し得る。 (ｲ) 相違点６−２について 「 光学要素として『スリットを備えた一次元空間フィルタ』は，…に記載されており，この ような『スリットを備えた一次元空間フィルタ』が，共焦点作用をもたらすこと（は）…技 術常識であるといえる。 また，ラマン散乱光測定装置において，…ラマン分光器の光路前に共焦点作用をもたらす 空間フィルタを設けることも，…に記載されている。 一方，本件発明７(の)…『一次元空間フィルタ』の技術的意義は，共焦点作用であり，… 十分な共焦点作用をもたらすために，そのスリットの幅は，より小さいことが望ましいもの である。 そして，スリットの幅を狭めて，空間分解能を上げ，共焦点作用を生じさせることは，よ り良い精度で測定しようとすることが，一般的な課題であるから，十分な動機付けが有り， 阻害要因も存在しない。 してみると，甲６発明のスリットを備えた一次元空間フィルタを本件発明７と同様の共焦 点作用をもたらすように変更することは，当業者において十分な動機付けが存在し，また， 何ら困難性もなく，容易に想到し得たものといえる。」 (ｳ) 相違点６−３について 光検出器において共焦点作用をもたらすよう形成することは，周知の事項である。 しかしながら， 「リニア・ダイオード・アレイ」を用いた場合，光検出器において 所与の領域外で受ける光が存在しないので，光検出器において共焦点作用をもたら す構成を有しない。また， 「ダイオード・マトリックス」を用いた場合，光検出器に おいて共焦点作用をもたらしていない。 そして，光検出器において共焦点作用をもたらすよう形成することは，周知技術 であるが，これは，ピンホール（２次元の共焦点作用）の代替であって，１次元の 共焦点作用をもたらすものではない。 そうすると，甲６発明において，上記周知の事項を適用して，相違点６−３にお ける本件発明７の構成とすることは，当業者が容易に想到し得る事項であるとはい えない。 (5) 甲１３発明に対する進歩性 ア 甲１３発明の認定 「高感度ラマン分光法の最近の動向と半導体超薄膜への応用，平成１２年，谷野 浩史，天野茂樹」（甲１３）には，次の発明（甲１３発明）が記載されている。 「 試料に光を照射してラマン散乱光のスペクトルを得る手段と， 入口スリットを備えた，前記スペクトルを分析するトリプル・ポリクロメータ と， 信号処理回路系と， ＩＰＤＡ検出器とＰＳ−ＰＭＴ検出器とを切り替えていずれか一方を検出器と する構成と， 前記トリプル・ポリクロメータの入口スリットの手前に導入し，非点収差補正 を行うシリンドリカルレンズとを備えている超高感度ラマン分光装置。」 甲第１３号証の図１を掲記する。 イ 本件発明７と甲１３発明との相違点 (ｱ) 相違点１３−１ 本件発明７では，前記光はスリット３０を備えた一次元空間フィルタ３１を通過 「 して第一の次元で共焦点作用をもたらし」「前記サンプルの前記所与の面の焦点か ， らの散乱光は，前記スリットにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて前記ス リット３０を通過し，前記サンプルの前記所与の面の前記焦点の前または後で散乱 される光は，前記スリットにおいて焦点を結ばず」であるのに対して，甲１３発明 ではそのような構成か否か不明である点。 (ｲ) 相違点１３−２ 本件発明７では， 「前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が，前記所与の領域 外で受ける光を含まずに，またはこの光と分離して検出され，前記所与の領域は前 記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されて」いる のに対し，甲１３発明ではそのような構成か否か不明である点。 (ｳ) 相違点１３−３ 本件発明７では， 「サンプルに光を照射するのと，前記サンプルからの散乱光を集 光するのとに同一のレンズが用いられ」ているのに対し，甲１３発明では， 「試料に 光を照射してラマン散乱光のスペクトルを得る手段」はあるが，照射と集光に同一 のレンズが用いられているか不明である点。 (ｴ) 相違点１３−４ 「光検出器」について，本件発明７では「電荷結合素子である」のに対し，甲１ ３発明では「ＩＰＤＡ検出器またはＰＳ−ＰＭＴ検出器」である点。 ウ 相違点の判断 (ｱ) 相違点１３−３及び相違点１３−４について いずれも，容易に想到し得る。 (ｲ) 相違点１３−２ 相違点１−２の判断と同旨。 (ｳ) 相違点１３−１について 「 甲１３発明における分光光学系の『入口スリット』は，…１００ミクロン程度であって， 共焦点作用をもたらすものとはいえず，…本件発明７の『一次元空間フィルタ』に相当する ものではない。 また，甲１３発明における『非点収差補正を行うシリンドリカルレンズ』は，共焦点作用 をするものではなく，…『非点収差を補正して検出器位置でのＹ方向の像の広がりを抑える』 ものであるから，その技術的意義は，本件発明７の『一次元空間フィルタ』と異にする。 …請求人は…シリンドリカルレンズは，必ずしもスリットの手前に配置する必要はなく， スリットの後ろの，例えば，光検出器の手前に配置しても，同様の効果が得られる…旨主張 するが，甲１３は，シリンドリカルレンズがスリットの手前に配置されているものであり， 請求人主張の構成を示唆する記載もないのであるから，請求人の主張は採用できない。 そうすると，光学要素として『一次元空間フィルタ』が周知であるとしても，甲１３発明 において，その『入口スリット』あるいは『非点収差補正を行うシリンドリカルレンズ』を 該『一次元空間フィルタ』に置き換える，すなわち，相違点１３−１における本件発明７の 構成とすることには，動機付けがなく，当業者が容易に想到し得たものとは到底いえない。」 (ｴ) 小括 本件件発明７は，相違点１３−１及び相違点１３−２において，甲１３発明に基 づいて当業者が容易に想到できたとはいえない。 (6) 本件発明８〜本件発明１３ 本件発明７を更に限定する本件発明８〜１３も，甲１発明，甲２発明，甲３発明， 甲６発明及び甲１３発明に基づいて当業者が容易に想到できたとはいえない。 (7) 本件発明７の明確性要件違反について 本件発明７も通常のピンホールを用いた共焦点法と同様の作用効果を有するもの であるから，光検出器の「所与の領域」は，通常のピンホールを用いた共焦点法を 用いた場合の，当業者が測定条件等に応じて適宜定める測定領域により定まる領域 といえるので，特許請求の範囲の「所与の領域」が明確でないとまではいうことは できない。 第３ 原告主張の審決取消事由 １ 取消事由１（甲１発明に対する進歩性の判断誤り） (1) 取消事由１−１（相違点１−２の認定誤り） 本件発明７の「前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が，前記所与の領域外 で受ける光を含まずに，またはこの光と分離して検出され，前記所与の領域は前記 第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されてお」ると いう相違点１−２に係る構成は，その文言上，読取領域の制限が光検出器によるも のとは限定されておらず，また， 「所与の領域外」が光検出器上にある必要もない（本 件発明７の「光検出器の所与の領域外で受ける光」 「光検出器の は， 『所与の領域外』 で受ける光」ではなく，『光検出器の所与の領域』外で受ける光」と解される。 。 「 ） しかるに，甲１発明では，ピンホールによる完全な共焦点作用によって，光検出 器上で上記構成と同等の効果が生じさせられている。 そうすると，相違点１−２に係る構成は，本件発明７と甲１発明の一致点である。 したがって，審決の相違点１−２の認定には，誤りがある。 (2) 取消事由１−２（相違点１−１に係る相違点判断の誤り） @ 審決は，相違点１−１を，『空間フィルタ』が，本件発明７では『スリット 「 を備えた一次元空間フィルタ』であるのに対して，甲１発明では『ピンホール』で ある点。』と認定しているところ（２６頁２２〜２３行目）「甲１発明の『ピンホー ， ル』を甲２記載の『直交する２個のスリットとレンズ』に置き換えることには，動 機は十分に存在し容易であるといえる」と判断している（２７頁２４〜２６行目）。 相違点１−１は，共焦点作用とは関わりのない相違なのであるから，上記判断は， 相違点１−１は容易想到であるということと同義である。 したがって，審決の相違点１−１の判断には，誤りがある。 A 審決は，「ピンホール」を「光検出器の所与の領域」に置き換えることを周 知の技術であると認定している。これは，要するに，「ピンホールやスリット（有 体物）によって光の一部を遮蔽すること」と「プログラム（無体物）によって，光 検出器の『所与の領域』のみの光を検出すること」とには，本質的な違いはなく， 相互に置き換え可能である，としているにほかならない。 そして，光検出器において共焦点作用をもたらすことは，スリット（１次元の共 焦点作用）の代替としての周知技術でもあって，ピンホール（２次元の共焦点作用） の代替としての周知技術のみというものではない（甲９の５頁左下欄６行〜右上欄 ４行目参照）。 そうであれば，甲１発明の「ピンホール」を「直交する２個のスリットとレンズ」 に置き換えるとともに，光検出器の手前にある「第２のスリット」を「光検出器の 所与の領域」に置き換える構成に想到することは，容易である。そして，この場合， 「光検出器の所与の領域」は，「第２のスリット」のもたらしていた「第二の次元」 での共焦点作用をもたらすことになる。 したがって，審決の相違点１−１の判断には，誤りがある。 (3) 取消事由１−３（相違点１−２に係る相違点判断の誤り） 上記(2)(相違点１−１に係る相違点判断の誤り)Aと同旨。 したがって，審決の相違点１−２の判断には，誤りがある。 (4) 取消事由１−４（本件発明８〜本件発明１３の容易想到性） 本件発明８〜本件発明１３も，甲１発明及び他の刊行物に記載された事項に基づ いて，容易に想到し得る。 したがって，審決の本件発明８〜本件発明１３の進歩性判断には，誤りがある。 ２ 取消事由２（甲２発明に対する進歩性の判断誤り） (1) 取消事由２−１（一致点の認定誤り） @ 甲２には，ピンホールに代えて，２個のスリットにより，第一の次元の共焦 点作用と第二の次元の共焦点作用を生じさせることが記載されている（２頁左上欄 ２〜４行目，１１〜１３行目，左下欄１７行〜右下欄３行目，第２図）。 したがって，本件発明７と甲２発明は， 「前記光検出器の所与の領域又は第２のス リットは前記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成さ れており」という点においても一致する。 A 甲２発明においては，第２のスリット８２に光が合焦することによって，第 二の次元の共焦点作用が生じるから（２頁右上欄５〜７行目，第１図），本件発明７ の光検出器の所与の領域に対応するのは，第２のスリット８２である。 そうすると，本件発明７と甲２発明は，（光を前記光検出器の所与の領域）又は 「 第２のスリット（に合焦させ）」という点においても一致する。 B したがって，審決の本件発明７と甲２発明との一致点の認定には，誤りがあ る。 (2) 取消事由２−２（相違点認定の誤り） 上記(1)のとおり，本件発明７の「光検出器の所与の領域」は，甲２発明の「第２ のスリット面の開口部」に相当し，共に第二の次元の共焦点作用を生じる。 そうすると，相違点２−３は， 「本件発明７では『前記光検出器の前記所与の領域 で受ける光が，前記所与の領域外で受ける光を含まずに，又はこの光と分離して検 出され，前記所与の領域は前記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもた らすように形成されてお』るのに対し，甲２発明では『第２のスリット面の開口部 で受ける光が，前記開口部外で受ける光を含まずに，又はこの光と分離して検出さ れ，前記開口部は前記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすよう に形成されてお』る点。」とすべきである。 したがって，審決の相違点２−３の認定には，誤りがある。 (3) 取消事由２−３（相違点２−３に係る相違点判断の誤り） @ 上記１(2) (相違点１−１に係る相違点判断の誤り)Aのとおり。 A 甲２発明は，従来，ピンホールという単一の構成によって実現されていた２ 次元の共焦点作用を，２つの直交するスリットによってそれぞれ第一の次元の共焦 点作用と第二の次元の共焦点作用として生じさせる，というものである。すなわち， 甲２発明は，従来の２次元の共焦点作用を，第一の次元の共焦点作用と第二の次元 の共焦点作用という，可分な形にしたという発明である。 そうすると，可分な構成の一部である第２のスリットを別な構成に置き換えるこ とには，阻害要因はない。 （被告の主張に対する反論）甲２発明のスリット８２（第２のスリット）による 第二の次元の共焦点作用を，光検出器の読取領域の制限による第二の次元の共焦点 作用に置き換えれば，同時に，甲２発明の「スリット８２を調整する」という構成 が不要になり，光検出器６のうち受光量の大きい領域のみから受光量を読み取るこ とで，調整ができる。したがって，被告の主張するように，位置調整を容易化する という甲２発明の目的が実現できなくなるということはない。 B 本件発明７の「光検出器の所与の領域外で受ける光」は，光検出器で受けら れる必要はない。この光は「サンプルの他の面からの光」とほとんど同義であると ころ，甲２発明でも，この光は第２スリットの開口部以外の部分で受けている。 そうすると，甲２発明にも，本件発明７の「光検出器の所与の領域外で受ける光」 は存在している。 C したがって，審決の相違点２−３の判断には，誤りがある。 (4) 取消事由２−４（本件発明８〜本件発明１３の容易想到性） 本件発明８〜本件発明１３も，甲２発明及び他の刊行物に記載された事項に基づ いて，容易に想到し得る。 したがって，審決の本件発明８〜本件発明１３の進歩性判断には，誤りがある。 ３ 取消事由３（甲３発明に対する進歩性の判断誤り） (1) 取消事由３−１（相違点３−２の認定誤り） 上記１(1) (相違点１−２の認定誤り)と同旨。 したがって，審決の相違点３−２の認定には，誤りがある。 (2) 取消事由３−２（相違点３−１に係る相違点判断の誤り） 上記１(2) (相違点１−１に係る相違点判断の誤り)と同旨。 加えて，甲３には，甲３発明の更なる改良の可能性として，ピンホールを１つの スリットに置き換えることが記載されている（訳文２頁２６〜３０行目）。 したがって，審決の相違点３−１の判断には，誤りがある。 (3) 取消事由３−３（相違点３−２に係る相違点判断の誤り） 上記１(2) (相違点１−１に係る相違点判断の誤り)Aと同旨。 加えて，甲３には，ＣＣＤカメラの読取領域の幅を２２０μｍに制限することが 開示されている（訳文２頁６〜１１行目。訳文１頁２６〜２７行目，甲１０〜１２ 参照）。２２０μｍという読取幅は，当業者において，共焦点作用をもたらすものと 認識される。 したがって，審決の相違点３−２の判断には，誤りがある。 (4) 取消事由３−４（本件発明８〜本件発明１３の容易想到性） 本件発明８〜本件発明１３も，甲３発明及び他の刊行物に記載された事項に基づ いて，容易に想到し得る。 したがって，審決の本件発明８〜本件発明１３の進歩性判断には，誤りがある。 ４ 取消事由４（甲６発明に対する進歩性の判断誤り） (1) 取消事由４−１（相違点６−３に係る相違点判断の誤り） @ 光検出器の単一ピクセル又は微小領域のみを使用することによって共焦点作 用が実現されることは，周知技術である（甲７〜９，３３）。そして，甲６には，サ ンプルからのラマン散乱光を受けるリニア・ダイオード・アレイは，スリットを横 切る方向に横一列となっていることが記載されている（図３）。また，本件発明７の 「光検出器の所与の領域外で受ける光」と「サンプルの他の面から散乱された光」 とは，ほとんど同義であるから，当該光が光検出器で受けられる必要はなく，リニ ア・ダイオード・アレイ以外のどこかの部分で受けていれば足りる。 そうであれば，このリニア・ダイオード・アレイの領域は，第二の次元で共焦点 作用をもたらすように形成された領域と実質的に同一である。 したがって，上記周知技術にかんがみて，甲６発明のリニア・ダイオード・アレ イの領域を，第二の次元の共焦点作用が生じるように適宜設定することは，当業者 が容易になし得たことである。 A 仮に， 「光検出器の所与の領域外で受ける光」が，光検出器上で受ける光でな くてはならないとしても，甲６発明は，この構成を有する。 すなわち，光検出器が「リニア・ダイオード・アレイ」の場合の甲６発明をみる に，甲６の図３には，スリットと同方向（Ｙ方向）に伸びるリニア・ダイオード・ アレイが描かれるとともに，Ｙ方向の光強度の連続的な空間分布（"ＳＰＡＴＩＡＬ ＲＥ ＳＯＬＵＴＩＯＮ"）を示す強度プロファイル（"ＩＮＴＥＮＳＩＴＹ ＰＲＯＦＩＬＥＳ"）が描かれ ている。このような連続的な強度プロファイルを得るためには，リニア・ダイオー ド・アレイにおいて，単一又は２〜３個程度のピクセル（単位ピクセル）ごとに読 取領域を制限し，スリットとは直交する方向で区切られたその読取領域ごとに別個 のデータを検出して，これを積算する必要がある。そうであれば，データ検出に際 しての単位ピクセルは， 「光検出器の所与の領域」に該当し，当該ピクセル以外のピ クセルで受ける光は，「光検出器の所与の領域外で受ける光」に該当する。 そうすると，甲６発明を「前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が，前記所 与の領域外で受ける光を含まずに，またはこの光と分離して検出され， 「前記第一 」 の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されて」いる構成に することは，容易に想到し得る。 B また，光検出器が「ダイオード・マトリックス」の場合の甲６発明をみるに， 甲６の図３には，ダイオード・マトリックスに関して２次元マッピング図（"ＴＷＯ ＤＩＭＥＮＳＩＯＮＡＬ ＭＡＰＰＩＮＧ"）が描かれている。ここで，ダイオード・マトリッ クスにおいてＹ方向にマッピングを行うには，上記Aと同様の検出・処理が必要と なる。 したがって，光検出器がダイオード・マトリックスの場合であっても， 「前記光検 出器の前記所与の領域で受ける光が，前記所与の領域外で受ける光を含まずに，ま たはこの光と分離して検出され，「前記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作 」 用をもたらすように形成されて」いる構成にすることは，容易に想到し得る。 C 上記１(2) (相違点１−１に係る相違点判断の誤り)Aと同旨。 D したがって，審決の相違点６−３の判断には，誤りがある。 (2) 取消事由４−２（本件発明８〜本件発明１３の容易想到性） 本件発明８〜本件発明１３も，甲６発明及び他の刊行物に記載された事項に基づ いて，容易に想到し得る。 したがって，審決の本件発明８〜本件発明１３の進歩性判断には，誤りがある。 ５ 取消事由５（甲１３発明に対する進歩性の判断誤り） (1) 取消事由５−１（相違点１３−１に係る相違点判断の誤り） ア 共焦点作用の記載・示唆について @ 審決は，[1]スリットを備えた１次元空間フィルタも，スリットを備えた１次 元空間フィルタが共焦点作用をもたらすことも，いずれも技術常識であること（３ ９頁２８〜３０行目），[2]ラマン分光器の光路前に共焦点作用をもたらす空間フィ ルタを設けることも周知であること（３９頁３１〜３４行目）を認定している。ま た， 「赤外・ラマン・顕微分光法講習会テキスト」７６−８１頁，平成３年１月２２ 日（甲１５）には，共焦点作用を生じさせるためのスリットと，回折格子分光器の 入射部に設ける入射スリットとを，１つのスリットによって兼用させること，すな わち，入射スリットによって第一の次元の共焦点作用を生じさせることを開示ない し示唆している。 そうであれば，これらの技術常識や周知技術を甲１３発明に適用することは容易 であり，その際，甲１３発明の入射スリットの幅を，第一の次元の共焦点作用が生 じる程度まで狭くすることは，当業者が最適なものを適宜選択・調整すべき１つの パラメータの設定にすぎないのであるから，容易になし得ることである。 A（被告の主張に対する反論）共焦点作用は，用語が異なることはあっても，本 件優先日前における周知の作用である。甲２に記載のとおり，ピンホールによる共 焦点作用を，第一の次元の共焦点作用と第二の次元の共焦点作用に分けるという考 え方も公知である。したがって，甲１３発明において，第一の次元の共焦点作用及 び第二の次元の共焦点作用が生じていることは，当業者が見れば，甲１３に記載さ れているに等しい事項といえる。加えて，甲１３には，サンプルからスリットまで の倍率Ｍが１００倍であること（７頁８行目），Ａｒ＋レーザの波長が５１５ｎｍであ ること（６頁３１行目），スリット幅が１００μｍであること（６頁３６行目），入 射スリットの位置から検出器の位置までの倍率が１.２倍であること（５頁２７〜２ ８行目），検出器の読取領域の幅が１２５μｍ（２５μｍ×５ピクセル）であること （６頁９行目，７頁１行目）といった設定条件は，甲１３発明そのものとして，明 記されている条件である。 イ シリンドリカル・レンズの作用について @ 審決は，甲１３発明の入射スリットが１００μｍであることのみをもって， 共焦点作用をもたらすものとはいえないとするが（４０頁８〜１７行目） スリット ， の幅が１００μｍでも，後記(2)Bのとおり，スリット幅がエアリーディスクの直径 の２.５倍までであれば，共焦点作用が生じる。 甲１３発明のスリット幅は，１００μｍである。また，サンプルからスリットま での倍率Ｍは１００倍である。後記(2)Bのとおり，エアリーディスク径（直径）ｄ は， ｄ＝(１.２２×λ/ＮＡ物体側）×Ｍ λ：波長 ＮＡ：開口数 Ｍ：対物レンズの倍率 であるから，甲１３発明のＡｒ＋レーザの５１５ｎｍ線のスリット上でのエアリーディ スク径の最小値ｄｍｉｎ（ラマン散乱光の波長λ´は光源光の波長λよりも長いから， ラマン散乱光によって形成されるスリット上でのエアリーディスク径の最小値は， ｄｍｉｎよりも大きくなる。）は，次のとおりである（ＮＡ物体側は空気中では１を超 えない。。 ） ｄｍｉｎ＝(１．２２×０.５１５/１）×１００ ＝６３［μｍ］ そうすると，スリット幅が１００μｍの場合において，スリット幅とラマン散乱光 によってスリット上で形成されるエアリーディスク径との比は，１.５９（１００/ ６３）よりも大きくなることはない。 したがって，スリット上では，共焦点作用が生じている。 A(被告の主張に対する反論）甲１３発明のシリンドリカルレンズは，非点収差を 補正するためのものであるため，焦点距離が長く光を屈折させる力が弱いレンズが 用いられている。この場合，スリットにおける光の形状は，シリンドリカルレンズ の有無によってほとんど変形せず，線状ないし楕円状というよりは点状とみなせる ものである。仮に，甲１３発明に焦点距離の短いシリンドリカルレンズが使われて いて，スリットにおける光のスポットが若干楕円状になっていたとしても，長軸が スリットの長さ方向（長辺方向）に伸びているにすぎず，スリットの幅方向（短辺 方向）には焦点を結んでいるといえるので，スリットによる第一の次元の共焦点作 用は生じている。 ウ 阻害要因について 甲１３発明でシリンドリカルレンズが用いられる目的は，非点収差の補正である ところ，同一の課題・目的の下に，シリンドリカルレンズを，分光器の前ではなく， 光検出器の手前又は分光器内部に配置する構成が公知である（甲３の２２０頁左欄 ３１〜３４行目〔訳文２頁７〜９行目〕 甲４７の１０５４頁右欄２５行〜１０５５ ， 頁左欄７行目，Ｆｉｇ.１，甲４８の上欄１〜３行目，甲４９の４５５頁左欄２３〜２ ８行目，ＦＩＧ.１，甲５０の第２図）。 そして，甲１３には，シリンドリカルレンズをスリットの前に配置したことにつ いて，何ら特別の意義・理由は記載されておらず，甲１３発明におけるシリンドリ カルレンズの位置は，スリットの後ろでもよいと解される。 そうであれば，当業者が，甲１３発明のシリンドリカルレンズを，甲３のように スリットの後ろに配置することには動機付けがあり，容易になし得たことである。 エ 小括 以上のとおり，審決の相違点１３−１の判断には，誤りがある。 (2) 取消事由５−２（相違点１３−２に係る相違点判断の誤り） @ 上記１(2) (相違点１−１に係る相違点判断の誤り)Aと同旨。 A 上記(1) (相違点１３−１に係る相違点判断の誤り)ア(共焦点作用の記載・示 唆)Aのとおり。 B[1]「Ｔｈｒｅｅ−ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ ｏｐｔｉｃａｌ−ｔｒａｎｓｆｅｒ−ｆｕｎｃｔｉｏｎ ａｎａｌｙｓｉｓ ｆｏｒ ａ ｌａｓ ｅｒ−ｓｃａｎ ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ ｗｉｔｈ ａｎ ｅｘｔｅｎｄｅｄ ｄｅｔｅｃｔｏｒ」Ｊ Ｏｐｔ．Ｓｏｃ． Ａｍ．Ａ ｖｏｌ．８，Ｎｏ．１（１９９１），ｐｐ１７１−１７５（甲３８）には， 「エアリーディスクよ り２倍広い検出器を有する顕微鏡も，２μｍの分解能で長さ方向の構造を分解する ことができる。」との記載（１７２頁右欄４９〜５１行目）があり， [2] Ｓｉｚｅ ａｎｄ Ｓｈａｐｅ ｏｆ 「 Ｔｈｅ Ｃｏｎｆｏｃａｌ Ｓｐｏｔ：Ｃｏｎｔｒｏｌ ａｎｄ Ｒｅｌａｔｉｏｎ ｔ ｏ ３Ｄ Ｉｍａｇｉｎｇ and Image Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ」ＨＡＮＤＢＯＯＫ ＯＦ ＢＩＯＬＯＧＩＣＡＬ ＣＯ ＮＦＯＣＡＬ ＭＩＣＲＯＳＣＯＰＹ ＲＥＶＩＳＥＤ ＥＤＩＴＩＯＮ（１９９０），ｐｐ８７−９１（甲４０） には，「図４ ピンホールの大きさの関数としての反射における軸方向の共焦点応 答」において，検出ピンホールの大きさが，回折限界エアリー分布のＦＷＨＭ（ｆｕｌ ｌ ｗｉｄｔｈ ａｔ ｈａｌｆ ｍａｘｉｍｕｍ，山形の関数〔本件では信号強度の関数〕の広がりを 示す指標）の単位で示されている（９０頁）。 そして，[3]「結像光学入門」（１９８８）９５〜９７頁（甲３６）には， <1>エアリーディスクの径が，λを光の波長とし，像側の開口数をＮＡ像側とし て， １.２２λ/ＮＡ像側 と（９６頁４−２７式）， <2>物体側の開口数をＮＡ物体側，対物レンズの倍率をＭとして， ＮＡ物体側＝ＮＡ像側×Ｍ と（９７頁４−２８式，４−２９式）と記載されている。 そうすると， <3>エアリーディスクの直径ｄは， ｄ＝（１.２２×λ/ＮＡ物体側)×Ｍ である。そして， [4]「Ｒｅａｌｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ ｎｕｍｅｒｉｃａｌ ａｐｅｒｔｕｒｅ ２．０ ｕｓｉｎｇ ａ ｇａｌｌｉｕｍ ｐｈｏｓｐｈｉ ｄｅ ｓｏｌｉｄ ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ ｌｅｎｓ」ＡＰＰＬＩＥＤ ＰＹＳＩＣＳ ＬＥＴＴＥＲＳ ＶＯＬＵＭＥ７５，ＮＵ ＭＢＥＲ２６（１９９９）ｐｐ４０６４−４０６６（甲４１）には，半値全幅△ｘ(ＦＷＨＭ)につい て， △ｘ(ＦＷＨＭ)＝０.５１×λ/ＮＡ像側 との趣旨が記載されているから（４０６５頁左欄）， △ｘ(ＦＷＨＭ)＝０.５１×λ/ＮＡ物体側×Ｍ である。 そこで，エアリーディスクの直径ｄと半値全幅△ｘ(ＦＷＨＭ)とを比較すると， エアリーディスクの直径は，そのＦＷＨＭの大きさの約２.４倍（１.２２÷０.５１） である。そして，ピンホール直径がＦＷＨＭの６倍までは共焦点作用を有するとさ れているから，ピンホール直径がエアリーディスクの直径の２.５倍（６/２.４）ま では，共焦点作用を有することになる。 そして，甲１３発明において，入射スリットの位置から光検出器の位置までの倍 率は，１.２倍であるから，Ａｒ＋レーザの５１５ｎｍ線の光検出器上でのエアリーデ ィスク径の最小値ｄｍｉｎは，７６μｍ（６３μｍ×１.２）である。また，ラマン 散乱光の波長は光源光の波長よりも長いから，ラマン散乱光によって形成される光 検出器上でのエアリーディスク径の最小値はｄｍｉｎよりも大きくなる。他方，甲１ ３発明のＰＳ−ＰＭＴ検出器での読取り幅は，１２５μｍ（２５μｍ×５ピクセル） であるから（６頁１行目，６頁末行〜７頁２行目，図２の説明文），光検出器の読取 り幅とラマン散乱光によって光検出器上で形成されるエアリーディスク径との比は １.６４（１２５μｍ/７６μｍ）よりも大きくなることはない。 そうすると，甲１３発明は，光検出器上で共焦点作用を有しているものと認めら れる。 C 以上から，審決の相違点１３−２の判断には，誤りがある。 (3) 取消事由５−３（本件発明８〜本件発明１３の容易想到性） 本件発明８〜本件発明１３も，甲１３発明及び他の刊行物に記載された事項に基 づいて，容易に想到し得る。 したがって，審決の本件発明８〜本件発明１３の進歩性判断には，誤りがある。 (4) 被告の補充主張に対する反論 ア 相違点１３−３に係る審決の判断について サンプルに光を照射するのと，前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一 のレンズが用いられている照明系は，周知技術であり，これにより，構成を簡略化 することができることは，当業者にとって明らかであるので，当業者は，これを適 宜採用し得たといえる。 イ 相違点１３−４に係る審決の判断について 電荷結合素子である光検出器は，周知技術であり，加えて，甲１３には「今回我々 は超微弱信号の検出を目的としているので，以上の理由によりＰＳ−ＰＭＴを採用 することにした。但し，量子効率の絶対値や赤外域の感度などを重んじるならばＣ ＣＤ検出器の方が優れているなど，目的によって選択は異なってくることを注意し ておく。（４頁５〜８行目）と記載されている。 」 そうすると，甲１３発明において，その「位置検出型光電子増倍管」の替わりに 「ＣＣＤ検出器」を採用することには，十分な動機付けが存在しているといえ，ま た，該置換に何ら困難性もない。 ６ 取消事由６（明確性要件違反） 審決は，本件発明７の「所与の領域」は， 「当業者が測定条件等に応じて適宜定め る測定領域により定まる領域」といえるので，明確でないとまではいうことはでき ないと判断した（４２頁３８行〜４３頁２行目）。 しかしながら，当業者が測定条件等に応じて適宜定める測定領域により定まる領 「 域」だけでは依然として不明確である。すなわち，サンプルは３次元の有体物なの であるから，スリット面と厳密に合焦関係にある「所与の面」と，それに最も隣接 した「第１の他の面」，その次に外側にある「第２の他の面」，その次に外側にある 「第３の他の面」…は連続的に無数に存在し，その各面からラマン散乱光が同心円 状にＣＣＤ面に到達する。そして，共焦点作用を得るための光検出器の読取領域の 幅について，原理上特定の値が存在するわけではない。それにもかかわらず，本件 明細書には，この読取領域を定めるための基準が一切示されていない。 そうすると，本件発明７の特許請求の範囲には，明確性要件違反がある。 したがって，審決の明確性要件の判断には，誤りがある。 第４ 被告の反論 １ 取消事由１（甲１発明に対する進歩性判断の誤り）について (1) 取消事由１−１（相違点１−２の認定誤り）に対して 本件発明７の「前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が，前記所与の領域外 で受ける光を含まずに，またはこの光と分離して検出され，前記所与の領域は前記 第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されており」と の構成は，光検出器が，所与の領域の内側のみならず，当該領域の外側でも光を受 けることを意味する。所与の領域の内側で受ける光が，当該領域の外側で受ける光 を含まず，又は，その光と分離して検出されることにより，第二の次元での共焦点 作用がもたらされるのである。 一方，甲 1 発明では，すべての共焦点作用（２次元の共焦点作用）がピンホール によってもたらされており，光検出器において，所与の領域の外側で受ける光が存 在しないのであるから，当該光検出器の所与の領域が第二の次元で共焦点作用をも たらすように形成されているといえないことは明らかである。 したがって，審決の相違点１−２の認定には，誤りはない。 (2) 取消事由１−２（相違点１−１に係る相違点判断の誤り）に対して @ 甲 1 発明は，分光分析を行うことを前提とした発明であるのに対し，甲２発 明は，分光分析を行うことを前提としない発明であるから，仮に，甲２発明を甲１ 発明に適用しようとしても，甲２発明の構成要素（例えば，甲２の第１図及び第２ 図に示されたスリット８１，レンズ３４，及びスリット８２）を甲 1 発明のいずれ の箇所に配置すべきかが不明である。 そうすると，当業者が甲２発明を甲１発明に適用する動機付けはなく，かかる適 用は，そもそも当業者が容易に想到し得たことではない。 したがって，審決の相違点１−１の判断には，誤りはない。 A 審決は，１次元の共焦点作用をもたらすスリットと，１次元の共焦点作用を もたらす光検出器の読取領域の制限との間の置き換えの技術（甲９の第３図及び第 ４図の技術）が周知技術であるとは認定していない。審決の認定した周知技術は， ２次元の共焦点作用をもたらすピンホールと，２次元の共焦点作用をもたらす光検 出器の読取領域の制限との間の置き換えの技術（甲７，甲８，甲９の第５図，甲３ ３の技術）である。 そうすると，原告の主張するような２つのスリットのうち１つのスリットを光検 出器の所与の領域に置き換えることが容易に想到できたとはいえない。 したがって，審決の相違点１−１の判断には，誤りはない。 (3) 取消事由１−３（相違点１−２に係る相違点判断の誤り）に対して 上記(2) (相違点１−１に係る相違点判断の誤り)Aと同旨。 したがって，審決の相違点１−２の判断には，誤りはない。 (4) 取消事由１−４（本件発明８〜本件発明１３の容易想到性）に対して 本件発明７が，甲１発明及び他の刊行物に記載された事項に基づいて容易に想到 し得ないから，本件発明８〜本件発明１３も容易に想到し得ない。 したがって，審決の本件発明８〜本件発明１３の進歩性判断には，誤りはない。 ２ 取消事由２（甲２発明に対する進歩性の判断誤り）について (1) 取消事由２−１（一致点の認定誤り）に対して 本件発明７と甲２発明の一致点は，審決の認定するとおりである。 したがって，審決の本件発明７と甲２発明との一致点の認定には，誤りはない。 (2) 取消事由２−２（相違点認定の誤り）に対して 甲２発明には，原告の主張するような構成は存しない。 したがって，審決の相違点２−３の認定には，誤りはない。 (3) 取消事由２−３（相違点２−３に係る相違点判断の誤り）に対して @ 上記１(2) (相違点１−１に係る相違点判断の誤り)Aと同旨。 A 甲２発明は，位置調整（位置合わせ）の容易化を目的とする発明であって， ２次元の共焦点作用を，第一の次元の共焦点作用と第二の次元の共焦点作用とに分 けることを目的とした発明ではない。そして，スリット８１（第１のスリット），レ ンズ３４（第４のレンズ）及びスリット８２（第２のスリット）の一部を除くか， あるいは他の手段に変更してしまうと，これらによる位置調整方法を用いることが できなくなり，位置調整を容易化するという甲２発明の目的が実現できなくなる。 それゆえに，審決は，甲２発明の２次元空間フィルタは，第１のスリットと第４の レンズと第２のスリットとを，甲２発明の技術思想（ピンホールの代替構成）とし て必須の構成としたのであり，第１のスリットと第４のレンズと第２のスリットと が物理的に可分であることを置換の理由とすることはできない。 そうすると，第２のスリットのみを別な構成に置き換えることには，阻害要因が ある。 B 本件発明７において，光検出器は，所与の領域の内側のみならず，当該領域 の外側でも光を受ける必要がある。 甲２発明においては，光検出器は，第２のスリットでマスクされており，所与の 領域の信号のみを検出している。すなわち，光検出器は，所与の領域の外側では光 を受けていない。 C 以上のとおり，審決の相違点２−３の判断には，誤りはない。 (4) 取消事由２−４（本件発明８〜１３の容易想到性）に対して 本件発明７が，甲２発明及び他の刊行物に記載された事項に基づいて容易に想到 し得ないから，本件発明８〜本件発明１３も容易に想到し得ない。 ３ 取消事由３（甲３発明に対する進歩性の判断誤り）について (1) 取消事由３−１（相違点３−２の認定誤り）に対して 上記１(1) (相違点１−２の認定誤り)と同旨。 したがって，審決の相違点３−２の認定には，誤りはない。 (2) 取消事由３−２（相違点３−１に係る相違点判断の誤り）に対して 上記１(2) （相違点１−１に係る相違点判断の誤り）と同旨。 なお，原告の指摘する甲３の記載（訳文２頁２６〜３０行目）は，ピンホールに 代えて１つのスリットを用い，当該スリットの長さ方向を，ライン照明（ライン状 の照明）の長さ方向に合わせるというライン照明に関する事項である。これに対し， 甲２発明は，スポット照明（点状の照明）を用いるものである。このように，甲３ の上記記載と甲２発明とでは，その構成が大きく異なる。 したがって，審決の相違点３−１の判断には，誤りはない。 (3) 取消事由３−３（相違点３−２に係る相違点判断の誤り）に対して 上記１(2)（相違点１−１に係る相違点判断の誤り）Aと同旨。 なお，甲３には，２２０μｍの幅により第二の次元の共焦点作用をもたらすこと について，記載も示唆もない。甲３発明では，ピンホールが第一の次元及び第二の 次元の共焦点作用をもたらしている。そうすると，甲３発明において，２２０μｍ の幅により第二の次元の共焦点作用がもたらされているとはいえないし，当業者も， この２２０μｍの幅により第二の次元の共焦点作用がもたらされるとは認識しない。 したがって，審決の相違点３−２の判断には，誤りはない。 (4) 取消事由３−４（本件発明８〜本件発明１３の容易想到性）に対して 本件発明７が，甲３発明及び他の刊行物に記載された事項に基づいて容易に想到 し得ないから，本件発明８〜本件発明１３も容易に想到し得ない。 したがって，審決の本件発明８〜本件発明１３の進歩性判断には，誤りはない。 ４ 取消事由４（甲６発明に対する進歩性の判断誤り）について (1) 取消事由４−１（相違点６−３に係る相違点判断の誤り）に対して @ 甲７発明の光検出器は，所与の領域の内側のみならず，当該領域の外側でも 光を受ける必要がある。光検出器の単一ピクセル又は微小領域と，リニア・ダイオ ード・アレイの領域とは，別個のものであるから，仮に，光検出器の単一ピクセル 又は微小領域が，第二の次元で共焦点作用をもたらすよう形成された領域であると しても，リニア・ダイオード・アレイが，第二の次元で共焦点作用をもたらすよう に形成された領域であるとはいえない。 そうすると，両者を実質的に同じであるということはできない。 A 原告が主張するようなリニア・ダイオード・アレイの場合における単位ピク セルごとの読取領域の制限は，甲６には記載されておらず，原告の主張は単なる推 測にすぎない。強度プロファイルの作成方法については，例えば，ｙｎ地点からの 光を受光した際に，全ピクセルを合算した値を検出して，同地点からの光の強度を 特定し，次に，ｙｎ＋１地点からの光を受光した際に，全ピクセルを合算した値を検 出して，同地点からの光の強度を特定するということを繰り返して，強度プロファ イルを作成している可能性もある。したがって，スリットと同方向であるＹ方向に 延びるリニア・ダイオード・アレイに注目したとしても，甲６発明が， 「前記光検出 器の前記所与の領域で受ける光が，前記所与の領域外で受ける光を含まずに，また はこの光と分離して検出され」ているとはいえない。 また，原告の主張を，読取領域の制限の条件等によっては，リニア・ダイオード・ アレイにおいて，第二の次元の共焦点作用が生じると解しても，それは仮定の話に すぎず，甲６には，かかるリニア・ダイオード・アレイが共焦点作用をもたらすこ とについては，記載も示唆もない。 B ダイオード・マトリックスの場合における単位ピクセルごとの読取領域の確 保についても，上記Aのとおり，甲６にはそのような記載がない。 また，原告の主張を，読取領域の制限の条件等によっては，ダイオード・マトリ ックスにおいて，第二の次元の共焦点作用が生じると解しても，それは仮定の話に すぎず，甲６には，かかるダイオード・マトリックスが共焦点作用をもたらすこと については，記載も示唆もない。したがって，甲６発明が， 「前記光検出器の前記所 与の領域で受ける光が，前記所与の領域外で受ける光を含まずに，またはこの光と 分離して検出され，」ているとはいえない。 C 上記１(2) (相違点１−１に係る相違点判断の誤り)Aと同旨。 D したがって，審決の相違点６−３の判断には，誤りはない。 (2) 取消事由４−２（本件発明８〜本件発明１３の容易想到性）に対して 本件発明７が，甲６発明及び他の刊行物に記載された事項に基づいて容易に想到 し得ないから，本件発明８〜本件発明１３も容易に想到し得ない。 したがって，審決の本件発明８〜本件発明１３の進歩性判断には，誤りはない。 ５ 取消事由５（甲１３発明に対する進歩性の判断誤り）について (1) 取消事由５−１（相違点１３−１に係る相違点判断の誤り）に対して ア 共焦点作用の記載・示唆について @ 甲１３発明は，共焦点作用に関するものではなく，仮に１００倍のレンズと １００μｍの幅のスリット等を用いたある特定の状況において共焦点作用が生じる としても，それは，甲１３発明がカバーする多くのあり得る状況の 1 つに共焦点作 用が内在しているというにすぎず，甲１３も，この 1 つの状況において共焦点作用 をもたらすことを指摘していない。このような共焦点作用は，甲１３発明の目的と は関係なく偶然に生じたものであるから，これをもって，甲１３発明において，そ の入射スリットにおいて共焦点作用がもたらされる，あるいは，当業者において共 焦点作用がもたらされていると認識するということはできない， A 甲１３発明の入射スリットは，共焦点作用（光軸方向の空間分解能を向上） をもたらすことではなく，波長分解能を調整するためのものである（スリット幅の 広狭に従い，波長分解能と検出器に到達する光量がトレードオフ関係に立つ。。そ ） して，これは，本件優先日前の技術常識である。他方，分光器の入射スリットが共 焦点作用をもたらすことは，本件優先日前の技術常識ではなかった。 したがって，甲１３に接した当業者は，甲１３発明の入射スリットが共焦点作用 をもたらすとは認識しない。 イ シリンドリカル・レンズの作用について 甲１３発明では，試料の所与の面の焦点からの光（散乱光）は，分光器（トリプ ル・ポリクロメータ）の入射スリットの位置において，点状にはならず，線状にな っている。 これは，甲１３発明が，分光器（トリプル・ポリクロメータ）によって検出器上 においてスペクトルが各波長でＹ軸方向に広がることから（５頁８〜１１行目によ れば，２００〜４００ピクセル分），この非点収差を補正するために，入射スリット の手前にシリンドリカル・レンズを置いて意図的に非点収差を導入し（４頁１０〜 １２行目，６頁３〜４行目），Ｙ軸方向への広がりを抑えているからである（６頁３ ５〜３６行目によれば，３〜４ピクセル分に留まる。 。 ） すなわち，シリンドリカル・ レンズによりあらかじめ導入した非点収差によって，上記分光器内で生じる非点収 差を打ち消している。シリンドリカル・レンズにより導入された非点収差により， 入射スリットにおいては，単一の合焦面における単純なエアリーディスクの代わり に，非常に複雑な細長い光のパターンが生成される。この光のパターンは，光軸に 沿って離れた異なる平面において２つの焦線を有し，当該２つの焦線の間に錯乱し た領域を有する。またサンプルの他の面からの光が存在するとすれば，その光も入 射スリットの位置において極めて複雑なパターンを形成し，かかる他の面からの光 に対して，入射スリットは，通常の共焦点作用をもたらすような態様で機能しなく なる。 そうすると，この点を無視して，入射スリットに単純な円形のエアリーディスク があるものとして，エアリーディスク径最小値ｄ ｍｉｎを計算するのは誤りであり， 甲１３発明の入射スリットの位置において，第一の次元の共焦点作用が生じている といえない。 ウ 阻害要因について @ 甲１３には，光検出器の手前に非点収差補正光学系を配置することは，記載 も示唆もない。 A 光検出器の手前に非点収差補正光学系を配置した場合，この位置調整を行う ＣＣＤカメラが非点収差補正光学系よりも手前に来てしまうため，その調整ができ なくなってしまう。 B 光検出器の手前は，トリプル・ポリクロメータ内部であるが，トリプル・ポ リクロメータ内の凹面鏡からの出射ビームと入射ビームは，それぞれ幅があるとと もに，両者は近接している。このような内部に，出射ビームがシリンドリカル・レ ンズを通過するようにした場合，非点収差補正光学系によって入射ビームの一部ま でブロックしてしまうおそれがある。また，トリプル・ポリクロメータ内部にある 非点収差補正光学系にアクセスして，これを調整することも困難又は不可能になっ てしまう。 C 甲１３発明のトリプル・ポリクロメータは市販の装置であり，当業者が，か かる市販装置の内部に非点収差補正光学系を配置しようとは考えない。 スリットの前に非点収差補正光学系を配置している場合には，上記の問題は生じ ないのであるから，当業者が，わざわざ不利な方向に構成を変更しようとはしない。 D 甲３発明は，宇宙線事象検出の可能性を最小化するための技術であるが，甲 １３発明が用いるＰＳ−ＰＭＴでは，宇宙線事象検出の可能性を最小化する必要性 はない。むしろ，甲１３には，アナログ検出器であるＩＰＤＡやＣＣＤを用いた場 合には，主として宇宙からの高エネルギー粒子線によるパルス・ノイズが問題とな るが，デジタル検出器であるＰＳ−ＰＭＴを用いた場合には，かかるパルス・ノイ ズは問題にならない旨の記載がある（３頁１３行〜４頁８行目，５頁３〜５行目， １９〜２２行目）。 そうすると，甲１３発明に，シリンドリカル・レンズをＣＣＤカメラの前に配置 する甲３発明を適用する動機付けはない。 E 甲３発明では，ピンホールが用いられており（甲３のＦｉｇｕｒｅ1），本来ピンホ ールを通過すべき光がピンホールによってブロックされてしまわないために，シリ ンドリカル・レンズをピンホールの前に配置することはできない。そのため，甲３ 発明においては，シリンドリカル・レンズをＣＣＤカメラの前に配置せざるを得な い。 一方，甲１３発明では，スリットが用いられているから（６頁３〜４行目），非点 収差補正光学系（ないしシリンドリカル・レンズ）をスリットの前に配置すること ができ，ＰＳ−ＰＭＴの前に配置する必要性はない。 そうすると，甲１３発明に対して，シリンドリカル・レンズをＣＣＤカメラの前 に配置する甲３発明を適用する動機付けはない。 エ 小括 以上から，審決の相違点１３−１の判断には，誤りはない。 (2) 取消事由５−２（相違点１３−２に係る相違点判断の誤り）に対して @ 上記１(2) (相違点１−１に係る相違点判断の誤り)Aと同旨。 A 上記(1)ア@と同旨。 B 上記(1)イのとおり，入射スリット位置におけるエアリーディスク径の最小値 ｄｍｉｎの計算方法は誤りであるから，この計算結果を前提とする光検出器の位置に おけるエアリーディスク径の最小値ｄｍｉｎも誤りである。 C したがって，審決の相違点１３−２の判断には，誤りはない。 (3) 取消事由５−３（本件発明８〜本件発明１３の容易想到性）に対して 本件発明７が，甲１３発明及び他の刊行物に記載された事項に基づいて容易に想 到し得ないから，本件発明８〜本件発明１３も容易に想到し得ない。 したがって，審決の本件発明８〜本件発明１３の進歩性判断には，誤りはない。 (4) 補充主張 ア 相違点１３−３に係る審決の判断について ラマン分光装置において，サンプルに光を照射するのと，前記サンプルからの散 乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられている照明系を採用することが周知 であったとしても，この技術を他の技術ないし発明に適用することが容易に想到で きたといえるためには，それなりの動機付けが必要である。審決は， 「構成を簡略化 する」という十分なる動機付けが存在すると認定しているが，先行技術文献のいず れにも，上記照明系を採用することにより構成を簡略化することができるという記 載はない。 そうすると，上記周知技術を甲１３発明に適用する動機付けは存在せず，相違点 １３−３に係る構成が容易想到であったとはいえない。 したがって，審決の相違点１３−３の判断には，誤りがある。 イ 相違点１３−４に係る審決の判断について 電荷結合素子である光検出器が本件優先日前周知であったとしても，この技術を 他の技術ないし発明に適用することが容易に想到できたといえるためには，それな りの動機付けが必要である。先行技術文献のいずれにも，上記周知技術を甲１３発 明に適用することを動機付ける記載は見当たらない。 甲１３には，「…これまで特にＰＳ-ＰＭＴが他よりもとりわけて超高感度である とは考えられていなかったのはうなずける。ところがもし，スペクトルのＹ軸方向 への広がりを極端にせばめることができたとしたら，チャンネルあたりのノイズは 著しく減少するはずである。たとえばＹ軸方向への広がりを５ピクセル以下にする ことができれば，チャンネルあたり毎秒５−１０×１０−５カウントのノイズ・レベ ルとすることができ，ＩＰＤＡやＣＣＤにおける毎秒０.００１−０.０１カウント のパルス・ノイズも存在しないことから，極限的な微弱光の高感度ラマン分光が可 能となる。」と記載されており（５頁１５〜２２行目），甲１３発明は，ＰＳ−ＰＭ Ｔを用いるからこそ，その目的（極限的な微弱光の高感度ラマン分光）を達成でき ると考えられる。 原告は， 「電荷結合素子である」 「光検出器」が周知技術であることを指摘するが， 仮にそうだとしても，そのこと自体は，当該技術を甲１３発明に適用する動機付け にはならない。 そうすると，相違点１３-４に係る構成が容易想到であったとはいえない。 したがって，審決の相違点１３−４の判断には，誤りがある。 ６ 取消事由６（明確性要件違反）に対して 本件明細書には，「所与の領域」（実施例では線４４の領域）の決定に関連する具 体的な記載がある（第６欄２〜４５行目， 第７欄２４〜３３行目，第２図，第３図， 第５図）。 また，所与の領域を狭くすると，サンプルの他の面からの光を多くカットできる が，受光量が小さくなってしまうこと，及び，所与の領域を広くすると，受光量は 大きくなるが，他の面からの光をも多く処理してしまうことは，技術常識である。 そうすると，当業者であれば，上記本件明細書の記載及び技術常識に基づいて， サンプルの他の面からの光をカットする程度（第二の次元の共焦点作用をもたらす 程度），検出する受光量の程度等を考慮し，「所与の領域」を適宜決定することがで きる。 そうすると，本件発明７の「所与の領域」は不明確ではない。 したがって，審決の明確性要件の判断には，誤りはない。 第５ 当裁判所の判断 １ 認定事実 ア 本件発明について (ｱ) 本件明細書の記載 本件訂正後の本件発明７に係る明細書及び図面（本件明細書）には，次の記載が ある。（甲３０〜３２） 「技術分野 本発明は，例えばラマン効果を利用してサンプルを分析するのに分光分析が使用される装置 および方法に関するものである。（第３欄４３〜４６行目） 」 「背景技術 ラマン効果はサンプルが所与の周波数の入射光を散乱して入射光とサンプルを構成する分子 との相互作用により惹起される線を有する周波数スペクトルにする現象である。分子種が異な ると特徴的ラマンスペクトルが異なり，そのためこの効果はサンプル中に存在している分子種 の分析に使用することができる。 …ＷＯ９０/０７１０８号公報は生じたラマン散乱光は２次元光検出アレイである電荷結合 素子（ＣＣＤ）上に合焦，つまり焦点を結ばせてもよいことも開示している。 サンプルが単色光または多色光さえも照射され，散乱光が分析される他の分光分析技術も知 られている。…そのような技術を共焦点法で使用してサンプルの一定の面から散乱された光の みを分析することも可能である。これは散乱された光をレンズ系の焦点に非常に小さなピンホ ール（典型的には１０μｍ）を備えた空間フィルタを通過させることを含む。要求された面か ら散乱された光はピンホールにおいて緊密に焦点を絞られて通過するが，他の面からの光は焦 点がそれほど緊密（ｔｉｇｈｔ）に絞られず遮断される。しかしながら，そのような空間フィルタは 正確に構成するのが難しい。というのは，光学要素を注意深く整合（アラインメント）させて 散乱された光を非常に小さなピンホール上に緊密に焦点合わせすることを保証する必要がある からである。（第３欄４７行〜第４欄３４行目） 」 「発明の開示 本発明は，サンプルに光を照射して散乱光スペクトルを得るステップと，前記スペクトルを 分析するステップと，前記分析されたスペクトルの少なくとも一つの成分を光検出器に通し， 前記サンプルの所与の面から散乱する光を前記光検出器の所与の領域に合焦させ，前記サンプ ルの他の面から散乱する光を前記光検出器に合焦させないステップとを具備する分光分析方法 であって，前記光はスリットを備えた一次元空間フィルタを通過して第一の次元で共焦点作用 をもたらし，前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が，前記所与の領域外で受ける光を含 まずに，またはこの光と分離して検出され，前記所与の領域は前記第一の次元を横切る第二の 次元で共焦点作用をもたらすように形成されていることを特徴とするものである。 また，本発明は，サンプルに光を照射して散乱光のスペクトルを得る手段と，前記スペクト ルを分析する手段と，光検出器と，前記分析されたスペクトルの少なくとも一つの成分を前記 光検出器に通し，前記サンプルの所与の面から散乱された光を前記光検出器の所与の領域に合 焦させ前記サンプルの他の面から散乱された光を前記光検出器に合焦させない手段とを具備す る分光分析装置であって，前記光はスリットを備えた一次元空間フィルタを通過して第一の次 元で共焦点作用をもたらし，前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が，前記所与の領域外 で受ける光を含まずに，またはこの光と分離して検出され，前記所与の領域は前記第一の次元 を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されており，前記サンプルの前記所与 の面の焦点からの散乱光は，前記スリットにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて前記 スリットを通過し，前記サンプルの前記所与の面の前記焦点の前または後で散乱される光は， 前記スリットにおいて焦点を結ばず，前記サンプルに光を照射するのと，前記サンプルからの 散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられ，前記光検出器は電荷結合素子であることを 特徴とする分光分析装置を提供する。（第４欄４０行〜第５欄６行目〔訂正後〕 」 ） 「発明を実施するための最良の形態 第１図に示される装置の第１の実施例…。入力レーザビーム１０は光路に４５゜に置かれた ダイクロイックフィルタ１２により９０゜反射される。次いで，このレーザビームは顕微鏡対 物レンズ１６に送られる。このレンズはこのレーザビームをサンプル１８上の焦点１９におけ るスポットに焦点を結ばせる。光はこの照射されたスポットでサンプルにより散乱され，顕微 鏡対物レンズ１６により集光され，平行ビームに平行化（コリメート）され，ダイクロイック フィルタ１２に戻る。フィルタ１２は入力レーザビーム１０と同じ周波数を持つレーリー散乱 光を遮断し，ラマン散乱光を伝送する。ラマン散乱光は次いでラマン分析器２０に送られる。 ラマン分析器２０は…関心のあるラマン線を選定するための波長可変非分散性フィルタを１ つまたは複数個備えている。あるいは，…回折格子のような分散性エレメントを備えていても よい。いずれの場合も，分析器２０からの光はレンズ２２により適当な光検出器上に焦点を結 ぶ。２次元光検出器アレイが好ましい。本実施例では，電荷結合素子（ＣＣＤ）２４が使用さ れる。ＣＣＤはピクセルの２次元アレイからなり，コンピュータに接続される。コンピュータ は各ピクセルからデータを獲得し，それを必要に応じて分析する。ラマン分析器２０が波長可 変非分散性フィルタを備えている場合，選定されたラマン周波数の光がＣＣＤ２４の２６に焦 点を結ぶ。回折格子のような分散性エレメントが使用されている場合，分析器２０は単一のス ポットではなく，ＣＣＤ２４に沿って線上に広がる破線２８で示される種々のバンドを持つス ペクトルを生じる。（第５欄１９行目〜第６欄１行目） 」 「 」 「 レンズ１６の焦点１９からの光はＣＣＤ上に緊密な焦点を結ぶ。しかしながら，破線３６ で示されるように，焦点１９の前または後の光はより拡散した焦点になる。分析器２０に非分 散性フィルタが使用される場合，効果はＣＣＤ２４の部分の平面図である第２図に示されてい る。ＣＣＤの個々のピクセルが正方形４０として示されている。ピクセルのピッチは典型的に は２２μｍ以下でよい。円２６は焦点１９から散乱された光の分布を表し，円３８はサンプル の他の場所から散乱された光のより拡散した焦点を表す。データを分析するときは，コンピュ ータは，２６に焦点を結んだ光を受ける，影をつけて示された数個のピクセル４２をまとめて 貯蔵する。円３８の他の場所からの外光（無関係の光）はコンピュータにより無視される。こ れは，データを各ピクセル４２から順番に読取，ピクセル４２からのデータを一緒に加え，残 りを無視するコンピュータソフトウェアにより容易に達成される。 ＣＣＤをコンピュータと組み合わせると，このように，従来の空間フィルタにおけるピンホ ールと同じ効果を与える。レンズ１６がサンプルの表面に焦点を結ぶと，サンプル内の表面の 背後から散乱された光をフィルタリングして取り除くことができ，表面自体の分析も行うこと ができる。あるいは，レンズ１６を故意にサンプル内の点に焦点を結ばせて表面から散乱され た光をフィルタリングして取り除くことができる。このように，余分の空間フィルタを使用し ないでも共焦点作用が達成されていた。（第６欄２〜２６行目） 」 「【第２図】 」 「 回折格子その他の分散性エレメントが第１図の分析器２０として使用され，単一のラマン バンドでなく完全なラマンスペクトルを見ることが望まれているときは，完全な共焦点分光分 析はそのような単純なソフトウェアでは不可能である。しかしながら，第３図に示すようにＣ ＣＤ２４とコンピュータ２５を操作することにより部分的共焦点作用を達成することができる。 回折格子はサンプルからのラマンスペクトルをＣＣＤを横切って一つの線に分散させる。この 線の幅は例えば第３図のＣＣＤ上の線４４同士の間の影を付けてない領域の焦点１９から散乱 された光に対して最も小さい。焦点１９を含む焦点面の外側の面からの光は第３図の線４６同 士の間に定義されるようなもっと幅広な線に散乱される。従って，部分的共焦点作用を得るに は，コンピュータ２５は，線４４同士の間の領域にあるＣＣＤのピクセルからだけデータを獲 得し，ＣＣＤの他の場所で受領された光を排除するように（上述したのと同様の仕方で）プロ グラムされる。これにより，焦点１９の外側からの第３図の影を付けた領域で受領された光が 排除される。（第６欄２７〜４５行目） 」 「【第３図】 」 「 第３図の構成が部分的共焦点作用のみを発揮する理由は，ＣＣＤとコンピュータにより提 供される空間フィルタリングが一次元でのみ起こり，二次元では起きないからである。これは， 第１図のものと同じエレメントに空間フィルタ１４を加えた第４図の実施例を使用することに より克服できる。第１図で使用したのと同じ参照番号が使用されている。 空間フィルタ１４は２つのレンズ３２,３４と，紙面に鉛直に延びるスリット３０を有するス クリーン３１とを備えている。レンズ３２は散乱された光の平行ビームをスリット３０を通過 する非常に緊密な焦点に絞り込まれ，レンズ３４はこの光を再び平行化して平行ビームに戻す。 入力レーザビーム１０は同様に非常に小さいスポットに絞り込まれてスリット３０を通過する。 このスリット３０の効果は顕微鏡対物レンズ１６が共焦点的に作用することにある。すなわち， 実質的にレンズ１６の焦点１９で散乱された光だけがスリット３０を通過する。破線３６で示 したように，焦点１９の前または後で散乱される光は穴３０で焦点を結ばないため，実質的に スクリーン３１により遮断される。（第６欄４６行〜第７欄１４行目） 」 「【第４図】 」 「 第５図は，ＣＣＤを第４図の実施例で使用したときの第２図および第３図に対応する平面 図である。スリット３０を通過する光は回折格子分析器２０によりラマンスペクトルの個々の バンド２８に分散される。スリット３０がないと，バンド２８に対応するが焦点１９の外側か ら散乱された光が破線対４８,５０の間にあるもっと広い領域に現れる。スリット３０は一次元 空間フィルタリングのみを提供し，ラマンバンド２８のそれぞれが第５図の水平方向に空間的 にフィルタリングされるようにしていることが認められるであろう。しかしながら，焦点１９ の外側からの若干の光が依然としてスリット３０を通過し第３図の影を付けた領域に対応する 第５図の領域において受領されることがある。これを克服するには，コンピュータ２５を第３ 図の実施例におけると同様にプログラムして，線４４同士の間にあるピクセルからのデータだ けを処理し，線４６同士の間にある他のピクセルを排除する。これにより，垂直方向における 空間フィルタリングが得られ，スリット３０により与えられる水平空間フィルタリングと一緒 に，完全な二次元共焦点作用が達成される。（第７欄１５〜３３行目） 」 「【第５図】 」 「 スリット３０の代りにピンホールを使用した構成に対するこの構成の利点はピンホールよ りもスリットの方が整列するのがより容易であることにある。（第７欄３４〜３６行目） 」 「 所望により，１２で示す位置の代りに第４図の１２Ａにおいて破線で示す位置にダイクロ イックフィルタを設けることが可能である。レーザビームはそのとき１０の代りに１０Ａで系 に入射する。この構成は入力レーザビームは空間フィルタ１４を通過する必要がないという利 点を有する。その結果，レーザビームが穴３０の縁に当り，そこからの散乱を生じるという危 険がない。そのような散乱は望ましくない。というのは，穴の縁が極端に清浄に保たれない限 り，汚れが少しでもあると未知のラマン散乱光を生じて分析器２０を通過してＣＣＤ２４上に 記録されるからである。逆に，ダイクロイックフィルタを位置１２に配置することは，装置を 設定するときに容易に視ることのできる光を使用して穴３０の位置を調整できるという利点を 有する。１２Ａにおけるダイクロイックフィルタでは，ダイクロイックフィルタを通過して空 間フィルタ１４に至るラマン散乱光は満足に視ることができない。さらに，ダイクロイックフ ィルタを１２に置くことは，空間フィルタ１４は…既存の装置に対して顕微鏡と装置の残りと の間に容易に追加でき，調整のために容易に接近できることを意味する。 （第７欄３７行〜第 」 ８欄６行目） 「 空間フィルタとして動作するためには，スリット３０の幅は非常に小さく，典型的には１ ０μｍ以下でなければならない。最大値は５０μｍになろう。このように，スリット３０は，十 分量の光を集めるために例えば最低２００μｍのようにずっと大きな従来のモノクロメータに 普通に設けられている入口スリット，出口スリットと混同されるべきでない。（第８欄７〜１ 」 ３行目） 「 上述した本発明の種々の例ではＣＣＤを検知器として使用した。しかし，第２図において 円２６内に光を検出し，この円の外側の光を遮断するには，正しいサイズの，例えば雪崩型フ ォトダイオードの単一の光検出器を使用することが可能である。この構成も回折格子により生 成される単一のラマンバンドを検出するのに使用することができる。第３図および第５図にお いて線４４同士の間の光を検出し，他の光を遮断するには，適当な幅を持つ一次元（すなわち， 線形）光検出器アレイを使用することができる。（第８欄１４〜２３行目） 」 (ｲ) 本件発明７〜本件発明１３の特徴 従来技術のラマン分析装置において，共焦点法（レーザからの光を対物レンズで 絞って一点に照射し，そこで発生した光を対物レンズで集めて結像させる手法であ り，励起光と蛍光とが焦点を共有する。）を使用して，サンプルの一定の面から散乱 された光のみを分析しようとする場合において，ピンホールのような空間フィルタ を用いて，要求された面以外の面からの光を遮断することができるが，要求された 面からの散乱光を非常に小さなピンホール上に正確に焦点を合わせることが困難で あるとの課題があった。そこで，本件発明７〜本件発明１３は，この課題を，ピン ホールに替えて，空間フィルタとして，比較的位置合わせの容易なスリットを用い るとともに，光検出器上のコンピュータ処理による読取領域の制限も加えて，ピン ホールを用いた場合と同様の共焦点作用を達成させることで解決を図った分光分析 装置を提供するものである。そして，その構成の要点として，@［1］サンプルから の散乱光を，まず，スリットにおいて合焦させ，スリットを通過させることで，第 一の次元（Ｘ方向又はＹ方向）で所与の面以外からの散乱光を除き，［2］さらに， 光検出器において合焦させ，所与の領域に読取を制限することで，第二の次元（Ｙ 方向又はＸ方向）で所与の面以外からの散乱光を除くこことし，［3］サンプルに光 を照射するレンズとサンプルからの散乱光を集光するレンズが同一であり，［4］ま た，光検出器が電荷結合素子（ＣＣＤ）であるとの限定を加え（本件発明７），さら に，A本件発明７において，前記光検出器の所与の領域が細長いこと（本件発明８）， B本件発明７又は本件発明８において，前記光検出器の所与の領域がスリットを横 切る方向に延在していること（本件発明９） C本件発明７から本件発明９までのい ， ずれかにおいて，前記光検出器がピクセルのアレイを備えたこと（本件発明１０）， D本件発明１０において，所与の領域のピクセルの一部からのデータを選択的にま とめて貯蔵する手段を有すること（本件発明１１） E本件発明１０又は本件発明１ ， １において，前記光検出器はピクセルの２次元アレイを備え，アレイにより与えら れるイメージを表すデータを受け，このイメージデータを処理して合焦される光を 検出する計算手段を有すること（本件発明１２） F本件発明７から本件発明１２ま ， でのいずれかにおいて，スペクトルがラマン散乱光のスペクトルであること（本件 発明１３），としたものである。 イ 甲１３発明について 甲１３（「高感度ラマン分光法の最近の動向と半導体超薄膜への応用」）には，次 の記載がある。 「ＥＦＭ−９０−３０」（１頁欄外右上） 「 ラマン分光法は，物質中にエネルギーＥ０を持つ光（フォトン）を入射すると，格子振動（フ ォノン）などの素励起（エネルギーをＥとする）の吸収や放出により，もとの光とは異なるエ ネルギーＥ０±Ｅの光が放出されるい非弾性散乱の一種である。…非破壊・非接触であり，温度・ 圧力などの環境を問わない，固体・液体・気体など形状や大きさを問わないなどの長所を持つ。」 （１頁５〜１２行目） 「 今日，様々なタイプのマルチ・チャンネル検出器が市販されてきている。代表的なものと して，イメージ・インテンシファイヤ付きフォトダイオード・アレイ検出器（以下ＩＰＤＡと 略す），チャージ・カップルド・デバイス検出器（以下ＣＣＤと略す），位置検出型光電子増倍 管（以下ＰＳ−ＰＭＴと略す）の三種があげられる。現在マルチ・ラマン測光用にもっとも普 及しているのはＩＰＤＡであり，他の２種は最近やっと普及し始めたところである。表１に主 要なパラメータを比較して示した。これらの検出器にはいずれも一長一短あり，現在のところ まだ相対的な評価は定まっていない。これらの検出器を用いると，通常の光電子増倍管換算で 毎秒０.１カウント程度の信号も容易に検出可能である。ここでＰＳ−ＰＭＴのダークについて は，後述のように一次元検出器としての値であることに注意されたい。 このようなシステムによって，様々な薄膜のラマン検出が行われるようになった。たとえば ラングミュア・プロジェット膜の１モノレイヤからの信号検出について，トリプル分光器とＩ ＰＤＡ，あるいはトリプル分光器と冷却された電化（「電荷」の誤記と認める。）結合素子検出 器（以下ＣＣＤと略す）による報告がある。またゲルマニウムの数モノレイヤからのラマン信 号検出がトリプル分光器と位置検出型光電子増倍管によりなされている。 表１ 多チャンネル検出器の性能比較 ───────────────────────────────── ＩＰＤＡ ＣＣＤ ＰＳ−ＰＭＴ ───────────────────────────────── 量子効率 5-15％ 40-80％ 15％ 波長領域 400-800ｎｍ 300-1000ｎｍ 300-900ｎｍ 読みだしノイズ 1500ｅ 10ｅ なし 空間歪み 1％ なし 5％ 感度の位置変動 20% 2-7％ 5％ 線形性 1%以下 2%以下 2-5% ダーク 0.005 ｃ/ｓ 0.01 ｃ/ｓ 0.002-0.008 ｃ/ｓ 読みだし時間 10-20ｍｓ 1-10ｓ 1ｍｓ 空間分解能 50-100μｍ 18-30μｍ 40-70μｍ ─────────────────────────────────」 （２頁２３行〜３頁表１） 「３.１ 検出器の選択 多重検出器のうち，アナログ検出器であるＩＰＤＡやＣＣＤは，強いパルス・ノイズに対し てそのエネルギーに比例した応答を示すので，通常は，長時間微弱な信号を積算しているうち にパルス・ノイズがスペクトルのあちこちに現れ，無視できない数になってしまう。経験的に はこれは光電子増倍管換算でチャンネルあたり毎秒０.００１−０.０１カウントのノイズにな る。これらは主として宇宙からの高エネルギー粒子線によるものなので，避けることは困難で ある。ひとつの対策として測定を数回繰り返し，再現しないピークについてはこれを取り除く， ソフトウエアによる解決方法があるにはあるが，信号そのものを損なうおそれもあり，抜本的 な解決策とはいえない。これに対して，ＰＳ−ＰＭＴのようなデジタル検出器においては，信 号は常にフォトン・カウンティングによってひとつひとつ数えられている。普通は波高弁別器 によってエネルギーの高いもしくは低いノイズと正しい信号とを選別して測定しており，また たとえ宇宙線ノイズがはいったとしても１カウントと数えられるだけである。今回我々は超微 弱信号の検出を目的としているので，以上の理由によりＰＳ−ＰＭＴを採用することにした。 但し，量子効率の絶対値や赤外域の感度などを重んじるならばＣＣＤ検出器の方が優れている など，目的によって選択は異なってくることを注意しておく。（３頁１２行〜４頁８行目） 」 「３.２ 二次元検出器と非点収差補正 グレーティングを使用した分光器では，レンズのような透過型光学素子ではなく球面鏡のよ うな反射型光学素子を使わざるを得ないので，同軸光学系を使用することができず，非点収差 の問題が生じる。球面鏡の法線方向と光の入射方向のなす角 α が０でない場合には，入射面内 とそれに垂直な方向とで，焦点距離が異なってくる。焦点距離をｆとする時，この焦点距離の 差はｆ・ｓｉｎ２α で与えられる。本来ならばそれぞれに対応した曲率半径を持つ楕円面鏡を使用す ることにより，非点収差のない光学系を形成すべきである。しかし，通常の分光器ではこれを 省略し，上記の入射面内の焦点がスリットの位置に来るように設計する。入口スリット上の点 光源は，出口スリット上でスリットの長さ方向（以下Ｙ方向と呼ぶ）に線状に広がるが，光の 分散方向（以下Ｘ方向と呼ぶ）に対しては焦点が得られているので，ｓｉｎ２α《１の近似が成り 立つ範囲で，分光器の性能としては一応問題がない。光学系をできるだけコンパクトに設計し 明るさは損なわない範囲でαを小さくするとか，ダブル分光器ではふたつの分光器によって生 じる非点収差が互いにキャンセルするように光学系を立体的に折り返すように配置するなどの 工夫が知られている。出口スリットの像は厳密には線状ではなく少し弓形の像になるので，弓 形のスリットを使用するなどの技術も開発されている。 単チャンネルの検出器や一次元検出器の場合には，このようなＹ方向への像の広がりは，検 出器の受光面の広がりの範囲内に納まってさえいれば，これを全て積算できるので問題はない。 しかし二次元検出器の場合にはこのことは装置全体の感度限界を考える上で重要である。二次 元検出ではＹ方向に信号を積算して，Ｘ方向の一次元検出器に変換して使用する。例えばＣＣ Ｄ検出器の場合には，この積算過程のことをビンニングと呼んでいる。ビンニングされる素子 の数をできるだけ減らすことにより，ノイズの取り込みを抑えることができる。この効果はＰ Ｓ−ＰＭＴ検出器の場合により顕著である。非点収差による像の広がりのため，Ｙ方向に数百 チャンネル積算しなければならない場合には，第１表の比較に見られる通り，ＩＰＤＡなどの 一次元検出器に比べて著しく高感度というわけではない。しかし，非点収差を補正して検出器 位置でのＹ方向の像の広がりを抑えることにより，この積算チャンネル数を減少させることが できれば，実効的な感度ははるかに向上する。 ＰＳ−ＰＭＴのノイズは通常の光電子増倍管と同様に主として光電面付近での何らかの光ま たは電子ノイズによっており，これは通常，毎秒１０−２０カウント程度である。従って，１ ０２４×１０２４ピクセルの二次元配列でピクセル位置を特定すると，そこでのノイズはピク セルあたり毎秒１−２×１０−５カウントである。さて多重検出によるラマン分光においては， ＰＳ−ＰＭＴは単なる一次元の多重検出器として用いられてきた。ＰＳ−ＰＭＴの受光面上で スペクトルの方向をＸ軸にそれに垂直な方向をＹ軸に取ると，通常の分光器では，スペクトル は各波長でＹ軸方向に２００−４００ピクセル分広がっており，これを足し合わせて一次元の データとしている。Ｙ軸方向に全１０２４ピクセル足し合わせたとしたら，各チャンネルでの ノイズは毎秒１−２×１０−２カウントとなり，信号の存在する中央の２００−４００ピクセル 分のみ足し合わせたとしても毎秒２−８×１０−３カウントとなる。このようなノイズ・レベル はＩＰＤＡや高感度ＣＣＤの値とそれほど違わず，これまで特にＰＳ−ＰＭＴが他よりもとり わけて超高感度であるとは考えられていなかったのはうなずける。 ところがもし，スペクトルのＹ軸方向への広がりを極端にせばめることができたとしたら， チャンネルあたりのノイズは著しく減少するはずである。たとえばＹ軸方向への広がりを５ピ クセル以下にすることができれば，チャンネルあたり毎秒５−１０×１０−５カウントのノイ ズ・レベルとすることができ，ＩＰＤＡやＣＣＤにおける０.００１−０.０１カウントのパル ス・ノイズも存在しないことから，極限的な微弱光の高感度ラマン分光が可能となる。（４頁 」 ９行〜５頁２２行目） 「３.３ 高感度ラマン分光光学系 図１に我々の使用している分光光学系の概略を示す。トリプル・ポリクロメータ分光器とし てはＤｉｌｏｒ社のモデルＸＹを使用した。前段フィルタ・ステージの差分散型ダブル分光器は５０ ｃｍと比較的長い焦点距離を持ち，低波数側でのレイリー散乱光などの除去率が良いと考えられ る。後段のポリクロメータは入射側が５０ｃｍ，出射側が６０ｃｍの焦点距離の集光系を用いて いる。α は約６°と比較的小さく，ダブル分光器は互いに収差を打ち消すように設計されてい る。 検出器としては，ストレート側にＩＰＤＡ検出器（Ｄｉｌｏｒ社のゴールドモデル）を，サイド側 に切り替え用の反射鏡を使ってＰＳ−ＰＭＴ（ＩＴＴ社のモデルＦ４１４６Ｍ）を設置した。 両検出器の性能はミラーを切り替えて直接比較することができる。ＰＳ−ＰＭＴのフォトカソ ード面はマルチアルカリを使用し，３００−９００ｎｍで感度を持つ。５００ｎｍでの量子効率 は１４％，位置分解能は半値全幅で５２μｍ（約２チャンネル分）である。ペルチェ冷却器を 用いて−３０℃に冷却した時のダーク・カウントは２５ｍｍφ 径のフォトカソード領域全体で 毎秒約９カウントである。この値は，２５μｍ角の各ピクセルあたりで，毎秒７−９×１０ −６ カウントに相当する。 非点収差補正は，入口スリットの手前にシリンドリカル・レンズの光学系を導入する外部補 正方式に依った。調整は，ＩＰＤＡの代わりにモニター用のＣＣＤカメラを設置して，Ｈｇラン プなどの単色光を光源とし，試料位置に置いたグリッド・パターンの像を観察して行った。非 点収差補正光学系の調整が完全に行われると，入口スリットのところでのグリッドの像がその まま検出器の位置ではっきりした像に転送される。その精度は１０μｍ以下であり，検出器の ピクセル・サイズ２５μｍよりもずっと小さくできる。またレンズの色収差を考えると，波長 の変化に伴って補正レンズ系の位置を変化させる必要があるが，この値は実は４００ｎｍと９０ ０ｎｍの間で１ｍｍ以下と非常に小さい。従って通常は多チャンネル検出器で一度に測定できる 領域が最大５００−１０００ｃｍ−１であることから，受光面上での色収差による像のぼけは無視 できる。むしろ検出器の受光面をどれだけ正確にポリクロメータの焦点面に一致させることが できるかで測定精度が決まる。この時，ＰＳ−ＰＭＴの移動の自由度としては，焦点を合わせ るための前後の移動とあおり２種，分光器の分散方向に正確に合わせるための回転の計４軸が 重要である。さらに，有効受光面を適切な位置に置くためのＸＹ方向の平行移動と合わせて， 計６軸を再現性良く微調整できるように設計されている。（５頁２３行〜６頁１９行目） 」 「３．４ 性能評価 先に述べたようなダーク・カウント数でノイズ・レベルを論じるやり方は，実は適正とはい えない。ラマン装置の性能は，単に分光器や検出器の性能だけできまるものではなく，試料か らの散乱光の集光光学系の能率をはじめ，試料に対する入射方法の工夫などがむしろ重要であ ることも多い。また，ダブル分光器はトリプル分光器よりもずっと明るいので，ダークの絶対 値のみから優劣を論じることは危険である。そこで我々は，単結晶シリコンのフォノン・モー ドの測定による分光器性能の評価法を提案した。今日，純度の高いシリコン・ウエーハを入手 することは容易であり，またその５２０ｃｍ−１のピークのスペクトルは試料によらず不変である。 従って，以下のような測定を行うことにより，あらゆる装置の実効的な性能比較が可能になる と考えられる。 図２の(ａ)と(ｂ)は，Ａｒ＋レーザの５１５ｎｍ線による励起で，シリコン(１００)ウエーハの ５２０ｃｍ−１付近のピークの測定を行った時の，ＰＳ−ＰＭＴの二次元画像である。(ｂ)は(ａ) の一部を拡大してある。レーザ用のフィルター分光器をわざと取り外し，Ａｒ＋レーザからのプ ラズマ発光線をも測定するようにしてある。全スペクトル領域で，Ｙ方向への信号の広がりは ３−４ピクセルすなわち１００μｍ以下である。この広がりは，測定時の入射スリット幅１０ ０μｍ（検出器位置で１２５μｍに相当）と検出器の分解能５２μｍの和よりも小さい。図２の （ｃ)は(ｂ)のデータを用いてＹ方向に５ピクセルずつ加算して得たラマン・スペクトルである。 図３と図４は，単結晶シリコンの５２０ｃｍ−１付近のピークについて，試料に入射されるレー ザの強度を一桁づつ下げ，同時に測定時間を十倍づつ増大させながら測定した例である。この ようにすれば，非常に微弱なラマン信号を再現性良く作り出すことができ，入射光学系を含め た装置を定量的に評価することができる。ここでは入射光学系として顕微集光光学系を用い， ビーム径を試料上で１μｍに絞って測定した。１００倍の対物レンズにより幅１００μｍの入口 スリット上に転送される。図３はＰＳ−ＰＭＴを用いた測定結果で，図４には比較のため，ポ リクロメータ出口のストレート方向に設置されたＩＰＤＡによる測定結果を示す。ＰＳ−ＰＭ Ｔの場合には図２の時と同様にＹ方向に５ピクセルを加算した。ＩＰＤＡによる測定では，１ ０μＷ励起の時パルス・ノイズが無視できなくなってきており，１μＷ励起ではノイズのため 測定不能になっている。これらはそれぞれ光電子増倍管換算で毎秒０.１カウントと毎秒０.０ １カウントの信号強度に対応している。一方，ＰＳ−ＰＭＴでは，１００ｎＷ励起の時には非常 に高いＳＮ比で良好なスペクトルが得られており，１０ｎＷ励起の時でも十分なＳＮ比で信号が 検出されている。これらはそれぞれ毎秒０.００１カウント，毎秒０.０００１カウントの信号 強度に相当している。１０ｎＷ励起のデータからノイズ・レベルは毎秒４−５×１０−５カウン トと見積もられる。これは非点収差補正を行わなかった場合に比べて３０乃至６０分の１のノ イズになっている。補正のない場合には１μＷ励起でも信号とノイズの強度がほぼ等しくなり， 従ってＩＰＤＡの場合とけた違いに高感度というわけではない。このことは従来からの報告と 整合している。（６頁２０行〜８頁１４行目） 」 「 」 「 」 ２ 取消事由５(甲１３発明に対する進歩性の判断誤り)について 事案にかんがみて，まず，取消事由５について検討する。 (1) 取消事由５−１（相違点１３−１に係る相違点判断の誤り）について ア 相違点１３−１につき 相違点１３−１は，要するに，本件発明７では，スリットにおいて第一の次元の 共焦点作用をもたらすのに対し，甲１３発明では，入射スリットがそのような共焦 点作用をもたらしているか否か不明である，というものである。 しかるところ，@光学要素としてスリットを備えた１次元空間フィルタ自体及び このようなスリットを備えた１次元空間フィルタが共焦点作用をもたらすことも， いずれも技術常識であることは，審決において認定するところであり（３５頁２７ 行〜３３行目）被告も， ， そのこと自体を争っているものとは認められない。さらに， 審決は，A甲６には，スリットの幅が空間分解能に関係することが記載されている ところ（１３３頁右欄２１行〜１３９頁左欄９行目） 空間分解能を上げるためにス ， リットの幅を狭めていくと，１次元の共焦点作用が生じるのであるから，ある程度 以上空間分解能を上げる場合は，共焦点作用のためのものともいえると認定してお り（３６頁），その認定に誤りは認められない。 したがって，甲１３に接した当業者は，甲１３発明の入射スリットの幅が共焦点 作用を生じるに足りるものであれば，共焦点作用（その性質上１次元のものである。） がもたらされていると認識するといえる。 これについて，審決は，甲１３に，甲１３発明の入射スリットの幅が１００μｍ と記載されていることから，本件発明７のスリットに相当するものではないと認定 している。 したがって，まず検討すべき点は，甲１３発明の入射スリットが共焦点作用を生 じ得るに足るものであるか否かである。 イ 甲１３発明の入射スリットにおける共焦点作用の存否につき 「結像光学入門」 （１９８８）９５〜９７頁（甲３６）には，レンズ系により結像 したとき光が集中している領域である「エアリーディスク」の直径ｄ，光の波長λ， 像側のレンズの分解能を定める指数である開口数「ＮＡ像側」との間に ｄ＝１.２２λ/ＮＡ像側 との関係があるとの記載がある（９６頁４−２７式）。 また，対物レンズの倍率をＭとして，ＮＡ物体側＝ＮＡ像側×Ｍであると認められ るから（９７頁４−２８式，４−２９式）， ｄ＝（１.２２×λ/ＮＡ物体側）×Ｍ となる。 ここで，甲１３発明において，サンプルからスリットまでの倍率Ｍは１００倍で あるから（７頁８〜９行目），ＮＡ物体側を最大値である１とすると（ＮＡ物体側は空 気中では１を超えないから，エアリーディスク径としては最小値が算出される。， ） Ａｒ＋レーザの５１５ｎｍ線のスリット上でのエアリーディスク径の最小値ｄ ｍｉｎは， 次のとおり，６３μｍである。 ｄｍｉｎ＝（１.２２×λ/ＮＡ物体側 max）×Ｍ ＝（１.２２×０.５１５/１）×１００ ＝６３［μｍ］ また，ラマン散乱光の波長λ´は光源光のレーザの波長λよりも長いから，ラマ ン散乱光によって形成されるスリット上でのエアリーディスク径の最小値は，上記 ｄｍｉｎよりも大きい。 そして，甲１３発明の入射スリットの幅は，１００μｍであるから（７頁３６行 目）スリット幅とラマン散乱光によってスリット上で形成されるエアリーディスク ， 径との比は１.５９（１００/６３）よりも大きくなることはない。 しかるところ，特開平２−２４７６０５号公報（甲３７）には， 「検出器の面積を， その半径がエアリディスクと同じ，または，エアリディスクの２倍まで広げた場合， …３次元分解能をもっていることがわかる。このような光学系は，一様照明落射型 蛍光顕微鏡が全く分解をもたなかったｚ方向のみに構造の変化をもつ試料に対して も分解をもつ。」との記載（５頁左上欄６〜１２行目）が，甲３８には，「エアリー ディスクより２倍広い検出器を有する顕微鏡も，２μｍの分解能で長さ方向の構造 を分解することができる。 との記載 」 （１７２頁右欄４９〜５１行目）がある。また， 甲４１には， △ｘ(ＦＷＨＭ)＝０.５１×λ/ＮＡ と記載されており（４０６５頁左欄），このＮＡはＮＡ像側であると解されるから， △ｘ(ＦＷＨＭ)＝（０.５１×λ/ＮＡ物体側）×Ｍ となる。これと，これをエアリーディスクの直径 ｄ＝（１.２２×λ/ＮＡ物体側）×Ｍ と比較すると，エアリーディスクの直径は，そのＦＷＨＭの大きさの約２． （１. ４倍 ２２/０.５１＝２.３９２）であると認められる。そして，甲４０には，ＦＷＨＭを １とした場合の直径６の検出ピンホールが回折限界エアリー分布の中に示されてい るから，ピンホールの大きさがエアリーディスクの直径の２.５倍（６/２.４＝２. ５）までは，共焦点作用を有することが示されていると認められる。 そうすると，スリット幅とエアリーディスク径との比が１.５９である甲１３発明 においては，甲１３発明の入射スリットにおいて，第一の次元での共焦点作用をも たらすものと認められる。 ウ 被告の主張に対して (ｱ) 共焦点作用の記載・示唆について @ 被告は，甲１３発明は共焦点作用に関するものではなく，甲１３発明の構成 で共焦点作用が生じているとしても，それはたまたまに生じているにすぎないから， 当業者は，甲１３発明の入射スリットにおいて共焦点作用が生じていると認識する ものではない旨を主張する。 しかしながら，入射スリットの幅が１００μｍであり，対物レンズの倍率が１０ ０倍であり，光源光の波長が５１５ｎｍであるのは，甲１３に明示的に記載された条 件であり，また，共焦点作用が生じているか否かは，これら条件に基づき算式を用 いて自動的に導かれるものであるから，共焦点作用は，甲１３発明から当然に導か れる事項にほかならない。そして，上記アのとおり，スリットを備えた１次元空間 フィルタ自体及びこのようなスリットを備えた１次元空間フィルタが共焦点作用を もたらすことは技術常識であり，現に甲１３発明の入射スリットは，共焦点作用が もたらされるように構成されているのであるから，甲１３に接した当業者は，甲１ ３発明の入射スリットにおいて共焦点作用が生じていると認識するものである。 被告の上記主張は，採用することができない。 A 被告は，甲１３発明の入射スリットが，波長分解能の調整を行うものであり， そのことが技術常識である一方で，その入射スリットが共焦点作用をもたらすこと は技術常識ではないことを前提とする主張をするが，その前提が採用し得ないこと は，上記アに認定判断のとおりである。波長分解能の調整を行うスリットであるか らといって共焦点作用が否定されるわけではなく，両者は両立し得るものである。 したがって，被告の上記主張は，採用することができない。 (ｲ) シリンドリカル・レンズの作用について 被告は，甲１３発明の作用によって，甲１３発明の入射スリットにおいては共焦 点作用が生じていない旨を主張する。 @ 甲１３発明では，試料からの散乱光は，非点収差（加工精度等によりレンズ の直交する軸の焦点距離が違う現象）を補正するために，入射スリットの手前に導 入されたシリンドリカル・レンズ（円柱状の屈折面を持つレンズ）の光学系を介し て，入射スリットの長さ方向（Ｙ軸方向）において焦点距離を調整されて，入射ス リットを通過する。これは，回折格子（グレーティング）を使用した分光器で使わ れている球面鏡のような反射型光学素子により生じるＰＳ−ＰＭＴ（位置検出型光 増倍管）上におけるＹ軸方向の非点収差を，シリンドリカル・レンズの光学系によ って敢えて与えられたＹ軸方向での非点収差により解消させるものであると解され る。 そうすると，入射スリットの手前にシリンドリカル・レンズが存在する限りは， それによってスリットの長さ方向に楕円状となっていることとなり，スリットの長 さ方向には焦点を結んでいるとはいえないことになる。 しかしながら，甲１３発明のシリンドリカル・レンズは，スリットの幅方向に非 点収差を与えているものではないのであり，試料からの散乱光は，スリットの幅方 向には焦点を結んでいる。そして，この場合のエアリーディスク径の短径（幅方向） は，上記イにおいて算定した数値を下回るものではないと認められるから，やはり， 第一の次元の共焦点作用は生じているものと認められる。 A また，甲３には， 「凹面鏡で光軸外に集光されることにより生じる非点収差を 補正するために，ＣＣＤカメラの前に円柱レンズ（図１に図示されない）が用いら れた。」との記載があるほか（甲３の２２０頁左欄３１〜３４行目〔訳文２頁７〜９ 行目〕，シリンドリカル・レンズを分光器の内部に配置する構成も周知の事項であ ） るといえ（甲４７の１０５４頁右欄２５行〜１０５５頁左欄７行目，Ｆｉｇ．１，甲４ ８の上欄１〜３行目，甲４９の４５５頁左欄２３〜２８行目，ＦＩＧ.１，甲５０の第 ２図），シリンドリカル・レンズの位置を，スリットの前後のどこに配置するかは， 当業者にとって設計的事項というべきものであり，スリットの前に配置する構成を したことによる格別の効果も認め難い。 そして，シリンドリカル・レンズの位置が，分光器の後で光検出器の前に配置さ れた構成であれば，甲１３発明において，サンプルの所与の面の焦点からの散乱光 は，入射スリットにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて入射スリットを通 過し（入射スリットでスポットとして焦点に絞り込まれていなければ，光検出器の 前に配置されたシリンドリカル・レンズによって非点収差を補正することができな いので，必然的な変更である。，分光器によって生じたＹ軸方向の非点収差がシリ ） ンドリカル・レンズによって解消させられて光検出器に合焦されている。 また，入射スリットにおいて共焦点作用を有する甲１３発明において，観測した い試料の面に焦点を合わせれば，試料の所与の面の焦点の前又は後で散乱された光 が入射スリットにおいて焦点を結んでいないことは自明である。 B 以上のとおりであり，被告の上記主張は，採用することができない。 (ｳ) 阻害要因について 被告は，当業者が甲１３発明のシリンドリカル・レンズを入射スリットの手前か ら光検出器の手前に配置する構成に変更するには阻害要因がある，又は積極的な動 機付けはない旨を主張する。 しかしながら，上記イAのとおり，甲１３発明においてシリンドリカル・レンズ をどこに配置するかは設計事項にすぎないものと認められる。そして，被告がるる 指摘する事項自体も，いずれも設計事項にすぎないものであり，当業者が甲１３か ら，甲１３発明の入射スリットにおいて共焦点作用が生じていることを認識する妨 げになるとはいえない。 被告の上記主張は，採用することができない。 エ 小括 以上のとおりであるから，第一の次元の共焦点作用を有している甲１３発明にお いて，シリンドリカル・レンズの配置を適宜変更することにより，本件発明７に係 る相違点１３−１の構成とすることは，容易に想到できると認められる。 したがって，審決の相違点１３−１の判断には，誤りがある。 (2) 取消事由５−２（相違点１３−２に係る相違点判断の誤り）について ア 相違点１３−２について 相違点１３−２は，要するに，本件発明７では，光検出器において，第二の次元 の共焦点作用をもたらすのに対し，甲１３発明では，ＰＳ−ＰＭＴ検出器において， そのような共焦点作用をもたらしているか否か不明である，というものである。 しかるところ，空間フィルタを使用しないで，光検出器において共焦点作用をも たらすことが本件優先日前に周知の事項であったことは，審決において認定すると ころであり（２７頁１０〜１４行目），被告も，そのこと自体を争っているものとは 認められない。 したがって，甲１３に接した当業者は，甲１３発明のＰＳ−ＰＭＴ検出器におい て共焦点作用を生じるに足るものであれば，少なくとも共焦点作用がもたらされて いること自体は，認識するといえる。 これについて，審決は，上記周知の空間フィルタを使用しない共焦点作用は，２ 次元の共焦点作用をもたらすものの代替であり，１次元の共焦点作用をもららすも のではないと認定している。 そこで，まず，甲１３発明のＰＳ−ＰＭＴ検出器が共焦点作用をもたらしている か，そして，その共焦点作用がいかなるものかを，次に検討する。 イ 甲１３発明のＰＳ−ＰＭＴ検出器における共焦点作用の存否につき 甲１３には，「前段フィルタ・ステージの差分散型ダブル分光器は５０ｃｍと比較 的長い焦点距離を持ち，低波数側でのレイリー散乱光などの除去率が良いと考えら れる。後段のポリクロメータは入射側が５０ｃｍ，出射側が６０ｃｍの焦点距離の集 光系を用いている。」と記載されていることから（５頁２５〜２８行目），甲１３発 明において，入射スリットの位置から光検出器の位置までの倍率は，１.２倍（６０ ｃｍ／５０ｃｍ）であると認められる。よって，Ａｒ＋レーザの５１５ｎｍ線の光検出器 上でのエアリーディスク径の最小値ｄｍｉｎは，７６μｍ（６３μｍ×１.２）であ る。また，ラマン散乱光の波長は光源光の波長よりも長いから，ラマン散乱光によ って形成される光検出器上でのエアリーディスク径の最小値は， ｍｉｎよりも大き ｄ くなる。他方，甲１３発明のＰＳ−ＰＭＴ検出器での読取り幅は，１２５μｍ（２ ５μｍ×５ピクセル）であるから（６頁１行目，６頁末行〜７頁２行目，図２の説 明文）光検出器の読取り幅とラマン散乱光によって光検出器上で形成されるエアリ ， ーディスク径との比は１.６４（１２５μｍ/７６μｍ）よりも大きくなることはな い。そして，上記(1)イに照らして，光検出器の読み取り幅がエアリーディスクの大 きさの２．５倍までの場合には，共焦点作用がもたらされるものといい得る。 以上から，甲１３発明は，光検出器上で共焦点作用を有しているものと認められ る。 ウ 第二の次元における共焦点作用の存否につき 甲１３には， 「入口スリット上の点光源は，出口スリット上でスリットの長さ方向 （以下Ｙ方向と呼ぶ）に線状に広がるが，光の分散方向（以下Ｘ方向と呼ぶ）に対 しては焦点が得られている」 （４頁１８〜２０行目）， 「単チャンネルの検出器や一次 元検出器の場合には，このようなＹ方向への像の広がりは，検出器の受光面の広が りの範囲内に納まってさえいれば，これを全て積算できるので問題はない。しかし 二次元検出器の場合にはこのことは装置全体の感度限界を考える上で重要である。 二次元検出ではＹ方向に信号を積算して，Ｘ方向の一次元検出器に変換して使用す る。（４頁２７〜３１行目）「スペクトルのＹ軸方向への広がりを極端にせばめる 」 ， ことができたとしたら，チャンネルあたりのノイズは著しく減少するはずである。 たとえばＹ軸方向への広がりを５ピクセル以下にすることができれば，チャンネル あたり毎秒５−１０×１０−５カウントのノイズ・レベルとすることができ，ＩＰＤ ＡやＣＣＤにおける０.００１−０.０１カウントのパルス・ノイズも存在しないこ とから，極限的な微弱光の高感度ラマン分光が可能となる。 ５頁１７〜２２行目） 」 （ ， 「非点収差補正光学系の調整が完全に行われると，入口スリットのところでのグリ ッドの像がそのまま検出器の位置ではっきりした像に転送される。その精度は１０ μｍ以下であり，検出器のピクセル・サイズ２５μｍよりもずっと小さくできる。」 （６頁６〜９行目） 「全スペクトル領域で，Ｙ方向への信号の広がりは３−４ピクセ ルすなわち１００μｍ以下である。この広がりは，測定時の入射スリット幅１００ μｍ（検出器位置で１２５μｍに相当）と検出器の分解能５２μｍの和よりも小さ い。図２の（ｃ)は(ｂ)のデータを用いてＹ方向に５ピクセルずつ加算して得たラマ ン・スペクトルである。（６頁３５行〜７頁１行目）との記載がある。 」 すると，甲１３発明では，スリットの長さ方向（Ｙ軸方向）に広がる光を非点収 差補正光学系で光検出器の位置で結像させ，ＰＳ−ＰＭＴのＹ方向の５ピクセルの 領域のみを加算しているから， 「光検出器の所与の領域で受ける光が，前記所与の領 域外で受ける光を含まずに」 「所与の領域は第一の次元（Ｘ軸方向）を横切る第二の 次元（Ｙ軸方向）で共焦点作用をもたらすように形成されて」いるといえる。 したがって，相違点１３−２は，実質的な相違点ではない。 なお，甲１３発明は，非点収差補正光学系の調整により，Ｙ方向への信号の広が りを３〜４ピクセルに抑えている。これは，回折格子（グレーティング）を使用し た分光器では，反射型光学素子を使わざるを得ないために非点収差が発生し，２次 元検出器上でＹ方向への像の広がりが大きくなってしまうので，Ｙ方向に信号を積 算する（ビンニング）ところ，ビンニングによりノイズを大量に取り込んでしまう と感度が低下するという問題が発生するために，非点収差を補正して，ビンニング される素子の数をできるだけ減らすことによりノイズの取り込みを抑えるよう構成 したものである（４頁１０行〜５頁２行目） このビンニングされる素子の数をでき 。 るだけ減らすことによりノイズの取り込みを抑えるという効果は，直接には，非点 収差補正光学系の調整から生じるものであるが，ピンホールを用いた場合とは異な り，甲１３発明のＰＳ−ＰＭＴは，Ｙ軸方向の５ピクセル以外の領域においても光 を受け得る構成となっているから，甲１３発明の光検出器において，第二の次元の 方向での読取り制限をし，上記領域外で受ける光を含まずに，又はこの光を分離し て検出することにほかならず，第二の次元の方向での１次元の検出器として用いら れている。 エ 小括 以上から，審決の相違点１３−２の判断には，誤りがある。 ３ 被告の補充主張について (1) 相違点１３−３に係る審決の判断について 甲１，甲３によれば，ラマン分光装置において，サンプルに光を照射するのと， サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズを用いることは，周知技術で あったと認められ，このような構成に置換することに何ら阻害要因はなく，構成を 簡単にするという十分な動機付けも存するから，相違点５に係る構成は当業者にと って容易想到であったと認められる。 被告は，構成を簡単にするという動機付けの記載が先行文献にない旨を主張する が，このような動機付けは技術上普遍的なものであるから，先行文献にて示唆され るまでの必要性はない。 したがって，被告の上記主張は，採用することができない。 (２) 相違点１３−４に係る審決の判断について 甲１３発明では，光検出器としてＰＳ−ＰＭＴ検出器が用いられているが，これ は，デジタル検出器であるＰＳ−ＰＭＴが，ＣＣＤのようなアナログ検出器とは異 なり，宇宙線ノイズが入ったとしてもそのエネルギーに比例した応答がされるわけ ではなく，１カウントと数えられるだけであるため，超微弱信号の検出の目的に沿 っているからである（３頁１２行〜４頁６行目）。 甲１３発明では，上記のとおり，非点収差を補正して，ビンニングされる素子の 数をできるだけ減らすことによりノイズの取り込みを抑えるものであるが（４頁１ ０行〜５頁２行目）ＣＣＤの場合にノイズの値がそれほど大きいとされているわけ ， ではない（表１）。かえって，甲１３には，「但し，量子効率の絶対値や赤外域の感 度などを重んじるならばＣＣＤ検出器の方が優れているなど，目的によって選択は 異なってくる」との記載（４頁６〜８行目）がある。 以上に照らすと，甲１３発明において，ＰＳ−ＰＭＴに代えてＣＣＤ検出器を採 用することは，当業者にとって容易に想到できることであったと認められる。 被告は，甲１３発明の目的はＰＳ−ＰＭＴを用いなければ達成できない旨を主張 するが，上記記載に照らして，採用することはできない。 ４ まとめ 以上２及び３によれば，相違点１３−１及び相違点１３−２は，実質的な相違点 ではなく，相違点１３−３及び相違点１３−４は，容易に想到し得たものといえる。 したがって，本件発明７は，甲１３発明及び周知技術に基づいて容易に想到する ことができたから，本件発明７を甲１３発明から容易に想到できないとした審決の 認定判断には誤りがあり，この誤りが審決の結論に影響を及ぼすことは明らかであ る。 第６ 結論 以上によれば，原告が主張する取消事由５は理由があるから，その余の点につい て判断するまでもなく，審決を取り消すこととし，主文のとおり判決する。 知的財産高等裁判所第２部 裁判長裁判官 清 水 節 裁判官 中 村 恭 裁判官 中 武 由 紀 |