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| 事件 |
平成
25年
(行ケ)
10279号
審決取消請求事件
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| 裁判所のデータが存在しません。 | |
| 裁判所 | 知的財産高等裁判所 |
| 判決言渡日 | 2014/07/23 |
| 権利種別 | 特許権 |
| 訴訟類型 | 行政訴訟 |
| 判例全文 | |
|---|---|
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判例全文
平成２６年７月２３日判決言渡 同日原本領収 裁判所書記官 平成２５年（行ケ）第１０２７９号 審決取消請求事件 口頭弁論終結日 平成２６年７月２日 判 決 原 告 ナノワールド アーゲー 訴訟代理人弁理士 丹 羽 宏 之 同 西 尾 美 良 同 中 村 英 子 被 告 特 許 庁 長 官 指 定 代 理 人 三 崎 仁 同 森 林 克 郎 同 山 田 和 彦 同 稲 葉 和 生 主 文 １ 原告の請求を棄却する。 ２ 訴訟費用は原告の負担とする。 ３ この判決に対する上告及び上告受理申立てのための付加期間を３０ 日と定める。 事実及び理由 第１ 請求 特許庁が不服２０１２−９３２９号事件について平成２５年６月４日にした 審決を取り消す。 第２ 事案の概要 １ 特許庁における手続の経緯等 原告は，平成２１年３月１９日，発明の名称を「短縮化カンチレバーを備 えたＳＰＭプローブ及びＳＰＭプローブの製造方法」とする特許出願（特願 ２００９−６７７８２号。パリ条約による優先権主張日：平成２０年３月２ ０日，優先権主張国：欧州特許庁）をした（甲２）。 特許庁は，平成２４年２月６日付けで拒絶査定をしたため（甲６），原告 は，同年５月２１日，これに対する不服の審判を請求した（甲７）。 特許庁は，これを不服２０１２−９３２９号事件として審理し，平成２５ 年６月４日，「本件審判の請求は，成り立たない。」との審決（以下「本件 審決」という。）をし，その謄本は，同年６月１８日，原告に送達された。 原告は，平成２５年１０月１５日，本件審決の取消しを求めて本件訴訟を 提起した。 ２ 特許請求の範囲の記載 本件審決が判断の対象とした特許請求の範囲の請求項１の記載（平成２３年 １０月７日付け手続補正書（甲５）による補正後のもの。）は，次のとおりで ある。以下，請求項１に記載された発明を「本願発明」といい，本願発明に係 る明細書（甲２，５）を，図面を含めて「本願明細書」という。 「【請求項１】 細長い支持エレメント（２），支持エレメント（２）の前面より先に突き出 て走査チップ（５）を保持するカンチレバー（３）を備え，該カンチレバー （３）は，ＳＰＭプローブ（１）の支持エレメント（２）の前面側（１２）に 配置されて前方側面（１３）から突き出し，該支持エレメント（２）は，前方 側面（１３）に長め横エッジ（１５’）と短め横エッジ（１５”）を持つ基本 的に台形断面を有し，さらに，走査過程の間にサンプルに最も近い前方側面 （１３）の横エッジ（１５’，１５”）の１つに主要コーナー（１６）を備え たＳＰＭプローブ（１）であって， 支持エレメント（２）は，支持エレメント（２）とカンチレバー（３）の長 手方向に延びる細長い突起部分（４）を有し，突起部分（４）は，基本的に台 形断面を有し，カンチレバー（３）は ，支持エレメント（２）の突起部分 （４）の狭い横エッジ（１５）の表面に配置され，カンチレバー（３）を備え た突起部分（４）は，支持エレメント（２）の前方側面（１３）の長め横エッ ジ（１５’）に配置され，走査チップ（５）と主要コーナー（１６）の１つを 結んだ直線と，支持エレメント（２）の下面（１４）の側面長手エッジ（２ ２）とを含む平面は，横エッジ（１５’）に対して少なくとも５°の傾斜角度 を形成することを特徴とするＳＰＭプローブ。」 ３ 本件審決の理由の要旨 本件審決の理由は，別紙審決書（写し）記載のとおりである。要するに， 本願発明は，本願の優先権主張日前に頒布された刊行物である特開２００４ −１２４０１号公報（以下「刊行物１」という。甲１）に記載された発明に 基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって，特許法２９ 条２項の規定により特許を受けることができないから，他の請求項に係る発 明について検討するまでもなく，本願は拒絶すべきものであるというもので ある。 本件審決が認定した刊行物１に記載された発明（以下「引用発明」とい う。），本願発明と引用発明の一致点及び相違点は，以下のとおりである。 ア 引用発明 「単結晶シリコン製支持部１と，該支持部１に固定され該支持部１より 伸びるように配置されたシリコン又はシリコン化合膜からなるレバー部２ と，該レバー部２の自由端近傍に設けられたシリコン又はシリコン化合膜 からなる探針部３とを備え，前記レバー部のレバー長を５０μｍ以下とし たＳＰＭカンチレバーにおいて，前記レバー部２の固定端に接する前記支 持部１のレバー部伸長方向面は，（１１１）面からなる後退傾斜面で構成 され，また，前記支持部１は，台形断面を有し，底面に突出部７を有し， 前記レバー部２は前記突出部７に固定され該突出部７から伸びるように設 けられているＳＰＭカンチレバー。」 イ 本願発明と引用発明の一致点 「細長い支持エレメント，支持エレメントの前面より先に突き出て走査 チップを保持するカンチレバーを備え， 該カンチレバーは，ＳＰＭプローブの支持エレメントの前面側に配置さ れて前方側面から突き出し， 該支持エレメントは，前方側面に長め横エッジと短め横エッジを持つ基 本的に台形断面を有し，さらに，走査過程の間にサンプルに最も近い前方 側面の横エッジの１つに主要コーナーを備えたＳＰＭプローブであって， 支持エレメントは，支持エレメントとカンチレバーの長手方向に延びる 細長い突起部分を有し，突起部分は，基本的に台形断面を有し，カンチレ バーは，支持エレメントの突起部分の狭い横エッジの表面に配置され，カ ンチレバーを備えた突起部分は，支持エレメントの前方側面の長め横エッ ジに配置され， 走査チップと主要コーナーの１つを結んだ直線と，支持エレメントの下 面の側面長手エッジとを含む平面は，横エッジに対して所定の傾斜角度を 形成するＳＰＭプローブ。」である点。 ウ 本願発明と引用発明の相違点 （相違点） 「所定の傾斜角度」について，本願発明では「少なくとも５°」である のに対し，引用発明では不明である点。 第３ 当事者の主張 １ 原告の主張 取消事由１（一致点の認定の誤り） ア 本件審決における傾斜角度に対する解釈について 本件審決は，「刊行物１の「図６の（Ｂ）に示した正面図からもわかる ように，突出部７の肩部が支持部１の肩幅と比較して十分小さく，支持部 １と測定試料間の間隙が大きくとれるため，突出部７の肩部が試料面と接 触する可能性が解消されると共に，ＳＰＭ装置へのＳＰＭカンチレバーの 取り付けも容易になる。」との記載（段落【００５６】）からみて，探針 部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線と，支持部１の底面の側面長手 エッジとを含む平面は，支持部１の前方側面の横エッジに対して所定の傾 斜角度θ（下図（Ｂ）参照）を形成するといえるから，引用発明と本願発 明とは，「走査チップと主要コーナーの１つを結んだ直線と，支持エレメ ントの下面の側面長手エッジとを含む平面は，横エッジに対して所定の傾 斜角度を形成する」の点にて共通といえる」旨認定した。 イ 本願発明における傾斜角度と本件審決における図（Ｂ）の角度θとの相 違について 図（Ｂ）の「支持部１の底面の側面長手エッジ」とは，「支持部１の左 の肩部から紙面に垂直に後方に伸びた直線」であり，探針部３と支持部１ の肩部の１つを結んだ直線と，支持部１の左の肩部から紙面に垂直に後方 に伸びた直線とを含む平面は，支持部１の下面の横エッジ（支持部１の両 肩部を結んだ線）とは，ある傾斜角を形成するものの，この傾斜角は，探 針部３と支持部１の肩部を結んだ直線と，支持部１の左の肩部から紙面に 垂直に後方に伸びた直線とを含む平面（【添付図Ａ】の三角形３ａｃ）に， 支持部１の下面の横エッジの任意の点（【添付図Ｂ】のｄ）から下ろした 垂線が交わる点（【添付図Ｂ】のｅ）と支持部１の左の肩部を結んだ線 （【添付図Ｂ】の直線ａｅ）と支持部１の下面の横エッジ（【添付図Ｂ】 の直線ａｄ）とがなす角度（【添付図Ｂ】の角度α）を意味し，図（Ｂ） の角度θとは異なるものである。 ウ 面と直線のなす角度について 本願発明における「傾斜角度」は，「走査チップ（５）と主要コーナー （１６）の１つを結んだ直線と，支持エレメント（２）の下面（１４）の 側面長手エッジ（２２）とを含む平面」と「横エッジ（１５’）」とが形 成する角度であり，面に対する直線のなす角度を意味する。 他方，引用発明における「傾斜角度」は，図（Ｂ）の角度θ，すなわち， 「探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線」と「支持部１の前方側 面の横エッジ」とが形成する角度であり，２つの直線のなす角度である。 以上のように，本願発明における傾斜角は面と直線との位置関係を規定 するものであるのに対し，引用発明における傾斜角は直線と直線との位置 関係を規定するものであり，両者は異なる。 エ 被告は，本件審決が，図（Ｂ）の図面上で記載している角度θは，「探 針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線」と「支持部１の前方側面の 横エッジ」との角度ではなく，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結ん だ直線と，支持部１の底面の側面長手エッジとを含む平面」と「支持部１ の前方側面の横エッジ」との角度にほかならない旨主張する。 しかしながら，図（Ｂ）は，@「探針部３と支持部１の肩部の１つを結 んだ直線」は，探針部３と左側の角度θの中心となる点を結んだ線である が，正面図で奥行きは表現されないので，探針部３が，支持部１の底面の 側面長手エッジ近傍にあっても，これより遥かに突出していても，全く同 様に図示される，A「支持部１の底面の側面長手エッジ」は，紙面の奥の 方向に延びる直線であるが，紙面上は角度θの中心となる点としか図示さ れないという問題点を有し，そのため，図（Ｂ）には「探針部３と支持部 １の肩部の１つを結んだ直線と，支持部１の底面の側面長手エッジを含む 平面」が明確に図示されず，図（Ｂ）に示された角度θは見掛けの角度で あって，平面と直線の関係を明確に記載していないことはもちろん，平面 と直線の関係を示唆するものでもない。 しかも，本件審決は，図（Ｂ）の角度θが，「探針部３と支持部１の肩 部の１つを結んだ直線と，支持部１の底面の側面長手エッジとを含む平 面」と「支持部１の前方側面の横エッジ」との角度を示すことについて何 らの説明もしていない。 オ 以上のとおり，本願発明における傾斜角度と本件審決が引用発明の認定 に用いた図（Ｂ）の角度θ，すなわち引用発明における傾斜角度とは異な るにもかかわらず，本件審決は，本願発明と引用発明とが「走査チップと 主要コーナーの１つを結んだ直線と，支持エレメントの下面の側面長手エ ッジとを含む平面は，横エッジに対して所定の傾斜角度を形成する」点で 一致するとし，両発明の一致点の認定を誤った。 取消事由２（相違点の判断の誤り） ア 本件審決は，本願発明における「少なくとも５°」は，本願明細書に 「ＳＰＭ測定システムの製造バラツキによる，かつプローブアセンブリー の許容範囲による典型的な最大のあり得る傾斜は，最大で５°の大きさを 有する。こうした傾いた場合における支持エレメントエッジとサンプル表 面の間の接触は，それにそれぞれカンチレバーが取り付けられる突起部分 の高さＨについて，支持エレメントエッジの長さＬとの関係で以下の関係 が成立すれば，確実に回避することができる。」（段落【００２６】）と 記載されていることからみて，「製造バラツキ」及び「プローブアセンブ リーの許容範囲」に対応する為の数値限定であるといえるとし，刊行物１ の記載（段落【００１２】）から，引用発明においても，「ＳＰＭカンチ レバーの支持部が傾いてホルダーにセットされる」，すなわち，「プロー ブアセンブリー」の際の誤差に対応することを課題としているものである といえるところ，製造誤差を考慮して，種々の寸法等を定めるようなこと は，当業者ならば一般的に実施している技術的行為であるというべきであ り，引用発明において，「プローブアセンブリー」等の製造誤差を考慮し て，「所定の傾斜角度」の下限値を「５°」とすることは，当業者におい て動機付けが存在し，何ら困難性がなく，容易に想到し得る事項であると 判断した。 イ しかしながら，本件審決は，「少なくとも５°」が当業者ならば一般的 に実施している技術的行為であるとしながら，本願明細書の記載を引用す るのみで，第三者の記載した刊行物にこれが示されていることを何ら摘示 していない。 ウ 被告は，特開平１０−３０７１４４号公報（乙１。以下「乙１」とい う。）に記載された傾斜角度は，本願明細書における「５°」と技術的に ほぼ同等である旨主張する。 しかしながら，@被告による乙１における傾斜角度の算出は，カンチレ バーが試料の表面に対して１５°傾斜していることを前提とするものであ るのに対し，本願発明における傾斜角度は，カンチレバーの試料面に対す る傾斜角に関係なく，面と角度との関係により一義的に決定されるもので ある点，A乙１の「カンチレバー２は，試料４の表面４ａに対して所定の 傾斜角度θ（例えば，約５°〜１５°程度の傾斜角度）で位置決めされて いる」との記載から，被告は傾斜角度の算出に上限の「１５°」を用いて いるが，下限の「５°」を用いて算出すれば，遙かに小さな角度が算出さ れることになり，乙１に記載された傾斜角度が一義的に明らかであるとは いえない点，B被告が乙１の記載から算出するのは，走査チップの先端を 支点としてカンチレバーが試料面に接触せずに左右に傾斜可能な角度にす ぎず，本願発明の「走査チップと主要コーナーの１つを結んだ直線と，支 持エレメントの下面の側面長手エッジとを含む平面」と「横エッジ」とに より形成される傾斜角度とは異なる点において，乙１に記載された傾斜角 度と本願明細書における「５°」とが技術的にほぼ同等であるなどとはい えない。 エ したがって，本件審決が，引用発明において，製造誤差を考慮して， 「所定の傾斜角度」を「少なくとも５°」とすることは，当業者において 容易に想到し得たと判断したのは誤りである。 まとめ 以上によれば，本願発明は刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が 容易に発明をすることができたものであるとの本件審決の判断は誤りであり， 本件審決は違法であるから，取り消されるべきものである。 ２ 被告の主張 本件審決の一致点の認定に誤りがないこと（取消事由１に対し） ア 原告は，本件審決において図（Ｂ）に記載された角度θと本願発明の傾 斜角度とは異なる旨主張するが，角度θを原告独自に解釈する点で失当で ある。 本件審決中に「探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線と，支持 部１の底面の側面長手エッジとを含む平面は，支持部１の前方側面の横エ ッジに対して所定の傾斜角度θ（下図（Ｂ）参照）を形成する」と明記さ れており（審決書６頁２行〜４行），本件審決において，図（Ｂ）の角度 θは，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線と，支持部１の底 面の側面長手エッジとを含む平面」と「支持部１の前方側面の横エッジ」 との角度，すなわち，面と直線との角度であることが，明確に定義されて いる。 原告は，本件審決における上記定義の説明図である図（Ｂ）から，角度 θは，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線」と「支持部１の 前方側面の横エッジ」との角度，すなわち，２つの線（【添付図Ｂ】の直 線ａｂと直線ａ３）の交わる角度であるとして主張するが，上記のとおり， 本件審決にはこのような記載はない。 本件審決中の図（Ｂ）は，刊行物１の【図６】（Ｂ）に角度θを図示す るために一部加筆したものである。刊行物１の【図面の簡単な説明】に 「【図６】本発明に係るＳＰＭカンチレバーの第３の実施の形態を示す断 面図及び正面図である。」と記載されているとおり，刊行物１の【図６】 （Ｂ）は，ＳＰＭカンチレバーの正面図である。正面図の場合，斜視図の ように「支持部１の底面の側面長手エッジ」が奥行きがあるようには記載 されないため，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線と，支持 部１の底面の側面長手エッジとを含む平面」を【図６】（Ｂ）に描くとな ると，（平面を横から見て）本件審決の図（Ｂ）のように直線として描か れるものである。したがって，本件審決の図（Ｂ）の図面上で記載してい る角度θは，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線」と「支持 部１の前方側面の横エッジ」との角度ではなく，上記のとおり審決中に文 章として記載されているとおりの「探針部３と支持部１の肩部の１つを結 んだ直線と，支持部１の底面の側面長手エッジとを含む平面」と「支持部 １の前方側面の横エッジ」との角度にほかならない。 イ 本件審決が引用発明におけるものとして記載する傾斜角度は，「探針部 ３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線と，支持部１の底面の側面長手エ ッジとを含む平面」と「支持部１の前方側面の横エッジ」との角度であ り，本願発明における傾斜角度と同等のものであるから，本件審決におけ る一致点の認定に誤りはない。 本件審決の容易想到性の判断に誤りがないこと（取消事由２に対し） ア 本願発明は引用発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができた ものであること 刊行物１には，「市販のＳＰＭカンチレバーでは，・・・レバー長は， ６０μｍ以上であり，一般には２００μｍ程度の長さのカンチレバーが 使われている。」（段落【０００２】），「以上のような不具合を解消 するものとして，・・・いわゆるショートレバー型のＳＰＭカンチレバ ーが注目を浴びている。」（段落【０００６】），「更に，図１４の （Ａ），（Ｂ）に示すようにＳＰＭカンチレバー３０１，３０５の支持 部３０１ａ，３０５ａが傾いてホルダー３０３にセットされていると， 図１４の（Ａ）に示すような従来のＳＰＭカンチレバーの場合，支持部 ３０１ａと測定試料３０２間のギャップが十分あるため，支持部３０１ ａの肩部が測定試料３０２に接触することはない。それに対し，図１４ の（Ｂ）に示すようにショートレバー型のＳＰＭカンチレバーの場合， 支持部３０５ａの肩部分が容易に測定試料３０２と接触してしまい，取 り扱いが難しい。以上のように，精度のよい測定が不可能になるばかり か，測定自体ができなくなる恐れがある。」（段落【００１２】）， 「（第１の実施の形態）・・・レバー長は，１０μｍに設定されてい る。」（段落【００２９】）と記載されており，特に短いカンチレバー を採用した場合について，支持部の肩部が試料に接触することに関する 課題が記載されている。刊行物１の【図１４】（Ｂ）には，試料３０２ に対して前後方向に１０度程度傾けてセットされたＳＰＭカンチレバー ３０５の支持部３０５ａが，さらに図面に向かって左側が下がって，す なわち，正面図から見た方向で傾いて記載されており，ＳＰＭカンチレ バーの正面図から見たときの支持部の傾き（本願発明において，前方側 面１３から見たときのプローブの傾きに相当）に対処しなければならな いという課題が示されている。 上記課題は，本願の優先日前に周知であり（乙１〜３），この課題に 対処するために，「空所（逃げ部）」を設けるなど，余裕を持たせた形 状に支持部を構成することも，本願の優先日前に周知のことである（乙 １，２）。 一方，本願明細書には，本願発明の解決しようとする課題として，刊 行物１に記載されているとおり，引用発明の解決しようとする課題と同 等のものが示されている（段落【００１１】，【００１７】）。 引用発明の「突出部」を介して支持部にレバー部を取り付けた構成に おいて，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線と，支持部１ の底面の側面長手エッジとを含む平面」と「支持部１の前方側面の横エ ッジ」とが形成する角度が大きければ大きいほど，測定試料との間の余 裕が増して，支持部の傾きが生じても，支持部の肩部が測定試料に接触 することがなくなることから，上記ＳＰＭカンチレバーの正面図から見 たときの支持部の傾きに対処しなければならないとの課題を解決するた めに，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線と，支持部１の 底面の側面長手エッジとを含む平面」と「支持部１の前方側面の横エッ ジ」とが形成する角度を大きくすることは，刊行物１に接した当業者が 通常に想起する技術思想である（段落【００５６】，【図６】（Ｂ））。 一方，本願発明において，傾斜角度を「少なくとも５°」としている のは，ＳＰＭプローブの短いカンチレバーについて，プローブが少しの 角度で傾いたとき，カンチレバーが装着される支持エレメント又はショ ートエッジのコーナーがサンプルの表面に接触することがないようにす るための角度で，それは５°以上で，大きければよいということである から，上記技術思想と同じものである。 そして，探針の高さ寸法と支持面の幅寸法との比が約１／１００で は，支持部の支持面が試料表面に接触してしまうことが公知であった （乙４）のであるから，試料表面への接触を防ぐためには，探針の高さ を高くして（あるいは支持面の幅を小さくして），その比を約１／１０ ０よりも十分大きくすべきことが公知であったといえる。 一方，本願明細書の記載（段落【００２６】，【００２７】）を参照 すれば，本願発明において，傾斜角度を「少なくとも５°」とすること は，プローブが少しの角度で傾いたとき，カンチレバーが装着される支 持エレメント又はショートエッジのコーナーがサンプルの表面に接触す ることがないように，支持エレメントエッジの長さに対して，突起部分 の高さを十分に高くするということである。 以上によれば，引用発明の解決しようとする課題は本願発明と同等で あり，当該課題を解決するために設けられたのが，引用発明の「突出部 ７」であるから，その高さが低くては意味をなさず，ある程度の高さが 必要であることは明らかである。 そして，その高さを支持部１の底辺の長さに対して十分高くする，す なわち，それらの比を１／２０程度以上とすることは，どの程度余裕を 持たせるかに応じて当業者が容易になし得ることである。 支持部１の底辺の長さに対する突出部７の高さの比を１／２０以上と するということは，引用発明における「探針部３と支持部１の肩部の１ つを結んだ直線と，支持部１の底面の側面長手エッジとを含む平面」と 「支持部１の前方側面の横エッジ」とが形成する角度を「少なくとも５ °」とすることに対応するものである。 そうすると，引用発明において，支持部の肩部が測定試料に接触する ことがないように，支持部１の底辺の長さに対して，突出部７の高さを 高くする，すなわち，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線 と，支持部１の底面の側面長手エッジとを含む平面」と「支持部１の前 方側面の横エッジ」とが形成する角度を大きくする（「少なくとも５ °」とする）ことは当業者が容易になし得ることである。 刊行物１に，「しかしながら，上記ショートレバー型のＳＰＭカンチ レバーには，次のような課題がある。まず，支持部を含めた全体の長さ が３mm〜４mm のＳＰＭカンチレバーの先端に，１０μｍ程度のレバー 部を設け，そして該レバー部の先端に探針部を形成する必要があり，こ のように非常に短いレバー部を精度よく，ばらつきを抑えて形成するの は非常に困難である。」（段落【０００８】），「従来のＳＰＭカンチ レバーの製造方法では，シリコン基板表面側にレバー部や探針部を形成 した後，支持部となる形状を，異方性ウエットエッチングによってシリ コン基板の裏面側より形成するため，図１２に示すように，レバー部２ ０２の固定端２０２ａの位置が，シリコンウエハ基板の厚さのばらつき や異方性ウエットエッチングばらつきによって，矢印で示すように大き く左右されてしまう。具体的には，支持部２０１の厚さが３００μｍ程 度のＳＰＭカンチレバーでは，最低でも±１０μｍ程度以上のレバー部 ２０２のレバー長のばらつきが発生する。なお，図１２において，２０ ３は探針部である。したがって，長さが５０μｍ程度以下のレバー部２ ０２を形成する場合，このばらつきは致命的であり，最悪の場合には， 設計通りのレバー長を有するレバー部が形成できなくなってしまう。」 （段落【０００９】）と記載されているように，ＳＰＭプローブの製造 において製造誤差が生じることは，本願の優先日前に周知のことであ り，その製造の際に生じる製造誤差を補うべく種々の工夫がされてきて いることも周知である。 そして，例えば，乙１には，「このようなカンチレバー作製方法にお いて，陽極接合時のアライメント精度がカンチレバーの長さ寸法のばら つきに影響を与える。なお，このアライメント精度は，約５〜１０μｍ 程度である。」（段落【００２６】），「しかしながら，一般的なＡＦ Ｍにおいて，カンチレバー２は，試料４の表面４ａに対して所定の傾斜 角度θ（例えば，約５°〜１５°程度の傾斜角度）で位置決めされてい る（図４（ａ）参照）。」（段落【００３０】），「本実施の形態にお いて，第１の支持部２４は，その一例として，長さ寸法Ｄ１が略３．７ ｍｍ，幅寸法Ｄ２が略０．５ｍｍ，厚さ寸法Ｄ３が略０．０２ｍｍに設 定されている（図１（ａ），（ｂ）参照）。」（段落【００４４】）， 「続いて，図２（ｄ），（ｅ）に示すように，フォトリソグラフィ法を 用いて第２のシリコンウェハ３４の表面の一部を除去することによっ て，所定の深さを有する掘り下げ部３４ａを形成する。具体的には，第 ２のシリコンウェハ３４の掘り下げ部３４ａを除く部分にマスク（例え ば，窒化シリコン膜）を形成し，ドライエッチング（例えば，反応性イ オンエッチング（ＲＩＥ））によって第２のシリコンウェハ３４の表面 の一部を掘り下げる。なお，このときのマスク形状に基づいて，第１の 支持部２４及び保持部２８の形状が決定される 。」（段落 【００５ ６】），「そして，この現象は，使用するシリコンウェハの厚さ寸法Ｓ ３（図１（ｂ）参照）のばらつき度合によっても生じる。通常，シリコ ンウェハの厚さ寸法Ｓ３のばらつき度合は，０．０１〜０．０２ｍｍ程 度である。従って，上記の参考用作製プロセスを行った場合，基準面の ずれ量に対応して長さ寸法Ｌのばらつき度合が大きくなり過ぎる。この ため，使用に適した長さ寸法Ｌを有するカンチレバー２０を作製するこ とができなくなってしまう。」（段落【００６５】）と記載されてい る。カンチレバーは，試料の表面に対して１５°傾斜しているとする と，カンチレバーの長さ寸法のばらつき１０μｍは，高さ方向としてｓ ｉｎ１５°×１０μｍ＝２．６μｍの寸法ばらつきとなる。さらに，支 持部材側の厚さ方向のばらつきも０．０２ｍｍ（２０μｍ）あるとする と，高さ方向の製造誤差として，合わせて２０μｍ＋２．６μｍ＝２ ２．６μｍの誤差が生じることになる。そして，第１の支持部の幅寸法 Ｄ２が略０．５ｍｍ（５００μｍ）であるから，第１の支持部の幅寸法 に対する高さ方向の製造誤差の割合は，２２．６μｍ／５００μｍであ り，これを傾斜角度で表現すると，ｔａｎθ＝２２．６μｍ／（５００ μｍ／２）となる。これを計算するとθは５．１７（５°１０分）とな り，約５°となる。 あるいは，上記乙１の実施の形態において，「・・・第１の支持部２ ４の幅寸法Ｄ２を小さくしたことによって，・・・カンチレバーチップ １６が，カンチレバー２０の長手軸を中心に所定角度だけ傾斜（回転） した場合でも，空所（逃げ部）３０によって，支持部１８の両端（両 肩）の一方が試料４の表面４ａに接触すること（図４（ｂ）参照）を防 止する」（段落【００５１】）ために，第１の支持部２４の「幅寸法Ｄ ２が略０．５ｍｍ」（段落【００４４】）であるのに対して，「長さ寸 法Ｌが略５０μｍ」（段落【００４０】）のカンチレバーが，試料の表 面に対して１５°傾斜しているとすると，ｓｉｎ１５°×５０μｍ＝１ ３μｍとなり，探針２２の「高さ寸法Ｈが略３μｍ」（段落【００４ １】）と合わせた高さ方向は（１３＋３）＝１６μｍとなり，ｔａｎθ ＝１６μｍ／（５００μｍ／２）を計算するとθは約４°となる。 上記乙１に記載された傾斜角度は，本願明細書における「５°」と技 術的にほぼ同等といえる。 そうすると，引用発明においても，刊行物１の段落【０００８】及び 【０００９】に記載のとおり，製造誤差が生じるものであり，支持部の 肩部が測定試料に接触することがないように，その高さ方向の製造誤差 を補うべく，種々の寸法等を定めることは当業者が当然に行うことであ り，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線と，支持部１の底 面の側面長手エッジとを含む平面」と「支持部１の前方側面の横エッ ジ」とが形成する角度を「少なくとも５°」とすることは，当業者が容 易になし得ることである。 イ したがって，本件審決が，製造誤差を考慮して，種々の寸法等を定める ようなことは，当業者ならば一般的に実施している技術的行為であるとい うべきであり，引用発明において，「プローブアセンブリー」等の製造誤 差を考慮して，「所定の傾斜角度」の下限値を「５°」とすること，すな わち，相違点に係る本願発明の構成とすることには，動機付けが存在し， 容易に想到し得ると判断したことに誤りはない。 ウ 原告は，本件審決が「少なくとも５°」が当業者ならば一般的に実施し ている技術的行為であるとしながら，第三者の記載した刊行物にこれが示 されていることを何ら摘示していない旨主張するものの，本件審決は， 「製造誤差を考慮して，種々の寸法等を定めるようなことは当業者ならば 一般的に実施している技術的行為である」と判断しているのであって， 「少なくとも５°」が当業者にとって一般的に実施している技術的行為で あることを述べているわけではない。 また，傾斜角度を「少なくとも５°」とすることを刊行物１に記載され ている技術的事項を基に当業者が容易になし得た事項であると判断するに つき，「第三者の記載した刊行物」を引用していないからといって，本件 審決に誤りがあるとはいえない。 まとめ 以上のとおり，原告主張の取消事由はいずれも理由がなく，本願発明は， 刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができ たとした本件審決の判断に誤りはない。 第４ 当裁判所の判断 １ 取消事由１（一致点の認定の誤り）について 原告は，本願発明における傾斜角度は，「走査チップ（５）と主要コーナ ー（１６）の１つを結んだ直線と，支持エレメント（２）の下面（１４）の 側面長手エッジ（２２）とを含む平面」と「横エッジ（１５’）」とが形成 する角度（以下「本願傾斜角度」という。）であり，引用発明における傾斜 角度である図（Ｂ）の角度θ（本判決５頁参照），すなわち，「探針部３と 支持部１の肩部の１つを結んだ直線」と「支持部１の前方側面の横エッジ」 とが形成する角度とは異なるにもかかわらず，本件審決が，「走査チップと 主要コーナーの１つを結んだ直線と，支持エレメントの下面の側面長手エッ ジとを含む平面は，横エッジに対して所定の傾斜角度を形成する」点を本願 発明と引用発明の一致点と認定したのは誤りである旨主張するので，以下に おいて判断する。 本願明細書の記載事項等 ア 本願発明の特許請求の範囲（請求項１）の記載は，前記第２の２のとお りである。 イ 本願明細書（甲２，５）の「発明の詳細な説明」には，次のような記載 がある（下記記載中に引用する図面については，別紙１の本願明細書図面 目録を参照。）。 「【技術分野】 本発明は，支持エレメントとカンチレバーを備え，支持エレメントか ら横方向に突き出し，その自由端に走査チップを支え，請求項１の前段 にしたがったＳＰＭプローブ，及びこうしたプローブの製造方法に関す る。」（段落【０００１】） 「【背景技術】 走査型プローブ顕微鏡は，広く知られており，高感度センサー，いわ ゆるＳＰＭプローブを用いてサンプル表面の高分解能走査のために使用 される。これらの顕微鏡はいずれも，１つの端部にプローブ支持体を取 り付けるための支持エレメントと他方の端部にサンプルを走査するため のセンサーチップを有するバネ作用のマイクロカンチレバーによってそ のセンサーが形成されるプローブを使用する。」（段落【０００２】） 「走査型プローブ顕微鏡法は，表面分析用の確立された技術となって おり，なかでも，数ナノメートル，さらには原子範囲までの分解能を有 する表面トポグラフィーの画像化を可能にする。」（段落【０００ ３】） 「この技術の基本的な中核エレメントは走査プローブである。プロー ブの性質と品質は，表面分析の達成可能な分解能に決定的に寄与する。 プローブの製造に関し，単結晶シリコンのエッチング，又は好ましくは 窒化珪素からなる薄層を基礎にして，いろいろなプロセスが確立されて いる。」（段落【０００４】） 「特許文献１に，長尺の支持エレメント，及び走査チップを保持する 支持エレメントの面から突出して支持エレメントの前面に搭載されたカ ンチレバーを備えたＳＰＭプローブが開示されている。カンチレバーは， 前方側面から突出し，支持エレメントは，台形断面を有する。カンチレ バーは，前方側面の２つの横エッジの短いほうに搭載される。」（段落 【０００５】） 「走査型プローブ顕微鏡法の一般的で重大な欠点は，プローブが表面 を点ごとに走査するため，分析の速度が遅いことである。ここで，走査 速度は，走査メカニズムによって制限されるが，他方で，プローブのカ ンチレバーの共振周波数によっても制限される。走査プローブ顕微鏡法 の分野における現状の開発は，非常な高速度で動作する新たなシステム とプローブを開発することによってこの問題を対処している。」（段落 【００１０】） 「こうした迅速な走査プローブ顕微鏡用のプローブにおける共鳴周波 数の必要な増加を，同時にカンチレバーの剛性を変化させることなく達 成するためには，カンチレバーのサイズを，全ての寸法で大きく低下さ せなければならない。典型的に，これらの高周波数のカンチレバーは， ２０μｍ未満の長さ，５μｍ未満の幅，および１μｍを有意に下回る厚 さを有し，したがって，少なくとも長さと厚さに関し，ＳＰＭプローブ の現状のカンチレバーの約１／１０を下回る。」（段落【００１１】） 「この寸法の低下は，カンチレバーの長さと厚さの再現性に特に高い 要請を与え，ＳＰＭプローブの製造について一般に使用されるプロセス に適合しない。厚さの変動の低下については，基材における付加的中間 層の救済を用いたエッチング停止技術に基づいて既に多くのアプローチ があるが（例えば，「絶縁体上のシリコン」基板，インプラント中間層， 等），規定長さのカンチレバーについてのこれまでに提案された解決策 は不十分である。支持エレメントの側面によりカンチレバー長さを規定 する一般に用いられる方法は，エッチングプロセスとカンチレバーの出 発面の間の大きな垂直距離のために非常に不明確である。エッチング側 面の傾斜の変動および／または基材の厚さの変動は，短いカンチレバー にとってもはや受け入れられないカンチレバー長さの大きな変化をもた らす。例えば，陽極接合によって，カンチレバーが，別個に製造された 支持エレメント上に装着されたときであっても，装着プロセスの変動は， 意図するカンチレバーサイズにとって過度に大きく，そのプロセスは， 非常に小さなカンチレバーに使用することができない。」（段落【００ １２】） 「この問題の解決のための一般的アプローチは，通例，倍数によって 実際のカンチレバーの幅を超えるように，大きく幅を拡大するカンチレ バー設計である。この設計を選択するにおいて，目標は，リソグラフィ 定義工程と同様に，非常に広いオーバーハング（上記の幅拡大の）に取 り付けられるカンチレバーの実現である。支持エレメントのエッチング プロセスの許容範囲は，実際のカンチレバーからこのオーバーハングの 長さにシフトすべきである。しかしながら，現実として，実際のカンチ レバーがぶら下げられるオーバーハングの長さは，全体として，カンチ レバーの振動特性に大きな影響を有し，この特性はやはり，かなりの程 度，支持エレメントのエッチングプロセスの許容範囲に左右される。集 束イオンビームを用いたアブレーションによる，カンチレバーの以降の 成形についての別な公知プロセスが，この目的を達成すると考えられる が，そのプロセスは，コストの高い個別生産工程からなる。」（段落 【００１３】） 「一般に低下した寸法によって生じるカンチレバーと一体の走査チッ プを有するこうしたＳＰＭプローブの製造に関する困難性に加え，走査 チップの代わりの支持エレメントの意図しない接触の問題が，短いカン チレバーについては非常に大きくなる。プローブは，通常，走査される べきサンプルの表面に対して，典型的に，８〜１５°の狭い角度で走査 プローブ顕微鏡に装着される。これは，サンプルの表面に非常に近いカ ンチレバー取り付け箇所の領域に，プローブの支持エレメントを配置し， この結果，プローブが少しの角度で横方向に僅かに傾斜すると，支持エ レメントのコーナーがサンプル表面に接触し得る。これは，意図しない 機能妨害とともに，検査されるサンプルを場合により損傷することがあ る。このことを防止するため，現状で使用されるプローブの支持エレメ ントは，カンチレバーが装着される面上に最小限の長さのエッジが形成 されるように製造され，カンチレバーの長さ，走査チップの高さ，およ びプローブの装着角度から生じる距離が，プローブが若干傾斜しても， 支持エレメントのコーナーが接触することを防ぐのに十分な効果を有す る。」（段落【００１４】） 「最も多く使用される設計は，カンチレバーのショートエッジをもた らす支持エレメントの斜角コーナーであり，同時に，実際の支持エレメ ントの非常に大きい幅によって全体としてプローブの操作容易性を確保 する。上記のように，支持エレメントのショートエッジの製造は，湿式 化学異方性深部エッチングのような通常使用される製造プロセスにおい て大きな変動を受けやすく，この結果，このタイプの成形が，簡単に， より小さいカンチレバーの場合，およびこれらに必要な支持エレメント のエッジの有意なサイズ低下に適用することができない。支持エレメン トの側面の切断のような別のプロセスは，カンチレバーの方向に平行な 向きの側面を生成できるに過ぎないため，程なく限界に達する。しかし ながら，狭い幅のため，傾斜について十分に狭く切断された支持エレメ ントは，操作が不可能になる。」（段落【００１５】） 「【発明が解決しようとする課題】 したがって，本発明は，プローブが少しの角度で傾いたとき，カンチ レバーが装着される支持エレメントまたはショートエッジのコーナーが サンプルの表面に接触することができないといった，短いカンチレバー を有するＳＰＭプローブを提案するにおける問題を対処する。本発明は， 提案のＳＰＭプローブを製造するプロセスにおいて生じる付加的な問題 を対処する。」（段落【００１７】） 「【課題を解決するための手段】 本発明によると，これらの問題は，下記の特徴を有するＳＰＭプロー ブによって解決される。」（段落【００１８】） 「細長い支持エレメント，支持エレメントの前面より先に突き出て走 査チップを保持するカンチレバーを備え，該カンチレバーは，ＳＰＭプ ローブの支持エレメントの前面側に配置されて前方側面から突き出し， 該支持エレメントは，前方側面に長め横エッジと短め横エッジを持つ基 本的に台形断面を有し，さらに，走査過程の間にサンプルに最も近い前 方側面の横エッジの１つに主要コーナーを備えたＳＰＭプローブであっ て，支持エレメントは，支持エレメントとカンチレバーの長手方向に延 びる細長い突起部分を有し，突起部分は，基本的に台形断面を有し，カ ンチレバーは，支持エレメントの突起部分の狭い横エッジの表面に配置 され，カンチレバーを備えた突起部分は，好ましくは，支持エレメント の前方側面の長め横エッジに配置され，走査チップと，主要コーナーの １つを通る理論的直線との間に延びて，支持エレメントの下面の側面長 手エッジに平行な平面は，横エッジに対して少なくとも５°の傾斜角度 を形成する，ＳＰＭプローブ。」（段落【００１９】） 「本発明の基本的な思想は，従来のプローブに比較し，支持エレメン トに特殊な形態を与えることであり，従来のプローブに比較し，最も近 い支持エレメントの表面の長手面エッジまでの走査チップの側面距離が 大きく低下し，および／または走査チップを保持するカンチレバー上面 と関連支持エレメント表面の間の距離が大きく増加する。」（段落【０ ０２２】） 「本発明によるＳＰＭプローブは，基本的に台形の断面を備えた長尺 の支持エレメントを有し，カンチレバーは，側面エッジ，好ましくは広 い側面エッジ上の支持エレメントの前面側に位置する。基本的に台形の 断面は，長方形および／または段付き断面を意味してもよい。走査チッ プと主要コーナーを結ぶ線と，支持エレメントの下面の側面長手エッジ とを含む平面は，横エッジに対して少なくとも５°の傾斜角を形成する。 「主要コーナー」は，走査プロセスの間にサンプルに最も近いコーナー を意味する。仮に，前方横エッジにおいて，例えば，斜めの状態でカン チレバーの両面に２つのコーナーが形成されると，主要コーナーは，カ ンチレバーから最も近い距離を有し，サンプルの表面に最初に接触する ものである。また，プローブの操作性を改良する目的で，支持エレメン トを，カンチレバーを備えたプローブの前面側から，プローブの反対の 後面側の方に広くすることが妥当である。結果として，サンプル表面に 接触するプローブに向く支持エレメントの横エッジなしに，プローブは， 横方向に最大で５°まで傾斜することができ，それによって，プローブ の損傷を大きく排除する。」（段落【００２３】） 「支持エレメントは，支持エレメントの長手方向に延びる細長い突起 部分を有し，基本的に台形または長方形の横断面を有する少なくとも突 起部分を備え，支持エレメントの突起部分の狭い横エッジの表面上に装 着したカンチレバーを備える。」（段落【００２４】） 「狭い端にカンチレバーが固定されてその高さがプローブのあり得る 側方傾斜を補償する突起部分を，支持エレメント上に形成することは， とりわけ小さくて短いカンチレバーの場合に，支持エレメントがサンプ ル表面に接触することを確実に防止する。支持エレメントの主要コーナ ーを有するエッジ区画を，支持エレメントの後方側から，カンチレバー が位置する支持エレメントの前面側にシフトすることにより，より簡単 で特により再現性のよい製造が可能になる。」（段落【００２５】） 「ＳＰＭ測定システムの製造バラツキによる，かつプローブアセンブ リーの許容範囲による典型的な最大のあり得る傾斜は，最大で５°の大 きさを有する。こうした傾いた場合における支持エレメントエッジとサ ンプル表面の間の接触は，それにそれぞれカンチレバーが取り付けられ る突起部分の高さＨについて，支持エレメントエッジの長さＬとの関係 で以下の関係が成立すれば，確実に回避することができる。 」（段落【００２６】） 「この結果は，ほぼ以下のようになる。 」（段落【００２７】） 「本発明によるＳＰＭセンサーに好ましい態様が与えられ，走査チッ プを保持するカンチレバーの下面と突起部分を保持する支持エレメント の下面の間の垂直距離は，取り付けられたカンチレバーを有する突起部 分が位置する支持エレメントの横エッジの幅の少なくとも１／２０にな る。」（段落【００２８】） 「【発明を実施するための形態】 各態様の説明において，上方，下方，上面，下面等などの用語は，カ ンチレバーが，走査チップを下方に向けて，その下に位置するサンプル の上から走査するＳＰＭプローブの共通操作位置を指称する。別な仕方 では不明確になってしまう詳細事項を明示する目的で，図面は，操作位 置に反し，上方に向けた走査チップを有するプローブを示す。」（段落 【００４１】） 「図１は，支持エレメント２を備えたＳＰＭプローブ１を示し，カン チレバー３は，支持エレメント２によって保持された細長い突起部分４ から始まる。通常のように，カンチレバー３は，支持エレメント２から 離れ，カンチレバー３の下面６上の走査チップ５を保持する。横方向に， 支持エレメント２は，長手側面７を有し，突起部分４は，長手側面８， および，それぞれ２つの長手側面７，８に接続する後方横側面９，１０ を有する。カンチレバー３がその上に突き出す前面１２に，共通の前方 側面１３が位置し，プローブ１の後方面１１の横側面９，１０の反対の 位置となる。突起部分４は，支持エレメント２の下面１４から突き出し， 同じ横間隔を有して支持エレメント２の長手サイドエッジ２２と配列す る。突起部分４に由来する支持エレメント２の下面１４に対するカンチ レバー３の突起部分は，ＳＰＭプローブ１のあり得る側方傾斜を補償す る。」（段落【００４２】） 「ＳＰＭプローブ１の支持エレメント２と突起部分４は，台形断面を 有し，カンチレバー３は，突起部分４の前方側面１３の正面の狭い下側 横エッジ１５に位置する。突起部分４は，支持エレメント２の前方コー ナー１６に対して中心にあり，２つの横エッジ１５’，１５”のうちの 広い横エッジ１５’によって接続され，細長い突起部分４は，支持エレ メント２の長手方向と，支持エレメント２の長さの一部のカンチレバー ３の長手方向に延びる。プローブ１の形態は，カンチレバー３，突起部 分４，および支持エレメント２の同時リソグラフィ確定，または個々の 工程におけるこれらの独立した製造によって形成することができる。」 （段落【００４３】） ウ 前記ア及びイの記載を総合すれば，本願明細書には，次の点が開示され ていることが認められる。 走査型プローブ顕微鏡法の一般的で重大な欠点は，プローブが試料表 面を点ごとに走査するため，分析の速度が遅いことであるところ，走査 速度は，走査メカニズムによって制限されるが，他方で，プローブのカ ンチレバーの共振周波数によっても制限される。こうした迅速な走査型 プローブ顕微鏡用のプローブにおける共鳴周波数の必要な増加を，同時 にカンチレバーの剛性を変化させることなく達成するためには，カンチ レバーのサイズを，全ての寸法で大きく低下させなければならないが， この寸法の低下は，カンチレバーの長さと厚さの再現性に特に高い要請 を与え，ＳＰＭプローブの製造について一般に使用されるプロセスに適 合しない。エッチング側面の傾斜の変動や基材の厚さの変動は，短いカ ンチレバーにとって受容することができないカンチレバーの長さの大き な変化をもたらすことになる。一般に低下した寸法によって生じるカン チレバーと一体の走査チップを有するこうしたＳＰＭプローブの製造に 関する困難性に加え，支持エレメントの意図しない接触の問題が，短い カンチレバーについては非常に大きくなる。プローブは，通常，走査さ れるべきサンプルの表面に対して，典型的に，８〜１５°の狭い角度で 走査型プローブ顕微鏡に装着されるが，サンプルの表面に非常に近いカ ンチレバー取り付け箇所の領域に，プローブの支持エレメントを配置し， この結果，プローブが少しの角度で横方向に僅かに傾斜すると，支持エ レメントのコーナーがサンプル表面に接触し得ることとなり，意図しな い機能妨害が発生し得るとともに，検査されるサンプルを場合により損 傷することがある。 本願発明は，上記の問題，すなわち，ＳＰＭ測定システムの製造ばら つきやプローブアセンブリー等に起因して，プローブが少しの角度で傾 いたとき，カンチレバーが装着される支持エレメント又はショートエッ ジのコーナーがサンプルの表面に接触することができないという，短い カンチレバーを有するＳＰＭプローブにおける問題（課題）を解決する ことを目的とするものであり，その解決手段として，細長い支持エレメ ント，支持エレメントの前面より先に突き出て走査チップを保持するカ ンチレバーを備え，該カンチレバーは，ＳＰＭプローブの支持エレメン トの前面側に配置されて前方側面から突き出し，該支持エレメントは， 前方側面に長め横エッジと短め横エッジを持つ基本的に台形断面を有し， さらに，走査過程の間にサンプルに最も近い前方側面の横エッジの１つ に主要コーナーを備え，支持エレメントは，支持エレメントとカンチレ バーの長手方向に延びる細長い突起部分を有し，突起部分は，基本的に 台形断面を有し，カンチレバーは，支持エレメントの突起部分の狭い横 エッジの表面に配置され，カンチレバーを備えた突起部分は，支持エレ メントの前方側面の長め横エッジに配置され，走査チップと主要コーナ ーの１つを結んだ直線と，支持エレメントの下面の側面長手エッジとを 含む平面は，上記横エッジに対して少なくとも５°の傾斜角度を形成す るという構成を採用した。 本願発明は，上記構成を採用することにより，試料表面に接触するプ ローブに向く支持エレメントの横エッジが試料表面に接触することなし に，プローブは，横方向に最大で５°まで傾斜することができ，それに よって，プローブの損傷を大きく排除するという効果を奏する。 刊行物１の記載事項 刊行物１（甲１）には，次のような記載がある（下記記載中に引用する図 面については，別紙２の刊行物１図面目録を参照。）。 ア 「【請求項１】 単結晶シリコン製支持部と，該支持部に固定され該支持部より伸びるよ うに配置されたシリコン又はシリコン化合膜からなるレバー部と，該レバ ー部の自由端近傍に設けられたシリコン又はシリコン化合膜からなる探針 部とを備え，前記レバー部のレバー長を５０μｍ以下としたＳＰＭカンチ レバーにおいて，前記レバー部の固定端に接する前記支持部のレバー部伸 長方向面は，（１１１）面からなる後退傾斜面で構成されていることを特 徴とするＳＰＭカンチレバー。」 「【請求項２】 前記レバー部の固定端部分に，アルカリ溶液に対しシリコンとの選択比 が５０以上あるシリコン化合膜からなるバッファ部が設けられていること を特徴とする請求項１に係るＳＰＭカンチレバー。」 「【請求項３】 前記支持部は，底面に突出部を有し，前記レバー部は前記突出部に固定 され該突出部から伸びるように設けられていることを特徴とする請求項１ 又は２に係るＳＰＭカンチレバー。」 「【請求項４】 前記支持部に，ＳＰＭ装置に装着の際のホルダー当てつけ用凹部が設け られていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に係るＳＰＭカ ンチレバー。」 「【請求項５】 前記シリコン化合膜は，低応力のシリコン化合膜であることを特徴とす る請求項１〜４のいずれか１項に係るＳＰＭカンチレバー。」 イ 「この発明は，原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）などの走査型プローブ顕微鏡 （ＳＰＭ）に用いるＳＰＭカンチレバー，特にレバー長の短いショートレ バー型のＳＰＭカンチレバー及びその製造方法に関する。」（段落【００ ０１】） ウ 「従来のＳＰＭカンチレバーとして，ピラミダル探針部を有するＳＰＭ カンチレバーの断面構造を，図１０に示す。図１０において，１０１はガ ラスを加工して作製したカンチレバー支持部，１０２は支持部１０１に支 持され該支持部１０１より伸びるように配置されたレバー部，１０３はレ バー部１０２の自由端側に測定試料表面１０４に向かって配置されたピラ ミダル探針部であり，レバー部１０２及び探針部１０３は窒化シリコン製 である。そして，市販のＳＰＭカンチレバーでは，レバー部１０２の支持 部１０１より伸びている部分の長さであるレバー長は，６０μｍ以上であ り，一般には２００μｍ程度の長さのカンチレバーが使われている。探針 部先端の曲率半径は２０ｎｍ〜４０ｎｍ以下で，分解能が高く，高解像度 の測定が可能であり，バネ定数も１Ｎ／ｍ以下と低く，測定試料が柔らか い場合も測定が可能であるが，共振周波数は大気中でもせいぜい数十ｋＨ ｚである。」（段落【０００２】） 「一方，シリコン製のテトラ探針部を有するＳＰＭカンチレバーにおい ても，探針部先端の曲率半径は１０ｎｍ程度以下ではあるが，一般にはレ バー部のレバー長は１００μｍから２５０μｍと長く，共振周波数は大気 中で数百ｋＨｚ，液中では高々数十ｋＨｚ程度である。また，レバー部の 厚さに関しては，厚い方が制御しやすいため製造も容易であるが，極端に 硬く，バネ定数の大きな特性のものになってしまい，ＳＰＭ測定の際には， 測定試料及び探針部にダメージを与えてしまう。したがって，レバー部の 厚さは薄い方が好ましいが，シリコンの薄膜制御は非常に難しいため，２ 〜５μｍのレバー厚のものが多く利用されている。このようなＳＰＭカン チレバーにおいては，バネ定数は窒化シリコン製のピラミダル探針を有す るＳＰＭカンチレバーに比べて高く，数十Ｎ／ｍ程度の特性をもつものも ある。」（段落【０００３】） 「しかしながら，最近はＳＰＭ測定において高速化や高解像度化の要求 が高くなっており，そのためには共振周波数が高く，且つ測定試料が柔ら かい場合には傷つけずにスキャンさせるために，バネ定数の小さい柔らか なレバーが要求される。従来のＳＰＭカンチレバーでは共振周波数が低い ため，高速化の要求を満たすことが困難になったり，比較的共振周波数が 高いＳＰＭカンチレバーであると，バネ定数が大きいため，測定試料や探 針部にダメージを与えてしまう。更に，ガラス製支持部１０１を備えたレ バー長が短いＳＰＭカンチレバーの場合は，図１１に示すように，レーザ ー光１１１がガラス支持部１０１に遮られてしまい，レバー部１１２の表 面まで届かない問題が生じ，測定自体できないことが発生する。」（段落 【０００４】） 「また，ＥＢＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｂｅａｍ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏ ｎ）で探針部を形成したり，ＣＮＴ（Ｃａｒｂｏｎ Ｎａｎｏ Ｔｕｂ ｅ）を用いて探針部を形成して，ＳＰＭカンチレバーの探針部の質量を軽 減し，共振周波数を高くする手法がある。しかし，探針部先端の曲率半径 は，５０ｎｍ〜１０ｎｍと大きくなるため，分解能が低下し，高解像度の 測定が不可能になってしまうと共に，これらの探針部を精度良く形成する のは，非常に困難である。またＥＢＤ，ＣＮＴ探針部は，その取り付け部 の接着強度が弱く，測定中に脱落してしまう問題も発生する。」（段落 【０００５】） 「以上のような不具合を解消するものとして，レバー部のレバー長の短 いＳＰＭカンチレバー，いわゆるショートレバー型のＳＰＭカンチレバー が注目を浴びている。ＳＰＭカンチレバーの共振周波数は，レバー長とレ バー厚に依存しており，レバー長をＬ，レバー厚をｔとすれば共振周波数 ｆは，ｆ∝（ｔ／Ｌ２）のように表すことができる。すなわち，レバー長を 短く，レバー厚を厚くすれば共振周波数は高くなるが，レバー長の方が支 配的であるため，レバー厚を厚くするよりもレバー長を短くすれば，その 効果は顕著になる。」（段落【０００６】） 「研究あるいは実験レベルのショートレバー型のＳＰＭカンチレバーの 場合，レバー長は１０μｍ程度のものが試作されており，共振周波数は大 気中では１〜２ＭＨｚ以上，液中でも５００ｋＨｚ以上が可能である。更 に，バネ定数ｋは，レバー厚ｔとレバー長Ｌとの間に，ｋ∝ｔ３／Ｌ３のよ うな関係がある。したがって，窒化シリコン製のレバー部を備えたＳＰＭ カンチレバーの場合，薄膜制御が比較的容易であるため，３乗で効いてく るレバー厚を薄くすることができ，共振周波数が高い状態でバネ定数を小 さくすることができるので，柔らかなＳＰＭカンチレバーを用いて高速測 定が可能になる。勿論，共振周波数やバネ定数以外にも，ショートレバー 型のＳＰＭカンチレバーにすることで，レバー部面積が小さくなり，レバ ー部の揺らぎに起因する測定ノイズも小さくなり ，測定精度は向上す る。」（段落【０００７】） エ 「しかしながら，上記ショートレバー型のＳＰＭカンチレバーには，次 のような課題がある。まず，支持部を含めた全体の長さが３ｍｍ〜４ｍｍ のＳＰＭカンチレバーの先端に，１０μｍ程度のレバー部を設け，そして 該レバー部の先端に探針部を形成する必要があり，このように非常に短い レバー部を精度よく，ばらつきを抑えて形成するのは非常に困難であ る。」（段落【０００８】） 「従来のＳＰＭカンチレバーの製造方法では，シリコン基板表面側にレ バー部や探針部を形成した後，支持部となる形状を，異方性ウエットエッ チングによってシリコン基板の裏面側より形成するため，図１２に示すよ うに，レバー部２０２の固定端２０２ａの位置が，シリコンウエハ基板の 厚さのばらつきや異方性ウエットエッチングばらつきによって，矢印で示 すように大きく左右されてしまう。具体的には，支持部２０１の厚さが３ ００μｍ程度のＳＰＭカンチレバーでは，最低でも±１０μｍ程度以上の レバー部２０２のレバー長のばらつきが発生する。なお，図１２において， ２０３は探針部である。したがって，長さが５０μｍ程度以下のレバー部 ２０２を形成する場合，このばらつきは致命的であり，最悪の場合には， 設計通りのレバー長を有するレバー部が形成できなくなってしまう。」 （段落【０００９】） 「このようなレバー部のレバー長のばらつきを抑えるには，Ｓｉウエハ の厚さのばらつきが小さいものを用い，且つ支持部形成時のエッチングの ばらつきを抑える必要があるが，その方法も容易ではない。また，ＳＰＭ カンチレバーの製造コストも非常に高くなってしまう。更に，レバー部の レバー長のばらつきにより共振周波数がばらついてしまい，レバー長が短 くなった場合は，バネ定数が高くなり測定試料にダメージを与えるだけで なく，探針部の磨耗を促進させることになる。逆にレバー長が長くなった 場合は，共振周波数が低下し高速動作ができなくなる。」（段落【００１ ０】） 「一方，図１３の（Ａ）に示すように，従来の原子間力顕微鏡などのＳ ＰＭで測定するとき，ＳＰＭカンチレバー３０１を試料３０２に対して１ ０°程度傾けてホルダー３０３に装着している。そのため，ＳＰＭカンチ レバー３０１の全体の長さ（チップ長）が３ｍｍ程度の場合，中心部をホ ルダー当てつけアーム３０４の当てつけ部とすると，ホルダー当てつけア ーム３０４と試料３０２とのギャップは０．２５ｍｍ程度となり，図示の ような測定状態になる。これがショートレバー型のＳＰＭカンチレバー３ ０５の場合，図１３の（Ｂ）に示すように，そのギャップが１０％以上狭 まり，ホルダー当てつけアーム３０４が試料３０２と接触してしまう問題 が発生してしまう。また，ショートレバー型のＳＰＭカンチレバーにより 高速動作を行う場合，探針部の質量が大きい場合には共振周波数を低下さ せる原因になってしまい，高速動作が行えない。」（段落【００１１】） 「更に，図１４の（Ａ），（Ｂ）に示すようにＳＰＭカンチレバー３０ １，３０５の支持部３０１ａ，３０５ａが傾いてホルダー３０３にセット されていると，図１４の（Ａ）に示すような従来のＳＰＭカンチレバーの 場合，支持部３０１ａと測定試料３０２間のギャップが十分あるため，支 持部３０１ａの肩部が測定試料３０２に接触することはない。それに対し， 図１４の（Ｂ）に示すようにショートレバー型のＳＰＭカンチレバーの場 合，支持部３０５ａの肩部分が容易に測定試料３０２と接触してしまい， 取り扱いが難しい。以上のように，精度のよい測定が不可能になるばかり か，測定自体ができなくなる恐れがある。」（段落【００１２】） 「本発明は，上記課題に鑑みなされたもので，共振周波数が高く高速測 定が可能なショートレバー型ＳＰＭカンチレバーを簡単に精度良く製造可 能とし，レバー部のレバー長のばらつきを低減して，短いレバー長のレバ ー部でも精度良く，ばらつきのない安定した高い共振周波数が得られるよ うにしたＳＰＭカンチレバーを提供することを目的とする。また，ＳＰＭ 装置への装着がし易くなると共に，試料測定の際に支持部によるレーザー 光のけられがなく，試料を傷つけることなしに安定した測定を可能とした ＳＰＭカンチレバーを提供することを目的とする。 」（段落【００１ ３】） 「請求項毎の目的を述べると，請求項１に係る発明は，支持部によるレ ーザー光のけられのない，高い共振周波数を有するＳＰＭカンチレバーを 提供することを目的とする。請求項２に係る発明は，ウエハの厚さや異方 性ウエットエッチングのばらつきが発生しても，レバー長のばらつきによ る共振周波数やバネ定数等の特性への悪影響を抑えることの可能なＳＰＭ カンチレバーを提供することを目的とする。請求項３及び４に係る発明は， ＳＰＭ装置への装着が容易で，測定試料を傷つけることなく正確な測定が 可能なＳＰＭカンチレバーを提供することを目的とする。請求項５に係る 発明は，薄膜で小さいレバー部を備える場合においても，レバー部と探針 部を一体構造で作製することが容易で，より強度の高いＳＰＭカンチレバ ーを提供することを目的とする。（以下略）」（段落【００１４】） オ 「上記課題を解決するため，請求項１に係る発明は，単結晶シリコン製 支持部と，該支持部に固定され該支持部より伸びるように配置されたシリ コン又はシリコン化合膜からなるレバー部と，該レバー部の自由端近傍に 設けられたシリコン又はシリコン化合膜からなる探針部とを備え，前記レ バー部のレバー長を５０μｍ以下としたＳＰＭカンチレバーにおいて，前 記レバー部の固定端に接する前記支持部のレバー部伸長方向面は，（１１ １）面からなる後退傾斜面で構成されていることを特徴とするものであ る。」（段落【００１５】） 「このように構成されたＳＰＭカンチレバーにおいては，レバー部の固 定端に接する支持部のレバー部伸長方向面が，（１１１）面からなる後退 傾斜面で構成されているので，支持部によるレーザー光のけられを抑える ことの可能な高い共振周波数を有するショートＳＰＭカンチレバーを実現 することができる。」（段落【００１６】） 「請求項２に係る発明は，請求項１に係るＳＰＭカンチレバーにおいて， 前記レバー部の固定端部分に，アルカリ溶液に対しシリコンとの選択比が ５０以上あるシリコン化合膜からなるバッファ部が設けられていることを 特徴とするものである。」（段落【００１７】） 「このように構成されたＳＰＭカンチレバーにおいては，レバー部の固 定端部分にバッファ部が設けられているので，ウエハの厚さのばらつきあ るいは異方性ウエットエッチングのばらつきが発生したとしても，ばらつ きはバッファ部で吸収され，レバー部のレバー長のばらつきが抑えられた 安定した共振周波数を有するＳＰＭカンチレバーが得られる。」（段落 【００１８】） 「請求項３に係る発明は，請求項１又は２に係るＳＰＭカンチレバーに おいて，前記支持部は，底面に突出部を有し，前記レバー部は前記突出部 に固定され該突出部から伸びるように設けられていることを特徴とするも のである。」（段落【００１９】） 「このような構成とすることにより，ショートレバー型のＳＰＭカンチ レバーにおいても，ＳＰＭ装置への装着が容易で，測定試料を傷つけるこ となく正確な測定が可能となる。」（段落【００２０】） カ 「（第３の実施の形態） 次に，第３の実施の形態について説明する。図６は，本発明に係るＳＰ Ｍカンチレバーの第３の実施の形態を示す断面図である。本実施の形態は， 支持部底面の一部に高さ数μｍ〜十数μｍの突出部を長手方向に設け，そ の突出部にレバー部を固定支持し，その突出部から伸びるように形成する ものである。ここでは，第１の実施の形態に係るＳＰＭカンチレバーに， 本実施の形態の特徴を適用したものについて説明する。」（段落【００５ １】） 「図６の（Ａ）において，１は単結晶シリコン基板を加工して作製した， 底面に突出部７を有する支持部，２は支持部１の突出部７の底面より伸び た窒化シリコン膜からなるレバー部，３はレバー部２の自由端側に形成さ れた窒化シリコン膜からなる探針部であり，レバー部２の固定端４に接す る支持部１の傾斜面５は（１１１）面にて形成されている。ここで，図６ の（Ｂ）の正面図に示すように，支持部１は通常の支持部とは異なり，底 面に突出部７を備えており，レバー部２は突出部７に固定支持され，該突 出部７より伸びるように形成されている。」（段落【００５２】） 「このような構造及び製造方法により，図６の（Ｂ）に示した正面図か らもわかるように，突出部７の肩部が支持部１の肩幅と比較して十分小さ く，支持部１と測定試料間の間隙が大きくとれるため，突出部７の肩部が 試料面と接触する可能性が解消されると共に，ＳＰＭ装置へのＳＰＭカン チレバーの取り付けも容易になる。したがって，精度の良い安定したＳＰ Ｍ測定が可能となる。ここで，支持部に形成される突出部は，その肩部が 支持部肩幅と比較して十分小さく，肩部が試料面と接触しなければ，その 高さあるいは幅などの大きさは一切問わない。」（段落【００５６】） キ 「以上実施の形態に基づいて説明したように，本発明によれば，レバー 部と同一材料で鋭い先端をもつ探針部を有し，共振周波数が高く高速測定 が可能なショートレバー型のＳＰＭカンチレバーを簡単に精度良く製造可 能となる。また，レバー部のレバー長のばらつきを低減して，短いレバー 長のレバー部を備えている場合でも精度良くばらつきのない安定した高い 共振周波数が得られると共に，ウエハの厚さのばらつきやエッチングのば らつきが発生しても，ばらつきを吸収し安定した高い共振周波数が得られ るショートレバー型のＳＰＭカンチレバーが実現可能となる。また，ＳＰ Ｍ装置への装着がし易く，試料測定の際に支持部によるレーザー光のけら れの心配がなく，試料を傷つけることなしに精度の良い測定が可能なショ ートレバー型のＳＰＭカンチレバーが得られる。そして，このような特徴 をもつ本願発明に係るショートレバー型のＳＰＭカンチレバーを用いるこ とにより，高速スキャンが実現し，細胞や蛋白質を生きた状態で且つ無傷 で高分解能で測定可能になると共に，静止画像ばかりではなく動画像まで も観察することが可能となる。」（段落【００６６】） 一致点の認定について ア アのとおりの引用発明が記載されてい ることは当事者間に争いがない。 そして，前記認定の刊行物１の記載事項によれば，刊行物１には， 次の点が開示されていることが認められる。 図１４の（Ａ），（Ｂ）に示すようにＳＰＭカンチレバー３０１， ３０５の支持部３０１ａ，３０５ａが傾いてホルダー３０３にセッ トされていると，図１４の（Ａ）に示 すような従来のＳＰＭカンチ レバーの場合，支持部３０１ａと測定試料３０２間のギャップが十 分あるため，支持部３０１ａの肩部が測定試料 ３０２に接触するこ とはない。 これに対し，図１４の（Ｂ）に示すようにショートレバー形のＳ ＰＭカンチレバーの場合，支持部３０５ａの肩部分が容易に測定試 料３０２と接触してしまい，取り扱いが難しく，精度のよい測定が 不可能になるばかりか，測定自体ができなくなる恐れがある。 刊行物１の特許請求の範囲請求項３に係るＳＰＭカンチレバーは， 上記課題を解決し，ショートレバー型のＳＰＭカンチレバーにおい ても，ＳＰＭ装置への装着が容易で，測定試料を傷つけることなく 正確な測定が可能になるＳＰＭカンチレバーを提供する ことを目的 とし，上記課題を解決するための手段として， 請求項１又は２に係 るＳＰＭカンチレバーにおいて，支持部は底面に突出部を有し，レ バー部は前記突出部に固定され，該突出部から伸びるように設けら れているという特徴を有する構成を採用した。 図６は，第３の実施の形態（刊行物１の特許請求の範囲請求項３ に係るＳＰＭカンチレバーの実施の形態）を示す断面図（図６の （Ａ））及び正面図（図６の（Ｂ））である。突出部７の肩部が支 持部１の肩幅と比較して十分小さく，支持部１と測定試料間の間隙 が大きくとれるため，突出部７の肩部が試料面と接触する可能性が 解消されると共に，ＳＰＭ装置へのＳＰＭカンチレバーの取付けも 容易になり，精度の良い安定したＳＰＭ測定が可能となる。支持部 に形成される突出部は，その肩部が支持部肩幅 と比較して十分小さ く，肩部が試料面と接触しなければ，その高さあるいは幅などの大 きさは一切問わない。 イ 前記アによれば，刊行物１記載のＳＰＭカンチレバー（引用発明） は，プローブアセンブリー等に起因する支持部１の傾きにより支持部 １の肩部が試料面と接触することを回避するために，支持部１ の底面 に，その肩部が支持部１の肩幅より小さい突出部７を設け，突出部７ を介してレバー部２及び探針部３を設けることにより，支持部１の底 面から探針部３への距離を十分に確保することができ，支持部１と測 定試料間との間隙が大きくとれるため，支持部１が試料面と接触する 可能性が解消されるようにしたものであると認められる。 したがって，引用発明においては，支持部１の底面に突出部７があ ることで，支持部１の底面から探針部３への距離を 確保することがで き，レバー部２は突出部７に固定支持され，突出部７より伸びるよう に形成され，探針部３はレバー部２の自由端に形成されていることか ら，探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線と支持部１の該肩 部から紙面に垂直に後方に伸びた直線とを含む平面に， 支持部１の下 面の前方側面横エッジの任意の点から下ろした垂線が上記平面と交わ る点と支持部１の該肩部を結んだ線と前記横エッジとが所定の角度を 形成することは明らかであるところ，「探針部３と支持部１の肩部の １つを結んだ直線と支持部１の該肩部から紙面に垂直に後方に伸びた 直線とを含む平面」は，本願発明の「走査チップ（５）と主要コーナ ー（１６）の１つを結んだ直線と，支持エレメント（２）の下面（１ ４）の側面長手エッジ（２２）とを含む平面」に相当し，「支持部１ の下面の前方側面横エッジ」は，本願発明の「横エッジ（１５’）」 に相当するから，引用発明における上記所定の角度（平面と直線によ り形成される角度）は，本願傾斜角度に相当するものである。 そして，引用発明における上記傾斜角度を，刊行物１の図６（Ｂ）の 正面図を用いて表せば，本件審決における図（Ｂ）の角度θ（本判決５頁 参照）として表されることになる。 ウ ところで，本件審決における図（Ｂ）は正面図であることから，図 （Ｂ）の角度θは，引用発明における上記傾斜角度（本願傾斜角度に相当 する平面と直線のなす角度）を表す場合と，探針部３と支持部１の肩部を 結んだ直線と支持部１の下面の前方側面横エッジとのなす角度（直線と直 線のなす角度）を表す場合とがあり得るところ，図（Ｂ）のみでは，いず れの場合を表したものか明らかとはいえない。 しかしながら，本件審決は，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結ん だ直線と，支持部１の底面の側面長手エッジとを含む平面は，支持部１の 前方側面の横エッジに対して所定の傾斜角度θ（下図（Ｂ）参照）を形成 するといえる」と記載し，引用発明における所定の傾斜角度は，平面と直 線のなす角度である点を明記しており，本件審決における図（Ｂ）の角度 θも，上記２通りのうち，平面と直線のなす角度を表すものとして用いて いることが明らかであるといえる。 エ 以上によれば，本件審決が，「走査チップと主要コーナーの１つを結ん だ直線と，支持エレメントの下面の側面長手エッジとを含む平面は，横エ ッジに対して所定の傾斜角度を形成する」点を本願発明と引用発明の一致 点と認定したことに誤りはないものと認められる。 オ これに対し，原告は，図（Ｂ）の探針部３と支持部１の肩部の１つを結 んだ直線と，支持部１の左の肩部から紙面に垂直に後方に伸びた直線とを 含む平面は，支持部１の下面の横エッジとある傾斜角を形成するものの， この傾斜角は，【添付図Ｂ】の角度α（本判決６頁参照）を意味し， 本件審決における図（Ｂ）の角度θとは異なるものである旨主張する。 しかしながら，前記ウのとおり，本件審決における図（Ｂ）は正面図で あることから，図（Ｂ）の角度θは，本願傾斜角度に相当する平面と直線 のなす角度（原告が主張するところの【添付図Ｂ】の角度α）を表す場合 と，探針部３と支持部１の肩部を結んだ直線と支持部１の下面の横エッジ とのなす角度（直線と直線のなす角度）を表す場合とがあり得るところ， 本件審決は，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線と，支持部 １の底面の側面長手エッジとを含む平面は，支持部１の前方側面の横エッ ジに対して所定の傾斜角度θ（下図（Ｂ）参照）を形成するといえる」と 記載し，図（Ｂ）の角度θを，上記２通りのうち，平面と直線のなす角度 （原告が主張するところの【添付図Ｂ】の角度α）を表すものとして用い ていることが明らかであるといえるから，原告の上記主張は理由がない。 なお，原告は，図（Ｂ）には「探針部３と支持部１の肩部の １つを 結んだ直線と，支持部１の底面の側面長手エッジを含む平面」が明確 に図示されないから，図（Ｂ）は，平面と直線の関係を明確に記載し たものではなく，この関係を示唆するものでもない，本件審決は，図 （Ｂ）の角度θが，「探針部３と支持部１の肩部の １つを結んだ直線 と，支持部１の底面の側面長手エッジとを含む平面」と「支持部１の 前方側面の横エッジ」との角度を示すことについて何らの説明もして いない など とも 主張するが，これらについても，上記と同様に理由が ない。 小括 以上によれば，本件審決における一致点の認定に原告主張の誤りはないか ら，原告主張の取消事由１は理由がない。 ２ 取消事由２（相違点の判断の誤り）について 原告は，本件審決は，相違点に係る本願発明の構成である，本願傾斜角度 を「少なくとも５°」とする構成は，「製造バラツキ」及び「プローブ ア センブリーの許容範囲」に対応するため の数値限定であるといえ，引用 発明においても，「プローブアセンブリー」の際の誤差に対応すること を課題としているものであるといえるところ， 製造誤差を考慮して，種 々の寸法等を定めるようなことは，当業者ならば一般的に実施してい る 技術的行為であるというべきであり，引用発明において，「プローブア センブリー」等の製造誤差を考慮して，「所定の傾斜角度」の下限値を 「５°」とすることは，当業者において 動機付けが存在し，何ら困難性 がなく，容易に想到し得る事項である と判断したが，引用発明において， 本願傾斜角度に相当する「所定の傾斜角度」を 「少なくとも５°」 とす る構成にすることは，当業者において容易に想到し得たと はいえず，誤 りがある旨主張するので，以下において判断する。 引用発明と本願発明との相違点 前記１のとおり，「走査チップと主要コーナーの１つを結んだ直線と，支 持エレメントの下面の側面長手エッジとを含む平面は，横エッジに対して所 定の傾斜角度を形成する」点は，本願発明と引用発明の一致点と認められる 「所定の傾斜角度」について，本願発明では「少なくとも５°」であるのに 対し，引用発明では不明である点で相違する。 相違点に関する判断について ア 前記 イのとおり，引用発明は，プローブアセンブリー等に起因 する支持部１の傾きにより支持部１の肩部が試料面と接触することを 回避するために，支持部１の底面に，その肩部が支持部１の肩幅より 小さい突出部７を設け，突出部７を介してレバー部２及び探針部３を 設けることにより，支持部１の底面から探針部３への距離を十分に確 保することができ，支持部１と測定試料間との間隙が大きくとれるた め，支持部１が試料面と接触する可能性が解消されるようにしたもの である。 しかるところ，引用発明のように，突出部７を介して支持部１にレバー 部２を取り付けた構成において，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結 んだ直線と，支持部１の底面の側面長手エッジとを含む平面」と「支持部 １の前方側面の横エッジ」とが形成する角度（本願傾斜角度に相当する図 （Ｂ）の角度θ）が大きければ大きいほど，支持部１の肩部と試料面との 間の距離が増し，支持部１の傾きが生じても，支持部１の肩部が試料面と 接触する可能性が低くなることは自明であって，プローブアセンブリー等 に起因する支持部１の傾きにより支持部１の肩部が試料面と接触すること を回避するという，本願発明と共通する引用発明における上記課題を解決 するために，「探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線と，支持部 １の底面の側面長手エッジとを含む平面」と「支持部１の前方側面の横エ ッジ」とが形成する角度（本願傾斜角度に相当する図（Ｂ）の角度θ）を 大きくしようとすることは，引用発明（刊行物１）に接した当業者が通常 に想起する技術思想であると認められるから，上記技術思想に基づいて， 製造ばらつきやプローブアセンブリー等による製造誤差を考慮しながら， 「所定の傾斜角度」を適宜の角度に設定することは，当業者が通常なし得 ることである。 イ そして，本願発明は「少なくとも５°」として，傾斜角度の数値範囲の 下限値を５°としているのに対し，引用発明では傾斜角度の数値範囲は不 明であるものの， バーの場合，プローブが少しの角度で横方向に僅かに傾斜すると，支持エ レメントのコーナーがサンプル表面に接触し得るという問題があるため， この接触を回避することを目的として，「所定の傾斜角度」を「少なくと も５°」とする構成を採用したものであるところ，本願明細書には，「所 定の傾斜角度」を「少なくとも５°」とすることに関し， イの とおり，「結果として，サンプル表面に接触するプローブに向く支持エレ メントの横エッジなしに，プローブは，横方向に最大で５°まで傾斜する ことができ，それによって，プローブの損傷を大きく排除する。」(段落 【００２３】)，「ＳＰＭ測定システムの製造バラツキによる，かつプロー ブアセンブリーの許容範囲による典型的な最大のあり得る傾斜は，最大で ５°の大きさを有する。」（段落【００２６】），「本発明によるＳＰＭ センサーに好ましい態様が与えられ，走査チップを保持するカンチレ バーの下面と突起部分を保持する支持エレメントの下面の間の垂直距 離は，取り付けられたカンチレバーを有する突起部分が位置する支持 エレメントの横エッジの幅の少なくとも１／２０になる。」（段落 【００２８】）と，「所定の傾斜角度」について下限値を５°とする数値 範囲を選択すればプローブの損傷を排除できる旨を定性的に述べた記載は あるものの，これ以外に，下限値を５°とする数値範囲を選択した数値的 な根拠や当該数値範囲外の場合と比較して，当該数値範囲内の場合に顕著 な作用効果を奏すると認められるに十分な実験結果等が記載されているわ けではない。したがって，本願発明において，上記数値範囲が臨界的意義 を有する数値であると認めることはできない。 ウ 以上によれば，引用発明において，支持部が傾いたときに試料面に支持 部が接触する可能性があるという課題を解決するために，本願傾斜角度に 相当する「所定の傾斜角度」を大きくしようとすることは，刊行物１（甲 １）に接した当業者が通常に想起する技術思想であると認められる。一般 に，製造ばらつきやプローブアセンブリー等の製造誤差を考慮しながら， 「所定の傾斜角度」を適宜の角度に設定することは，当業者が通常になし 得ることであり，本願発明における「少なくとも５°」との数値範囲にも 臨界的意義があると認めることはできないことからすれば，引用発明にお いて，本願傾斜角度に相当する「所定の傾斜角度」を「少なくとも５°」 とする構成を採用することは，当業者において容易に想到し得たものと認 められる。 したがって，本願発明は，引用発明に基づいて，当業者が容易に発明を することができたものであるから，特許法29条2項の規定により特許を 受けることができないものであり，本件審決が「本願発明は，引用発明に 基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである」としたこと に誤りはない。 原告の主張について ア 原告は，本件審決は，「少なくとも５°」が当業者ならば一般的に実施 している技術的行為であるとしながら，本願明細書の記載を引用するのみ で，第三者の記載した刊行物にこれが示されていることを何ら摘示してい ないから，本件審決の容易想到性の判断には誤りがある旨主張する。 しかしながら， において，支持部が傾いた ときに試料面に支持部が接触する可能性があるという課題を解決するため に，本願傾斜角度に相当する「所定の傾斜角度」を大きくしようとするこ とは，刊行物１（甲１）に接した当業者が通常に想起する技術思想である と認められる。また，一般に，製造ばらつきやプローブアセンブリー等の 製造誤差を考慮しながら，「所定の傾斜角度」を適宜の角度に設定するこ とは，当業者が通常になし得ることであり，本願発明における「少なくと も５°」との数値範囲にも臨界的意義があると認めることはできない。そ うすると，引用発明において，本願傾斜角度に相当する「所定の傾斜角 度」を「少なくとも５°」とする構成を採用することは，当業者において 容易に想到し得たものと認められるのであって，刊行物１に開示された技 術的事項のほかに，他の刊行物に開示された技術的事項をも引用しなけ れば本願発明に想到し得ないものではないから，これと同旨の本件審決 において，刊行物１のほかに，他の刊行物が引用されていないことが誤 りであるとはいえず，原告の上記主張は理由がない。 イ なお，原告の上記主張に鑑みて付言するに，製造ばらつきやプローブア センブリー等の製造誤差を考慮しながら，「所定の傾斜角度」を適宜の角 度に設定すると，本願発明における「所定の傾斜角度」（本願傾斜角度） の下限値である「５°」が格別な数値であるとはいえないことは，以下の とおり，本願の優先日前に公知の乙１（特開平１０−３０７１４４号公 報）における製造誤差等の程度からも明らかである。 乙１の記載（下記記載中に引用する図面につ いては，別紙３の乙 １図面目録を参照。）。 ａ 「本発明は，例えば，走査型プローブ顕微鏡によって試料の表面情 報を測定する際に，そのチップ先端と試料表面との間の相互作用（原 子間力，分子間力，磁気力，摩擦力，粘性力，弾性力等）を検出する ために用いられるカンチレバーチップに関する。」（段落【０００ １】） 「なお，本明細書中において，カンチレバーチップとは，自由端が 変位自在なカンチレバーと，このカンチレバーの自由端に形成された 探針と，カンチレバーの基端を支持する支持部とから構成されたもの とする。」（段落【０００３】） ｂ 「よって，バネ定数が大きくなるのを抑えながら，共振周波数 を高く設定するには，短くて薄いカンチレバーとすることが有効 である。しかしながら，カンチレバーの長さ寸法を短くすると， 以下のような問題が生じる。」（段落【００２３】） 「即ち，カンチレバー作製用装置のばらつき精度の影響を受けるこ とによって，作製後のカンチレバーの長さ寸法のばらつきに基づいて， 共振周波数やバネ定数のばらつきの度合が大きくなってしまう。」 （段落【００２４】） 「例えば上述した文献１に開示された窒化シリコン製カンチレバー は，その支持部にパイレックスガラスが用いられており，このパイレ ックスガラスは，陽極接合によって，カンチレバーの基端に接合され ている。」（段落【００２５】） 「このようなカンチレバー作製方法において，陽極接合時のアライ メント精度がカンチレバーの長さ寸法のばらつきに影響を与える。な お，このアライメント精度は，約５〜１０μｍ程度である。」（段落 【００２６】） ｃ 「しかしながら，一般的なＡＦＭにおいて，カンチレバー２は，試 料４の表面４ａに対して所定の傾斜角度θ（例えば，約５°〜１５° 程度の傾斜角度）で位置決めされている（図４（ａ）参照）。」（段 落【００３０】） 「更に，一般的なＡＦＭにおいて，カンチレバーチップ１４は，カ ンチレバー２の自由端に設けられた探針のみが試料４の表面４ａに接 触するように取り付けられている。」（段落【００３４】） 「しかしながら，図４（ｂ）に示すように，カンチレバーチップ１ ４が，カンチレバー２の長手軸を中心に所定角度だけ傾斜（回転）し た際に，支持部を成すパイレックスガラス６の両端（両肩）６ｃの一 方が，試料４の表面４ａに接触する場合がある。特に，カンチレバー チップ１４の取付角度を小さくした場合（カンチレバー２が試料４の 表面４ａと略平行になる場合）や支持部を成すパイレックスガラス６ の寸法を変化させること無く，カンチレバー２の長さ寸法を短くした 場合，パイレックスガラス６の両端（両肩）６ｃの一方が，試料４の 表面４ａに接触する可能性が高くなる。この場合，ＡＦＭ測定が困難 或いは不可能になってしまう。」（段落【００３５】） ｄ 「本実施の形態に適用したカンチレバー２０は，略三角形状を成し ており，窒化シリコンから構成されている。本実施の形態において， このカンチレバー２０は，その一例として，その長手軸方向に沿った 長さ寸法Ｌ即ち基端から自由端までの長さ寸法Ｌが略５０μｍ，基端 の幅寸法Ｗが略５０μｍ，厚さ寸法Ｔが略０．２μｍに設定されてい る（図１（ｂ），（ｃ）参照）。」（段落【００４０】） 「支持部１８は，単結晶シリコンから成る第１の支持部２４及び第 ２の支持部２６で構成されている。また，これら第１及び第２の支持 部２４，２６は，異なる形状をしているが，後述するプロセスを用い て，同一単結晶シリコン基板から成形されている。」（段落【００４ ２】） 「本実施の形態において，第１の支持部２４は，その一例として， 長さ寸法Ｄ１が略３．７ｍｍ，幅寸法Ｄ２が略０．５ｍｍ，厚さ寸法 Ｄ３が略０．０ ２ｍｍに設定されている（図１（ａ），（ｂ ） 参 照）。」（段落【００４４】） 「更に，本実施の形態のカンチレバーチップ１６によれば，第２の 支持部２６の幅寸法Ｓ２よりも第１の支持部２４の幅寸法Ｄ２を小さ くしたことによって，支持部１８の両端（両肩）に空所（逃げ部）３ ０を形成することができる。この結果，ＡＦＭ測定中，カンチレバー チップ１６が，カンチレバー２０の長手軸を中心に所定角度だけ傾斜 （回転）した場合でも，空所（逃げ部）３０によって，支持部１８の 両端（両肩）の一方が試料４の表面４ａに接触すること（図４（ｂ） 参照）を防止することが可能となる。また，第２の支持部２６は，Ａ ＦＭ装置にカンチレバーチップ１６を取り付けるための幅寸法を確保 している。なお，この効果は，特に，長さ寸法Ｌの短いカンチレバー ２０を用いてＡＦＭ測定を行う場合に非常に有効である。」（段落 【００５１】） 「そして，この現象は，使用するシリコンウェハの厚さ寸法Ｓ３ （図１（ｂ）参照）のばらつき度合によっても生じる。通常，シリコ ンウェハの厚さ寸法Ｓ３のばらつき度合は，０．０１〜０．０２ｍｍ 程度である。従って，上記の参考用作製プロセスを行った場合，基準 面のずれ量に対応して長さ寸法Ｌのばらつき度合が大きくなり過ぎる。 このため，使用に適した長さ寸法Ｌを有するカンチレバー２０を作製 することができなくなってしまう。」（段落【００６５】） 上記記載に基づき，乙１のカンチレバーチップにおける製造ばらつき の程度について検討すると，@カンチレバーが，試料の表面に対して１ ５°傾斜しているとすれば，カンチレバーの長さ寸法のばらつき１０μ ｍは，高さ方向としては，ｓｉｎ１５°×１０μｍ≒２．６μｍの寸法 ばらつきとなり，A支持部材側の厚さ方向のばらつきも０．０２ｍｍ （２０μｍ）あるから，高さ方向の製造誤差として，上記@と合わせて ２０μｍ＋２．６μｍ＝２２．６μｍの誤差が生じることとなり，B第 １の支持部の幅寸法Ｄ２が略０．５ｍｍ（５００μｍ）であるから，第 １の支持部の幅寸法に対する高さ方向の製造誤差の割合は，２２．６μ ｍ／５００μｍ（約１／２２）となる，Cこの割合を傾斜角度で表現す ると，ｔａｎθ＝２２．６μｍ／（５００μｍ／２）なので，θは５． １７°となる。また，@カンチレバーが，試料の表面に対して５°傾斜 しているとすれば，カンチレバーの長さ寸法のばらつき１０μｍは，高 さ方向としては，ｓｉｎ５°×１０μｍ≒０．９μｍの寸法ばらつきと なり，A支持部材側の厚さ方向のばらつきも０．０２ｍｍ（２０μｍ） あるから，高さ方向の製造誤差として，上記@と合わせて２０μｍ＋０． ９μｍ＝２０．９μｍの誤差が生じることとなり，B第１の支持部の幅 寸法Ｄ２が略０．５ｍｍ（５００μｍ）であるから，第１の支持部の幅 寸法に対する高さ方向の製造誤差の割合は，２０．９μｍ／５００μｍ （約１／２４）となる，Cこの割合を傾斜角度で表現すると，ｔａｎθ ＝２０．９μｍ／（５００μｍ／２）なので，θは４．７８°となる。 ところで，本願明細書の段落【００２６】ないし【００２８】の記載 を踏まえると，本願発明における「少なくとも５°」に係る構成の意義 を別の要素で表現するとすれば，おおむね「走査チップを保持するカン チレバーの下面と突起部分を保持する支持エレメントの下面の間の垂直 距離Ｈを，取り付けられたカンチレバーを有する突起部分が位置する支 持エレメントの横エッジの幅Ｌで除した値」が，少なくとも１／２０と なることと表現することになる。 乙１におけるカンチレバーチップの製造ばらつきの程度は，支持部の 幅寸法に対する高さ方向の製造誤差の割合で，「１／２４〜１／２２」 であり，これを傾斜角度で表すと，「４．７８°〜５．１７°」である。 この傾斜角度は，支持部の幅寸法に対する高さ方向の製造誤差の割合 を角度で表したものであり，正確には本願傾斜角度とは異なるものでは ある ，技術的意義としては本願傾斜角度とほぼ同 等であるといえる。 乙１のカンチレバーチップにおける各部材の寸法を前提にして生じ得 る製造ばらつきを傾斜角度で表すと「４．７８°から５．１７°」に相 当するということは，カンチレバーチップ，すなわち，（ＳＰＭプロー ブ）の技術分野においては，支持エレメントエッジの長さ方向（水平方 向）と，突起部分の高さ方向（垂直方向）のなす傾斜角度をこの角度以 上にしなければ，支持部の傾きにより，支持部が試料面に衝突する可能 性があり得ることが示されているといえ，ＳＰＭプローブの製造ばらつ きを考慮する場合，本願傾斜角度における「５°」という数値は，格別 な意義を有する数値であるとはいえない。 小括 以上によれば，本件審決における相違点の判断に原告主張の誤りはないか ら，原告主張の取消事由２は理由がない。 第５ 結論 以上の次第であるから，原告主張の取消事由はいずれも理由がなく，本件審 決にこれを取り消すべき違法は認められない。 したがって，原告の請求は棄却されるべきものである。 知的財産高等裁判所第４部 裁判長裁判官 富 田 善 範 裁判官 田 中 芳 樹 裁判官 柵 木 澄 子 （別紙１） 本願明細書図面目録 【図１】 （別紙２） 刊行物１図面目録 【図６】 【図１０】 【図１１】 【図１２】 【図１３】 【図１４】 （別紙３） 乙１図面目録 【図１】 【図４】 |